Messtechnik 7. Auflage Uwe Kiencke · Ralf Eger Messtechnik Systemtheorie für Elektrotechniker 7. Auflage 123 Prof.Dr.-Ing.UweKiencke RalfEger UniversitätKarlsruhe InstitutfürIndustrielleInformationstechnik Hertzstr.16 76187Karlsruhe Germany [email protected] [email protected] ISBN 978-3-540-78428-9 e-ISBN 978-3-540-78429-6 DOI10.1007/978-3-540-78429-6 BibliografischeInformationderDeutschenNationalbibliothek DieDeutscheBibliothekverzeichnetdiesePublikationinderDeutschenNationalbibliografie; detailliertebibliografischeDatensindimInternetüberhttp://dnb.d-nb.deabrufbar. ©2008,2005,2001,1995Springer-VerlagBerlinHeidelberg DiesesWerkisturheberrechtlichgeschützt.DiedadurchbegründetenRechte,insbesonderediederÜber- setzung,desNachdrucks,desVortrags,derEntnahmevonAbbildungenundTabellen,derFunksendung, derMikroverfilmungoderderVervielfältigungaufanderenWegenundderSpeicherunginDatenver- arbeitungsanlagen,bleiben,auchbeinurauszugsweiserVerwertung,vorbehalten.EineVervielfältigung diesesWerkesodervonTeilendiesesWerkesistauchimEinzelfallnurindenGrenzendergesetzlichen BestimmungendesUrheberrechtsgesetzesderBundesrepublikDeutschlandvom9.September1965in derjeweilsgeltendenFassungzulässig.Sieistgrundsätzlichvergütungspflichtig.Zuwiderhandlungen unterliegendenStrafbestimmungendesUrheberrechtsgesetzes. DieWiedergabevonGebrauchsnamen,Handelsnamen,Warenbezeichnungenusw.indiesemWerkbe- rechtigtauchohnebesondereKennzeichnungnichtzuderAnnahme,dasssolcheNamenimSinneder Warenzeichen-undMarkenschutz-Gesetzgebungalsfreizubetrachtenwärenunddahervonjedermann benutztwerdendürften. Satz:DigitaleDruckvorlagederAutoren Herstellung:LE-TEXJelonek,Schmidt&VöcklerGbR,Leipzig Einbandgestaltung:WMXDesignGmbH,Heidelberg GedrucktaufsäurefreiemPapier 987654321 springer.com Vorwort zur 7. Auflage NachmehrerenJahrenüberwiegendiegutenErfahrungenimLehrbetriebmitder6. AuflagedesBuchesMesstechnik.Weildie6.AuflageaufgrundderhohenNachfra- gebereitswiedervergriffenist,habenwirunsentschlossendiese7.Auflageaufden Wegzubringen. In der Erstellungder 6. Auflage haben sich unglücklicherweiseFehler eingeschli- chen,dieDankderinteressiertenHörer-undLeserschaftentdecktwerdenkonnten undnunindieserAuflagekorrigiertwordensind. DiebisvoreinigerZeitverfügbarenAufgabenzumBuchwurdenausdidaktischen GründenausdemInternetherausgenommen.InderÜbungzurVorlesungwerden AufgabenzudenbehandeltenThemenvorgerechnet,umdieTheorieunddieprak- tischeBerechnungengezieltzuerlernenundzuvertiefen. Danken möchtenwir den Hörerndes Faches undLesern des BuchesMesstechnik fürdieHinweisezudenFehlernsowieHerrnDr.-Ing.JörgBarrhoundFrauDipl.- Ing. Lena Webersinke für die nützlichen Kommentare und die Überarbeitung des Manuskripts. Karlsruhe,imFrühjahr2008 UweKiencke,RalfEger Vorwort zur 5. Auflage Die vorliegende 5. Auflage des Buches Messtechnik ist aus der 4. Auflage durch vollständigeÜberarbeitunghervorgegangen.WährendfrüherunterschiedlicheMes- saufgabenfallweisebehandeltwurden,istinZukunfteinsystemorientiertesVorge- henerforderlich,dasaufmathematischenGrundlagenaufbaut.Essollennichtspe- zielleTechnologienoderphysikalischeEffekteuntersuchtwerden,sondernderWeg vondortzuMesssystemen,dieTeilvonAutomatisierungs-undInformationssyste- mensind. EinewesentlicheNeuerungdiesesBuchesergibtsichausderbesserenAnknüpfung an die Theorie stochastischer Prozesse. Hierzu wurde ein eigenes Kapitel einge- fügt, welches die theoretischen Grundlagen und die systematische Einteilung von Signalklassen zusammenfasst. Dies bildet die Basis für die Korrelationsmesstech- nik,dieumzahlreicheAnwendungenergänztwurde.FürdieSystemanalysewerden die theoretischenZusammenhängevon stochastischen Prozessen in LTI-Systemen und der Begriff der Leistungsdichte eingeführt. Mit diesen Grundlagen kann das Wiener-FilteralseinweitergehendesVerfahrenvorgestelltwerden. DieSignalverarbeitunggehörtheutezudenGrundlagendesElektrotechnikstudiums. Der Übergangvon der analogenin die digitale Welt wird hierbei meist idealisiert betrachtet.IndiesemBuchwirdeineumfassendesystemtheoretischeBeschreibung vonFehlernbeiderdigitalenMessdatenerfassungdurchQuantisierung,Jitter