NASA Technical Reports Server (NTRS) 19920009197: CVD of silicon carbide on structural fibers: Microstructure and composition PDF
Preview NASA Technical Reports Server (NTRS) 19920009197: CVD of silicon carbide on structural fibers: Microstructure and composition
NNAASSAA TTeecchhnniiccaall MMeemmoorraanndduumm 110055338855 CCVVDD ooff SSiilliiccoonn CCaarrbbiiddee oonn SSttrruuccttuurraall FFiibbeerrss:: MMiiccrroossttrruuccttuurree aanndd CCoommppoossiittiioonn LLiissaa CC.. VVeeiittcchh,, FFrraanncciiss MM.. TTeerreeppkkaa,, aanndd SSuulleeyymmaann AA.. GGookkoogglluu LLeewwiiss RReesseeaarrcchh CCeenntteerr CClleevveellaanndd,, OOhhiioo PPrreeppaarreedd ffoorr tthhee 11999911 FFaallll MMeeeettiinngg ooff tthhee MMaatteerriiaallss RReesseeaarrcchh SSoocciieettyy BBoossttoonn,, MMaassssaacchhuusseettttss,, DDeecceemmbbeerr 22--66,, 11999911 NNII\\55//\\ CCVVDD OOFF SSIILLIICCOONN CCAARRBBIIDDEE OONN SSTTRRUUCCTTUURRAALL FFIIBBEERRSS:: MMIICCRROOSSTTRRUUCCTTUURREE AANNDD CCOOMMPPOOSSIITTIIOONN LLiissaa CC.. VVeeiittcchh,, FFrraanncciiss MM.. TTeerreeppkkaa,, SSuulleeyymmaann AA.. GGookkoogglluu NNaattiioonnaall AAeerroonnaauuttiiccss aanndd SSppaaccee AAddmmiinniissttrraattiioonn LLeewwiiss RReesseeaarrcchh CCeenntteerr CClleevveellaanndd,, OOhhiioo 4444113355 SSUUMMMMAARRYY SSttrruuccttuurraall ffiibbeerrss aarree ccuurrrreennttllyy bbeeiinngg ccoonnssiiddeerreedd aass rreeiinnffoorrcceemmeennttss ffoorr iinntteerrmmeettaalllliicc aanndd cceerraammiicc mmaatteerriiaallss.. SSoommee ooff tthheessee ffiibbeerrss,, hhoowweevveerr,, aarree eeaassiillyy ddeeggrraaddeedd iinn aa hhiigghh tteemmppeerraattuurree ooxxiiddaattiivvee eennvviirroonnmmeenntt.. TThheerreeffoorree,, ccooaattiinnggss aarree nneeeeddeedd ttoo pprrootteecctt tthhee ffiibbeerrss ffrroomm eennvviirroonnmmeennttaall aattttaacckk.. SSiilliiccoonn ccaarrbbiiddee ((SSiiCC)) wwaass cchheemmiiccaallllyy vvaappoorr ddeeppoossiitteedd ((CCVVDD)) oonn TTeexxttrroonn''ss SSCCSS66 ffiibbeerrss.. FFiibbeerr tteemmppeerraattuurreess rraannggiinngg ffrroomm 11335500 ttoo 11550000 °° CC wweerree ssttuuddiieedd.. SSiillaannee ((SSiiHH )) aanndd pprrooppaannee 44 ((CC33HHSS)) wweerree uusseedd ffoorr tthhee ssoouurrccee ggaasseess aanndd ddiiffffeerreenntt ccoonncceennttrraattiioonnss ooff tthheessee ssoouurrccee ggaasseess wweerree ssttuuddiieedd.. DDeeppoossiittiioonn rraatteess wweerree ddeetteerrmmiinneedd ffoorr eeaacchh ggrroouupp ooff ffiibbeerrss aatt ddiiffffeerreenntt tteemmppeerraattuurreess.. LLeessss vvaarriiaattiioonn iinn ddeeppoossiittiioonn rraatteess wweerree oobbsseerrvveedd ffoorr tthhee ddiilluuttee ssoouurrccee ggaass eexxppeerriimmeennttss tthhaann tthhee ccoonncceennttrraatteedd ssoouurrccee ggaass eexxppeerriimmeennttss.. AA ccaarreeffuull aannaallyyssiiss wwaass ppeerrffoorrmmeedd oonn tthhee ssttooiicchhiioommeettrryy ooff tthhee CCVVDD SSiiCC--ccooaattiinngg uussiinngg eelleeccttrroonn mmiiccrroopprroobbee.. MMiiccrroossttrruuccttuurreess ffoorr tthhee ddiiffffeerreenntt ccoonnddiittiioonnss wweerree ccoommppaarreedd.. AAtt 11335500 °°cc,, tthhee mmiiccrroossttrruuccttuurreess wweerree