oder nichtidealeAD-Wandlervorgestellt. Der Erfassung von frequenzanalogenSignalen wurde wegen der wachsenden Be- deutungeineigenesKapitelgewidmet.NacheinertheoretischenDefinitiondesFre- quenzbegriffesausdem2.MomentderLeistungsdichtewerdendieFehlereinflüsse durchAbtastungundQuantisierungumfassendmitstochastischenGrundlagenbe- schrieben.MitHilfeeinesLeast-Squares-Schätzerswirdzusätzlicheindynamisches FehlerkompensationsverfahrenfürmechanischeSensorradfehlervorgestellt,dasin derAutomobiltechnikverwendetwird. DieÜbungsaufgabenzurVertiefungdesStoffeswurdenerweitertundandieneuen Inhalte angepasst. Auf eine Aufnahme in dieses Buch wurde dagegen verzichtet. Vielmehr können die Aufgaben mit ausführlicher Musterlösung im Internet unter http://www.iiit.uni-karlsruhe.debezogenwerden. Karlsruhe,imHerbst2001 UweKiencke,RalfEger Vorwort zur 4. Auflage DiesesBuchMesstechnikrichtetsichandieStudentenderElektrotechniknachdem Vordiplom. In dem vorgegebenen Zeitrahmen einer Kernfach-Vorlesung von nur zwei Stunden ist es nicht möglich, die gesamte Breite der Messtechnik zu behan- deln, weil diese sich auf die unterschiedlichsten Verfahren und Technologien ab- stützt.DeshalberfolgthiereineBeschränkungaufdiesystemtechnischenGrundla- gen der Messtechnik. Es werden die allen Messsystemen gemeinsamen Verfahren indenVordergrundgestellt,mitdenen • dasphysikalischeVerhaltendurcheinmathematischesModellbeschrieben • diestatischenunddynamischenEigenschaftenvonMesssystemenverbessert • stochastischeMessgrößengemessenundverarbeitet • MessdateninDigitalrechnernerfasst werdenkönnen.Die konkreteAnwendungdieser VerfahrenaufMesssysteme spe- ziellerTechnologienwirdanBeispielenundinÜbungsaufgabenim6.Kapitelvor- geführt. Der Leser soll damit in die Lage versetzt werden, sich in spezielle Sen- sorkonfigurationen selbst einzuarbeiten. Voraussetzung dafür ist die Kenntnis der gebräuchlichenIntegraltransformationenund der Grundlagender Wahrscheinlich- keitsrechnung. Bei der Ausarbeitungdieses Buches fand ich das Buch meines verehrten Vorgän- gers, HerrnProf.Heinz KronmüllerMethodenderMesstechnik, Schnäcker-Verlag Karlsruhe, 3. Auflage, 1988, vor, das die Messtechnik in der oben geschilderten, systematischenWeise hervorragendaufbereitet.IchhabeesdeshalbalsGrundlage herangezogen.BeidenAbleitungenvonFormelnsindallenotwendigenZwischen- schritteangegeben,damitderLesersichdenStoffauchimSelbststudiumaneignen kann. Das 4. Kapitel Messungen stochastischerGrößen wurde um die statistische Qualitätskontrolle erweitert und das 5. Kapitel Digitale Messdatenerfassung neu aufgenommen. Dabei werden einfache Grundlagen der Signalverarbeitung einge- führt. Besonderer Dank gilt den Herren Dipl.-Ing. Armin Daiß und Dipl.-Ing. Martin Ostertag für Ihre Mithilfe bei der Ausarbeitung, Herrn Ulrich Lang für das Lay- out und die Zeichnungen, sowie Herrn Frank Kolb für die Ausformulierung der LösungenzudenÜbungsaufgaben. Karlsruhe,imMai1995 UweKiencke Inhaltsverzeichnis 1. MesssystemeundMessfehler.................................. 1 1.1 Messen ................................................... 1 1.1.1 Einheitensystem ..................................... 1 1.2 Messsysteme .............................................. 3 1.2.1 PhysikalischeMesskennlinie........................... 4 1.3 Fehler,ihreDefinitionundUrsachen .......................... 5 1.3.1 DefinitiondesFehlers ................................ 6 1.3.2 Fehlerursachen ...................................... 7 1.3.3 SpezifizierteNormalbedingungen....................... 8 2. Kurvenanpassung ........................................... 13 2.1 ApproximationmitorthonormalenFunktionensystemen .......... 14 2.2 Least-Squares-Schätzer...................................... 18 2.2.1 Regressionsrechnung................................. 19 2.3 Kennlinieninterpolation ..................................... 21 2.3.1 InterpolationdurchLagrange-Polynome................. 21 2.3.2 InterpolationdurchNewton-Polynome .................. 24 2.3.3 Spline-Interpolation.................................. 27 2.4 Kennfeld-Interpolation...................................... 31 3. StationäresVerhaltenvonMesssystemen........................ 37 3.1 StationäreMesskennlinieundderenFehler ..................... 37 3.1.1 Abgleich,JustierungderMesskennlinie ................. 37 3.1.2 IdealeundrealeMesskennlinie......................... 38 3.1.3 KennlinienfehlerbeirealerKennlinie ................... 39 3.1.4 AbschätzungdesKennlinienfehlers..................... 42 3.2 KennlinienfehlerunterNormalbedingungen .................... 45 3.2.1 HerabsetzendesMessbereichs ......................... 46 3.2.2 HintereinanderschaltenzweiernichtlinearerGlieder ....... 47 3.2.3 WahldesgünstigstenMessbereichs ..................... 51 3.2.4 Differenzmethode.................................... 57 3.2.5 Gegenkopplung...................................... 62 3.3 KennlinienfehlerbeiAbweichungenvondenNormalbedingungen.. 66 3.3.1 SuperponierendeStörgrößen........................... 66 X Inhaltsverzeichnis 3.3.2 Eliminierung superponierender Störgrößen mit der Diffe- renzmethode ........................................ 68 3.3.3 DeformierendeStörgrößen ............................ 69 3.3.4 DeformierendeStörgrößenbeiGegenkopplung ........... 72 3.3.5 SuperponierendeStörgrößenbeiGegenkopplung.......... 75 3.3.6 KompensationsystematischerStöreinflüsse .............. 75 3.3.7 AbschirmungvonStörgrößen.......................... 76 3.3.8 SuperponierendeStörgrößeninMessketten .............. 76 3.3.9 SynchronerZerhackerverstärker........................ 78 3.4 RückwirkungdesMesssystems ............................... 81 4. DynamischesVerhaltenvonMesssystemen ...................... 85 4.1 DynamischeFehlervonMesssystemen ........................ 85 4.1.1 EmpirischeKennwertederSprungantwort ............... 85 4.1.2 NichtlinearesZeitverhalten............................ 86 4.1.3 BestimmungdesFrequenzganges....................... 86 4.2 SystembeschreibungvonMesssystemen ....................... 89 4.2.1 StabilitätskriteriumnachHurwitz....................... 92 4.3 Parameteroptimierung....................................... 94 4.3.1 KriteriumverschwindendeMomentederImpulsantwort.... 96 4.3.2 KriteriumkonstanterAmplitudengangfürkleineFrequenzen100 4.3.3 KriteriumkonstanterRealteildesFrequenzganges ........104 4.3.4 ITAE-Kriterium .....................................110 4.3.5 Kriterium„QuadratischesFehlerintegral“................115 4.4 StrukturänderungzurOptimierungdesZeitverhaltens ............121 4.4.1 KompensationdesZeitverhaltens.......................121 4.4.2 ZeitverhaltenbeiGegenkopplung.......................126 5. ZufälligeMessfehler ......................................... 135 5.1 GrundlagenderWahrscheinlichkeitstheorie.....................136 5.1.1 Wahrscheinlichkeitsdichte.............................136 5.1.2 WahrscheinlichkeitsdichtenabgebildeterGrößen..........139 5.1.3 Erwartungswerte1.Ordnung ..........................140 5.1.4 Erwartungswerte2.Ordnung ..........................141 5.1.5 Korrelationskoeffizient................................142 5.1.6 CharakteristischeFunktion ............................145 5.2 Stichproben ...............................................146 5.2.1 Häufigkeitsverteilung.................................146 5.2.2 Stichprobenmittelwert ................................147 5.2.3 Stichprobenvarianz...................................149 5.2.4 GesetzdergroßenZahlen .............................151 5.2.5 MittelwertbildungbeiStörungen .......................153 5.3 NormalverteilteZufallsvariable...............................155 5.3.1 Normalverteilung ....................................155 5.3.2 ZentralerGrenzwertsatz...............................156 Inhaltsverzeichnis XI 5.3.3 χ2-Verteilung .......................................157 5.3.4 Studentt-Verteilung..................................161 5.4 StatistischeTestverfahren....................................162 5.4.1 StatistischeSicherheit,Konfidenzintervall ...............162 5.4.2 HypotheseundTestverfahren ..........................167 5.4.3 SignifikanztestfürdenStichprobenmittelwert ............168 5.4.4 χ2-Anpassungstest...................................170 5.4.5 BeurteilungvonFertigungsprozessen ...................173 5.4.6 BestimmungderAusfallrate ...........................176 5.4.7 StatistischeProzess-Überwachung......................180 5.5 Fehlerfortpflanzung.........................................184 5.5.1 GaußschesFehlerfortpflanzungsgesetz ..................184 5.5.2 NumerischeBerechnungvonMittelwertundVarianz ......186 6. Korrelationsmesstechnik ..................................... 