ssiimmiillaarr;; hhoowweevveerr,, aatt hhiigghheerr tteemmppeerraattuurreess,, tthhee mmiiccrroossttrruuccttuurree ffoorr tthhee mmoorree ccoonncceennttrraatteedd ssoouurrccee ggaass ggrroouupp wweerree ppoorroouuss aanndd ccoolluummnnaarr iinn ccoommppaarriissoonn ttoo tthhee ccrroossss sseeccttiioonnss ttaakkeenn ffrroomm tthhee ssaammee aarreeaa ffoorr tthhee ddiilluuttee ssoouurrccee ggaass ggrroouupp.. IINNTTRROODDUUCCTTIIOONN CCeerraammiicc ffiibbeerrss aarree ooff iinntteerreesstt aass rreeiinnffoorrcciinngg mmaatteerriiaallss ffoorr aaddvvaanncceedd cceerraammiicc aanndd iinntteerr mmeettaalllliicc mmaattrriixx ccoommppoossiitteess ffoorr aaeerroossppaaccee aapppplliiccaattiioonnss.. FFoorr mmaannyy ooff tthheessee ccoommmmeerrcciiaallllyy eexxiissttiinngg ffiibbeerrss,, aaddddiittiioonnaall ccooaattiinnggss wwiillll bbee nneeeeddeedd ttoo pprrootteecctt tthhee ffiibbeerrss ffrroomm ooxxiiddaattiioonn.. TThheessee ccooaattiinnggss wwiillll aallssoo sseerrvvee ttoo eennhhaannccee tthhee ffiibbeerr//mmaattrriixx iinntteerrffaacciiaall pprrooppeerrttiieess.. SSiilliiccoonn ccaarrbbiiddee ccooaattiinngg hhaass bbeeeenn ccoonnssiiddeerreedd ttoo pprrootteecctt tthhee oouutteerr ccaarrbboonn--rriicchh ccooaattiinnggss ooff TTeexxttrroonn SSppeecciiaallttyy MMaatteerriiaallss'' SSCCSS66 ssiilliiccoonn ccaarrbbiiddee ffiibbeerr aanndd ccaann bbee ssyynntthheessiizzeedd bbyy cchheemmiiccaall vvaappoorr ddeeppoossiittiioonn ((CCVVDD)) tteecchhnniiqquueess.. AA nnuummbbeerr ooff ddiiffffeerreenntt pprreeccuurrssoorrss,, ccoonnddiittiioonnss aanndd rreeaaccttoorrss hhaavvee bbeeeenn ddiissccuusssseedd iinn tthhee lliitteerraattuurree ((rreeffss.. 11 ttoo 33)).. IInn tthhiiss wwoorrkk,, tthhee ddeeppoossiittiioonn rraatteess,, ssttooiicchhiioomm eettrryy aanndd mmiiccrroossttrruuccttuurree ooff tthhee CCVVDD SSiiCC oonn SSCCSS66 wwaass eexxaammiinneedd.. EEXXPPEERRIIMMEENNTTAALL FFoorr tthhee ddeeppoossiittiioonn eexxppeerriimmeenntt,, aa vveerrttiiccaall bbaattcchh ffiibbeerr rreeaaccttoorr wwaass uusseedd ttoo ccooaatt 3300 ccmm lloonngg ffiibbeerrss ((rreeff.. 44)).. DDeeppoossiittiioonn tteemmppeerraattuurreess rraannggeedd ffrroomm 11335500 ttoo 11550000 °°CC,, aanndd SSiiHH aanndd CC33HHSS wweerree 44 uusseedd aass tthhee ssoouurrccee ggaasseess wwiitthh HH22 aass tthhee ccaarrrriieerr ggaass.. AA 11::99 SSii::CC aattoomm rraattiioo ooff ssoouurrccee ggaasseess wwaass hheelldd ccoonnssttaanntt ffoorr aallll ddeeppoossiittiioonn eexxppeerriimmeennttss.. TTwwoo ddiissttiinncctt sseettss ooff eexxppeerriimmeennttss wweerree ccoonndduucctteedd,, bbaasseedd oonn ddiiffffeerreenntt ssoouurrccee ggaass ccoonncceennttrraattiioonnss.. GGrroouupp AA eexxppeerriimmeennttss wweerree ppeerrffoorrmmeedd uussiinngg 33 mmooll %% SSiiHH aanndd 99 mmooll %% CC33HHSS.. GGrroouupp BB eexxppeerriimmeennttss wweerree ccoonndduucctteedd uussiinngg 00..33 mmooll %% SSiiHH 44 44 aanndd 00..99 mmooll %% CC33HHSS.. TThhee tteemmppeerraattuurree ooff tthhee ffiibbeerrss dduurriinngg tthhee CCVVDD pprroocceessss wwaass mmoonniittoorreedd aatt tthhee cceenntteerr ((1155 ccmm)) ooff tthhee ffiibbeerr wwiitthh aa ttwwoo--ccoolloorreedd ooppttiiccaall ppyyrroommeetteerr.. RREESSUULLTTSS AANNDD DDIISSCCUUSSSSIIOONN TThhee CCVVDD SSiiCC ccooaattiinngg tthhiicckknneessss oonn tthhee ffiibbeerrss wwaass mmeeaassuurreedd uussiinngg aa sspplliitt iimmaaggee mmiiccrroossccooppee.. SSEEMM mmiiccrrooggrraapphhss ooff ppoolliisshheedd ccrroossss sseeccttiioonnss wweerree aallssoo uusseedd ffrroomm sseevveerraall llooccaattiioonnss aalloonngg eeaacchh ffiibbeerr ttoo ccoonnffiirrmm tthhee ooppttiiccaall mmiiccrroossccooppee rreeaaddiinnggss.. FFiigguurreess 11 aanndd 22 sshhooww tthhee ddeeppoossiittiioonn rraattee vvaarrii aattiioonn aalloonngg tthhee ffiibbeerrss ffoorr ddiiffffeerreenntt tteemmppeerraattuurreess ffoorr eeaacchh ggrroouupp.. TThhee eerrrroorr bbaarrss iinnddiiccaattee tthhee ssttaannddaarrdd ddeevviiaattiioonn iinn ddeeppoossiittiioonn rraattee mmeeaassuurreemmeennttss.. AA llaarrggee vvaarriiaattiioonn iinn SSiiCC tthhiicckknneessss aanndd,, hheennccee,, ddeeppoossiittiioonn rraattee wwaass eevviiddeenntt ffoorr tthhee ggrroouupp AA ffiibbeerrss.. FFoorr tthhee ddiilluuttee ssoouurrccee ggaass ccaassee ffoorr ggrroouupp BB ffiibbeerrss,, lleessss vvaarriiaattiioonn wwaass sseeeenn.. IItt iiss ppoossssiibbllee tthhaatt tthhee SSii aattoommss aarree aabbllee ttoo mmiiggrraattee oovveerr aa lloonnggeerr rraannggee oonn tthhee ssuurrffaaccee ooff tthhee ffiibbeerr ffoorr ddiilluuttee fflloowwss bbeeffoorree bbeeccoommiinngg iinnccoorrppoorraatteedd iinn tthhee ssuurrffaaccee aass SSiiCC.. TThhiiss wwoouulldd ggiivvee aa mmoorree uunniiffoorrmm pprrooffiillee aalloonngg tthhee ffiibbeerr.. IItt iiss ddiiffffiiccuulltt ttoo ccoonncclluuddee wwhhaatt aarree tthhee ddoommiinnaanntt mmeecchhaanniissmmss ffoorr tthhiiss ppaarrttiiccuullaarr SSiiCC CCVVDD pprroocceessss.. TThhee ffllaatt pprrooffiillee ffoorr ggrroouupp BB ffiibbeerrss mmaayy bbee eevviiddeennccee ooff ddiiffffuussiioonn ccoonnttrroolllleedd pprroocceessss.. TThhee llaarrggee rraatteess aatt tthhee bbeeggiinnnniinngg ooff tthhee sskkeewweedd pprrooffiillee ffoorr tthhee ggrroouupp AA ffiibbeerrss mmaayy bbee eexxppllaaiinneedd bbyy aa tthheerrmmaallllyy ccoonnttrroolllleedd cchheemmiiccaall kkiinneettiicc pprroocceessss aanndd,, tthheenn,, ffaarrtthheerr aalloonngg tthhee ffiibbeerr,, tthhee pprroocceessss sseeeemmss ttoo hhaavvee bbeeccoommee mmoorree ddiiffffuussiioonn aanndd ddeepplleettiioonn ccoonnttrroolllleedd.. HHoowweevveerr,, ffoorr bbootthh ggrroouuppss,, tthheerree aarree aa nnuummbbeerr ooff ddiiffffeerreenntt ddeeccoommppoossiittiioonn rreeaaccttiioonnss ooccccuurrrriinngg dduurriinngg tthhee CCVVDD pprroocceessss aanndd,, wwhhaatt ssppeecciieess aarree aavvaaiillaabbllee aanndd aatt wwhhaatt ccoonncceennttrraattiioonn iiss nnoott kknnoowwnn.. TThhee uunncceerrttaaiinnttiieess iinn tthhee ffiibbeerr tteemmppeerraattuurree mmeeaassuurreemmeenntt wwiillll aallssoo ccoonnttrriibbuuttee ttoo tthhee oobbsseerrvveedd ssccaatttteerr iinn tthhee ddeeppoossiittiioonn rraattee ddaattaa ((rreeff.. 44)).. EElleeccttrroonn mmiiccrroopprroobbee aannaallyyssiiss wwaass uusseedd ttoo ddeetteerrmmiinnee tthhee ssttooiicchhiioommeettrryy ooff tthhee SSiiCC ccooaattiinngg.. CCVVDD ssiinnggllee ccrryyssttaall bbeettaa--SSiiCC wwaass uusseedd aass aa ssttaannddaarrdd.. TThhee ffiibbeerr ssaammpplleess aannaallyyzzeedd wweerree ttaakkeenn ffrroomm tthhee cceenntteerr ppoossiittiioonn ooff tthhee ffiibbeerrss wwhheerree tthhee tteemmppeerraattuurree wwaass mmoonniittoorreedd.. FFiigguurreess 33 aanndd 44 sshhooww tthhee vvaarriiaattiioonn iinn ssttooiicchhiioommeettrryy ffoorr tthhee ddiiffffeerreenntt tteemmppeerraattuurreess ffoorr eeaacchh ggrroouupp.. FFoorr ggrroouupp AA ffiibbeerrss,, tthhee SSiiCC ddeeppoossiitteedd aatt 11335500 °° CC wwaass oonnllyy 33 JJLLmm tthhiicckk aanndd rreessuulltteedd iinn aann uunnrreelliiaabbllee cchheemmiiccaall aannaallyyssiiss.. TThhee mmeeaassuurreemmeenntt eerrrroorr ffoorr tthhee eelleeccttrroonn mmiiccrroopprroobbee aannaallyyssiiss iiss ,,....,,..,,1100 ppeerrcceenntt.. FFrroomm ffiigg uurreess 33 aanndd 44,, aallll ooff tthhee ffiibbeerr ccooaattiinnggss ffaallll wwiitthhiinn tthhee eelleeccttrroonn mmiiccrroopprroobbee eerrrroorr.. FFoorr tthhiiss rreeaassoonn,, aallll ooff tthhee SSiiCC ccooaattiinnggss ccaann bbee ccoonnssiiddeerreedd cclloossee ttoo ssttooiicchhiioommeettrriicc.. SSeevveerraall ppllaacceess aalloonngg tthhee ffiibbeerrss ffrroomm eeaacchh ooff tthhee ggrroouuppss wweerree aallssoo aannaallyyzzeedd.. AAtt 11440000 °°CC,, tthhee SSii--rriicchh SSiiCC ccooaattiinngg bbeeccaammee mmoorree ssttooiicchhiioommeettrriicc ffrroomm tthhee 1177 ccmm ppoossiittiioonn ttoo tthhee eenndd ooff tthhee ffiibbeerr ((3300 ccmm)),, aanndd bbyy 11550000 °°CC,, tthhee CCVVDD SSiiCC ccooaattiinngg bbeeccaammee ssttooiicchhiioommeettrriicc aass eeaarrllyy aass tthhee 77 ccmm ppoossii ttiioonn ((cclloossee ttoo tthhee ggaass iinnlleett)).. AA ssiimmiillaarr ttrreenndd wwaass oobbsseerrvveedd ffoorr tthhee ggrroouupp BB ffiibbeerr~~ aallssoo.. OOnnee ccaann eexxppllaaiinn tthhiiss bbyy tthhee ffaacctt tthhaatt CC HH '' wwhhiicchh iiss hhaarrddeerr ttoo ccrraacckk tthhaann ssiillaannee,, ssttaarrttss ttoo ddiissssoocciiaattee 33 ss ffaasstteerr aatt hhiigghheerr tteemmppeerraattuurreess iinnttoo mmoorree rreeaaccttiivvee ssppeecciieess,, ssuucchh aass CCHH33,, CC22HH55,, CC22HH44 aanndd CC22HH22,, aanndd bbeeccoommeess ccoommppeettiittiivvee wwiitthh SSii--ccoonnttaaiinniinngg ssppeecciieess ffoorr tthhee ffoorrmmaattiioonn ooff SSiiCC ((rreeff.. 33)).. SSEEMM mmiiccrrooggrraapphhss ((bbaacckkssccaatttteerr aanndd sseeccoonnddaarryy eelleeccttrroonn)) rreevveeaalleedd tthhaatt tthhee mmiiccrroossttrruuccttuurreess ooff tthhee hhiigghheerr tteemmppeerraattuurree CCVVDD SSiiCC ffoorr ggrroouupp AA ffiibbeerrss wwaass ccoolluummnnaarr aanndd lleessss ddeennssee tthhaann tthhaatt ooff tthhee hhiigghheerr tteemmppeerraattuurree ccaasseess ffoorr ggrroouupp BB ffiibbeerrss.. FFiigguurree 55 sshhoowwss tthhee 11445500 °°CC ccaasseess ffoorr eeaacchh ggrroouupp ((tthhee ccrroossss sseeccttiioonnss aarree ttaakkeenn ffrroomm tthhee cceenntteerr ppoossiittiioonn ooff tthhee ffiibbeerrss)).. TThhiiss ttyyppee ooff ggrroowwtthh ccaann bbee aattttrriibbuutteedd ttoo tthhee ffaacctt tthhaatt tthhee ggrroouupp BB ffiibbeerrss hhaavvee aa mmuucchh sslloowweerr ddeeppoossiittiioonn rraattee tthhaann tthhee ggrroouupp AA ffiibbeerrss.. SSiimmiillaarr mmoorrpphhoollooggiieess wwiitthh ootthheerr pprreeccuurrssoorrss hhaavvee bbeeeenn rreeppoorrtteedd ffoorr tthheessee 22 tteemmppeerraattuurreess ((rreeffss.. 11 aanndd 33)).. CClloossee ttoo tthhee ggaass iinnlleett ppoossiittiioonn,, bbootthh ffiibbeerr ggrroouuppss eexxhhiibbiitteedd aa vveerryy ppoorroouuss aanndd ccoolluummnnaarr ssttrruuccttuurreess ffoorr tteemmppeerraattuurreess bbeettwweeeenn 11440000 aanndd 11550000 °°CC.. FFiigguurree 66 ccoommppaarreess tthhee mmiiccrroossttrruuccttuurreess ffoorr tthhee 11335500 °°cc ccaasseess.. HHeerree,, tthhee mmiiccrroossttrruuccttuurreess aappppeeaarr ssiimmiillaarr.. IItt sseeeemmss tthhaatt tteemmppeerraattuurree,, rraatthheerr tthhaann ddeeppoossiittiioonn rraatteess,, iiss tthhee ccrriittiiccaall vvaarriiaabbllee iinn ddeetteerrmmiinniinngg tthhee mmiiccrroossttrruuccttuurree eevvoollvviinngg aatt 11335500 °° CC.. SSUUMMMMAARRYY SSiilliiccoonn ccaarrbbiiddee wwaass ddeeppoossiitteedd oonn TTeexxttrroonn''ss SSCCSS66 ffiibbeerr uussiinngg SSiiHH aanndd CC33HHSS 44 pprreeccuurrssoorrss.. TThhee ddeeppoossiittiioonn rraatteess ffoorr tteemmppeerraattuurreess rraannggiinngg ffrroomm 11335500 ttoo 11550000 °° CC aanndd ddiiffffeerreenntt ssoouurrccee ggaass ccoonncceennttrraattiioonnss wweerree ddeetteerrmmiinneedd.. EElleeccttrroonn mmiiccrroopprroobbee aannaallyyssiiss wwaass uusseedd ttoo ddeetteerrmmiinnee tthhee ssttooiicchhiioommeettrryy aalloonngg tthhee ffiibbeerrss.. TThhee CCVVDD SSiiCC ccooaattiinnggss wweerree cclloossee ttoo ssttooiicchhiioommeettrriicc ffoorr aallll ooff tthhee tteemmppeerraattuurreess aanndd ssoouurrccee ggaass ccoonncceennttrraattiioonnss ssttuuddiieedd.. AAllssoo,, aatt hhiigghheerr ddeeppoossiittiioonn tteemmppeerraa ttuurreess,, tthhee SSiiCC ccooaattiinnggss wweerree mmoorree ssttooiicchhiioommeettrriicc aalloonngg lloonnggeerr lleennggtthhss ooff tthhee ffiibbeerr.. TThhee mmiiccrroo ssttrruuccttuurree ooff tthhee SSiiCC ccooaattiinnggss wweerree ccoommppaarreedd.. AAtt 11335500 °°cc,, tthhee mmiiccrroossttrruuccttuurreess wweerree ssiimmiillaarrjj hhoowweevveerr,, aatt hhiigghheerr tteemmppeerraattuurreess,, tthhee mmiiccrroossttrruuccttuurree ffoorr tthhee mmoorree ccoonncceennttrraatteedd ssoouurrccee ggaass ggrroouupp wweerree ppoorroouuss aanndd ccoolluummnnaarr iinn ccoommppaarriissoonn ttoo ccrroossss sseeccttiioonnss ttaakkeenn ffrroomm tthhee ssaammee aarreeaa ffoorr tthhee ddiilluuttee ssoouurrccee ggaass ggrroouupp.. RREEFFEERREENNCCEESS 11.. CChhooii,, BB..JJ..jj aanndd KKiimm,, DD..RR..:: GGrroowwtthh ooff SSiilliiccoonn CCaarrbbiiddee bbyy CChheemmiiccaall VVaappoorr DDeeppoossiittiioonn.. JJ.. MMaatteerr.. SSccii.. LLeetttt.. vvooll.. 1100,, 11999911,, pppp.. 886600--886622.. 22.. SSaaiiggaall,, AA..jj aanndd DDaass,, NN..:: EEffffeecctt ooff DDeeppoossiittiioonn PPaarraammeetteerrss oonn tthhee SSttrreennggtthh ooff CCVVDD BBeettaa--SSiiCC CCooaattiinnggss.. AAddvv.. CCeerraamm.. MMaatteerr..,, vvooll.. 33,, nnoo.. 66,, 11998888,, pppp.. 558800--558833.. 33.. NNiiiihhaarraa,, KK..jj SSuuddaa,, AA..;; aanndd HHaarraaii,, TT..:: PPrreeppaarraattiioonn aanndd MMeecchhaanniiccaall PPrrooppeerrttiieess ooff CCVVDD--SSiiCC.. PPrroocceeeeddiinnggss ooff tthhee IInntteerrnnaattiioonnaall SSyymmppoossiiuumm oonn CCeerraammiicc CCoommppoonneenntt ffoorr EEnnggiinnee,, HHaakkoonnee,, JJaappaann,, 11998833,, pppp.. 448800--448899.. 44.. GGookkoogglluu,, SS..AA..,, eett aall..:: AA NNuummeerriiccaall aanndd EExxppeerriimmeennttaall AAnnaallyyssiiss ooff RReeaaccttoorr PPeerrffoorrmmaannccee aanndd DDeeppoossiittiioonn RRaatteess ffoorr CCVVDD oonn MMoonnooffiillaammeennttss.. CChheemmiiccaall VVaappoorr DDeeppoossiittiioonn,, KK..EE.. SSppeeaarr aanndd GG..WW.. CCuulllleenn,, eeddss..,, PPeennnniinnggttoonn PPuubbll..,, 11999900,, pppp.. 3311--3377.. 33 --11--..33..--..554400 CC-- --11--33--••554400..CC..-- cc 11440000CC CC 11440000CC EE .. EE 1144~~CC EE 1144~~CC EE 11550000CC 22-- 22-- QQ)) QQ)) iiiiii iiiiii aa:: aa:: cc cc oo oo ++== ++== ''ww ''wwoo --.. ooQQ .. ooQQQQ)) .. ...... ooQQ )) ........ .......... .. ........••.......... ··········--111111·········· ...... oo LL____ ______~~ ______________ LL__ __________~~ ____________~~ ____________LL ____ ______~~ ooLL--________~~ ____________-- LL__ __________-- LL__ __________~~ ____________LL ____ ______~~ oo 1100 1155 2200 2255 3300 oo 1100 1155 2200 2255 3300 ggaass iinnlleett PPoossiittiioonn ((ccmm)) ggaass oouuttlleett ggaass iinnlleett PPoossiittiioonn ((ccmm)) ggaass oouuttlleett FFiigguurree 11..--DDeeppoossiittiioonn rraattee VVSS.. ppoossiittiioonn ffoorr GGrroouupp AA.. FFiigguurree 22..--DDeeppoossiittiioonn rraattee vvss.. ppoossiittiioonn ffoorr GGrroouupp BB.. 110000 110000 iilliiIISSii ~~SSll cc CC 8800 8800 6600 6600 AAttoommiicc %% SSiiCC AAttoommiicc %% rr----------~~~~--------------------~~~~~~----------------~~~~~~ SSiiCC 4400 4400 2200 ~~;; ,, 2200 ll~~ 11440000 11445500 11550000 11335500 11445500 TTeemmppeerraattuurree..ooCC FFiigguurree 33..--EElleeccttrroonn mmiiccrroopprroobbee aannaallyyssiiss ooff CCVVDD SSiiCC ((GGrroouupp AA)).. FFiigguurree 44..--EElleeccttrroonn mmiiccrroopprroobbee aannaallyyssiiss ooff CCVVDD SSiiCC ((GGrroouupp BB)).. 44 ((aa)) GGrroouupp AA.. ((aa)) GGrroouupp AA.. CCVVDD SSiiCC LL------JJ 11 JJ..llmm ((bb)) GGrroouupp BB.. ((bb)) GGrroouupp BB.. FFiigguurree 55..--SSiiCC ccooaattiinnggss oonn SSCCSS66 ddeeppoossiitteedd aatt 11445500 °°CC.. FFiigguurree 66..--SSiiCC ccooaattiinnggss oonn SSCCSS66 ddeeppoossiitteedd aatt 11335500 °°CC.. 55 FFoorrmm AApppprroovveedd RREEPPOORRTT OO..ooCCUUMMEENNTTAA TTIIOONN PPAAGGEE OOMMBB NNoo.. 00770044--00118888 PPuubblliicc rreeppoorrttiinngg bbuurrddeenn ffoorr tthhiiss ccoolllleeccttiioonn ooff iinnffoorrmmaattiioonn iiss eessttiimmaatteedd ttoo aavveerraaggee 11 hhoouurr ppeerr rreessppoonnssee,, iinncclluuddiinngg \\hhee ttiimmee ffoorr rreevviieewwiinngg iinnssttrruuccttiioonnss,, sseeaarrcchhiinngg eexxiissttiinngg ddaattaa ssoouurrcceess,, ggaatthheerriinngg aanndd mmaaiinnttaaiinniinngg tthhee ddaattaa nneeeeddeedd,, aanndd ccoommpplleettiinngg aanndd rreevviieewwiinngg tthhee ccoolllleeccttiioonn ooff iinnffoorrmmaattiioonn.. SSeenndd ccoommmmeennttss rreeggaarrddiinngg tthhiiss bbuurrddeenn eessttiimmaattee oorr aannyy ootthheerr aassppeecctt ooff tthhiiss ccoolllleeccttiioonn ooff iinnffoorrmmaattiioonn,, iinncclluuddiinngg ssuuggggeessttiioonnss ffoorr rreedduuddnngg tthhiiss bbuurrddeenn,, ttoo WWaasshhiinnggttoonn HHeeaaddqquuaarrtteerrss SSeerrvviicceess,, DDiirreeccttoorraattee ffoorr iinnffoorrmmaattiioonn OOppeerraattiioonnss aanndd RReeppoorrttss,, 11221155 JJeeffffeerrssoonn DDaavvIIss HHiigghhwwaayy,, SSuuiittee 11220044,, AArrlliinnggttoonn,, VVAA 2222220022--44330022,, aanndd ttoo tthhee OOffffiiccee ooff MMaannaaggeemmeenntt aanndd BBuuddggeett,, PPaappeerrwwoorrkk RReedduuccttiioonn PPrroojjeecctt ((00770044--00118888)),, WWaasshhiinnggttoonn,, DDCC 2200550033.. 11.. AAGGEENNCCYY UUSSEE OONNLLYY ((LLeeaavvee bbllaannkk)) 1122.. RREEPPOORRTT DDAATTEE 1133.. RREEPPOORRTT TTYYPPEE AANNDD DDAATTEESS CCOOVVEERREEDD 11999922 TTeecchhnniiccaall MMeemmoorraanndduumm 44.. TTIITTLLEE AANNDD SSUUBBTTIITTLLEE 55.. FFUUNNDDIINNGG NNUUMMBBEERRSS CCVVDD ooff SSiilliiccoonn CCaarrbbiiddee oonn SSttrruuccttuurraall FFiibbeerrss:: MMiiccrroossttrruuccttuurree aanndd CCoommppoossiittiioonn .. WWUU--551100--0011--0011 66.. AAUUTTHHOORR((SS)) LLiissaa CC.. VVeeiittcchh,, FFrraanncciiss MM.. TTeerreeppkkaa,, aanndd SSuulleeyymmaann AA.. GG66kkoogglluu 77.. PPEERRFFOORRMMIINNGG OORRGGAANNIIZZAATTIIOONN NNAAMMEE((SS)) AANNDD AADDDDRREESSSS((EESS)) 88.. PPEERRFFOORRMMIINNGG OORRGGAANNIIZZAATTIIOONN RREEPPOORRTT NNUUMMBBEERR NNaattiioonnaall AAeerroonnaauuttiiccss aanndd SSppaaccee AAddmmiinniissttrraattiioonn LLeewwiiss RReesseeaarrcchh CCeenntteerr EE--66777700 CClleevveellaanndd,, OOhhiioo 4444113355 --33119911 99.. SSPPOONNSSOORRIINNGG//MMOONNIITTOORRIINNGG AAGGEENNCCYY NNAAMMEESS((SS)) AANNDD AADDDDRREESSSS((EESS)) 1100.. SSPPOONNSSOORRIINNGG//MMOONNIITTOORRIINNGG AAGGEENNCCYY RREEPPOORRTT NNUUMMBBEERR NNaattiioonnaall AAeerroonnaauuttiiccss aanndd SSppaaccee AAddmmiinniissttrraattiioonn WWaasshhiinnggttoonn,, DD..CC.. 2200554466--00000011 NNAASSAA TTMM--II0055338855 1111.. SSUUPPPPLLEEMMEENNTTAARRYY NNOOTTEESS PPrreeppaarreedd ffoorr tthhee 11999911 FFaallll MMeeeettiinngg ooff tthhee MMaatteerriiaallss RReesseeaarrcchh SSoocciieettyy,, BBoossttoonn,, MMaassssaacchhuusseettttss,, DDeecceemmbbeerr 22--66,, 11999911.. RReessppoonnssiibbllee ppeerrssoonn,, LLiissaa CC.. VVeeiittcchh,, ((221166)) 443333--33116677.. 1122aa.. DDIISSTTRRIIBBUUTTIIOONN//AAVVAAIILLAABBIILLIITTYY SSTTAATTEEMMEENNTT 1122bb.. DDIISSTTRRIIBBUUTTIIOONN CCOODDEE UUnnccllaassssiiffiieedd --UUnnlliimmiitteedd SSuubbjjeecctt CCaatteeggoorryy 2244 1133.. AABBSSTTRRAACCTT ((MMaaxxiimmuumm 220000 wwoorrddss)) SSttrruuccttuurraall ffiibbeerrss aarree ccuurrrreennttllyy bbeeiinngg ccoonnssiiddeerreedd aass rreeiinnffoorrcceemmeennttss ffoorr iinntteerrmmeettaalllliicc aanndd cceerraammiicc mmaatteerriiaallss.. SSoommee ooff tthheessee ffiibbeerrss,, hhoowweevveerr,, aarree eeaassiillyy ddeeggrraaddeedd iinn aa hhiigghh tteemmppeerraattuurree ooxxiiddaattiivvee eennvviirroonnmmeenntt.. TThheerreeffoorree,, ccooaattiinnggss aarree nneeeeddeedd ttoo pprrootteecctt tthhee ffiibbeerrss ffrroomm eennvviirroonnmmeennttaall aattttaacckk,, SSiilliiccoonn ccaarrbbiiddee ((SSiiCC)) wwaass cchheemmiiccaallllyy vvaappoorr ddeeppoossiitteedd ((CCVVDD)) oonn TTeexxttrroonn''ss SSCCSS66 ffiibbeerrss.. FFiibbeerr tteemmppeerraattuurreess rraannggiinngg ffrroomm 11335500 ttoo 11550000 °°CC wweerree ssttuuddiieedd.. SSiillaannee ((SSiiHH )) aanndd pprrooppaannee 44 ((CC HHgg)) wweerree uusseedd ffoorr tthhee ssoouurrccee ggaasseess aanndd ddiiffffeerreenntt ccoonncceennttrraattiioonnss ooff tthheessee ssoouurrccee ggaasseess wweerree ssttuuddiieedd.. DDeeppoossiittiioonn 33 rraatteess wweerree ddeetteerrmmiinneedd ffoorr eeaacchh ggrroouupp ooff ffiibbeerrss aatt ddiiffffeerreenntt tteemmppeerraattuurreess.. LLeessss vvaarriiaattiioonn iinn ddeeppoossiittiioonn rraatteess wweerree oobbsseerrvveedd ffoorr tthhee ddiilluuttee ssoouurrccee ggaass eexxppeerriimmeennttss tthhaann tthhee ccoonncceennttrraatteedd ssoouurrccee ggaass eexxppeerriimmeennttss,, AA ccaarreeffuull aannaallyyssiiss wwaass ppeerrffoorrmmeedd oonn tthhee ssttooiicchhiioommeettrryy ooff tthhee CCVVDD SSiiCC--ccooaattiinngg uussiinngg eelleeccttrroonn mmiiccrroopprroobbee.. MMiiccrroossttrruuccttuurreess ffoorr tthhee ddiiffffeerreenntt ccoonnddiittiioonnss wweerree ccoommppaarreedd.. AAtt 11335500 °°cc,, tthhee mmiiccrroossttrruuccttuurreess wweerree ssiimmiillaarr;; hhoowweevveerr,, aatt hhiigghheerr tteemmppeerraattuurreess,, tthhee mmiiccrroo-- ssttrruuccttuurree ffoorr tthhee mmoorree ccoonncceennttrraatteedd ssoouurrccee ggaass ggrroouupp wweerree ppoorroouuss aanndd ccoolluummnnaarr iinn ccoommppaarriissoonn ttoo tthhee ccrroossss sseeccttiioonnss ttaakkeenn ffrroomm tthhee ssaammee aarreeaa ffoorr tthhee ddiilluuttee ssoouurrccee ggaass ggrroouupp.. 1144.. SSUUBBJJEECCTT TTEERRMMSS 1155.. NNUUMMBBEERR OOFF PPAAGGEESS 66 SSiilliiccoonn CCaarrbbiiddee;; CCVVDD;; SSiilliiccoonn ccaarrbbiiddee ffiibbeerrss 1166.. PPRRIICCEE CCOODDEE AA0022 1177.. SSEECCUURRIITTYY CCLLAASSSSIIFFIICCAATTIIOONN 1188.. SSEECCUURRIITTYY CCLLAASSSSIIFFIICCAATTIIOONN 1199.. SSEECCUURRIITTYY CCLLAASSSSIIFFIICCAATTIIOONN 2200.. LLIIMMIITTAATTIIOONN OOFF AABBSSTTRRAACCTT OOFF RREEPPOORRTT OOFF TTHHIISS PPAAGGEE OOFF AABBSSTTRRAACCTT UUnnccllaassssiiffiieedd UUnnccllaassssiiffiieedd UUnnccllaassssiiffiieedd NNSSNN 77554400--0011--228800--55550000 SSttaannddaarrdd FFoorrmm 229988 ((RReevv.. 22--8899)) PPrreessccrriibbeedd bbyy AANNSSII SSttdd.. ZZ3399--1188 229988--110022 ---------- ------..----..---- NNaattiioonnaall AAeerroonnaauuttiiccss aanndd FFOOUURRTTHH CCLLAASSSS MMAAIILL SSppaaccee AAddmmiinniissttrraattiioonn LLeewwiiss RReesseeaarrcchh CCeenntteerr AADDDDRREESSSS CCOORRRREECCTTIIOONN RREEQQUUEESSTTEEDD CClleevveellaanndd,, OOhhiioo 4444113355 OOffffiicciiaall BBuussiinneessss PPeennaallllyy ffoorr PPrriivvaattee UUssee $$330000 PPoossttaaggee aanndd FFeeeess PPiilllldd NNaattiioonnaall AAeerroonn<<lluuiillccss <<IInn SSppaaccee AAddmmiinniissttrraattiioonn NNAASSAA 4455tt NNII\\SS//\\
The list of books you might like