189 6.1 StochastischeProzesse ......................................189 6.1.1 Wahrscheinlichkeitsdichte.............................190 6.1.2 Schar-undZeitmittelwerte,Momente1.Ordnung.........192 6.1.3 Momente2.Ordnung.................................194 6.1.4 StationäreProzesse...................................195 6.1.5 ErgodischeProzesse..................................196 6.2 Korrelationsfunktionen......................................199 6.2.1 Signalklassen .......................................199 6.2.2 KorrelationfürLeistungssignale........................202 6.2.3 KorrelationfürEnergiesignale .........................204 6.2.4 Eigenschaften .......................................206 6.3 AnwendungderKorrelation..................................207 6.3.1 MessungvonKorrelationsfunktionen....................207 6.3.2 ÄhnlichkeitvonSignalen,Laufzeitmessung..............209 6.3.3 Closed-loopKorrelator,Polaritätskorrelation .............212 6.3.4 ÄhnlichkeitvonSpektren,Dopplermessung..............216 6.3.5 Selbstähnlichkeit ....................................218 6.4 Leistungsdichtespektrum ....................................219 6.4.1 Rauschen...........................................222 6.4.2 VerknüpfungvonZufallssignalen.......................226 6.4.3 LeistungsdichtespektruminLTI-Systemen ...............227 6.4.4 Systemidentifikation..................................231 6.4.5 WienerFilter........................................235 7. ErfassungamplitudenanalogerSignale ......................... 243 7.1 Abtastung.................................................244 7.1.1 Aliasing ...........................................246 7.1.2 Anti-Aliasing-Filter ..................................247 7.1.3 MittelwertbildungbeiendlicherAbtastdauer .............249 7.1.4 ZeitlicheAbtastfehler ................................252 XII Inhaltsverzeichnis 7.2 Quantisierung..............................................256 7.2.1 WahrscheinlichkeitsdichtenvonSignalamplituden.........259 7.2.2 AmplitudendichteeinerFourier-Reihe...................261 7.2.3 Quantisierungstheorem ...............................262 7.2.4 WahrscheinlichkeitsdichtedesQuantisierungsfehlers ......267 7.2.5 Dither..............................................269 7.3 Analog-Digital-Umsetzer....................................274 7.3.1 IntegrierenderAD-Umsetzer...........................274 7.3.2 VerzögertnachlaufenderAD–Umsetzer..................276 7.3.3 Sigma-Delta-Wandler.................................277 7.3.4 AD-UmsetzermitsukzessiverApproximation ............284 7.3.5 RatiometrischeMessung ..............................286 7.3.6 NichtlineareKennliniedesAD–Umsetzers...............287 7.4 Digital-Analog-Umsetzer....................................288 7.4.1 ParalleleDA-Umsetzer ...............................289 7.4.2 SerielleDA-Umsetzer ................................291 8. ErfassungfrequenzanalogerSignale............................ 8.1 AllgemeinerFrequenzbegriff.................................296 8.2 DigitaleDrehzahlmessung ...................................301 8.2.1 Periodendauermessung ...............................302 8.2.2 Frequenzzählung ....................................304 8.2.3 MaximalerQuantisierungsfehlerfüreinenZählvorgang ....304 8.2.4 MittelwertbildungbeiderDrehzahlmessung..............306 8.2.5 AbtastungbeiderDrehzahlmessung ....................309 8.2.6 QuantisierungbeifortlaufendenPeriodendauermessungen..310 8.2.7 LeistungsdichtedesQuantisierungsfehlers ...............314 8.2.8 KompensationmechanischerFehlerdesSensorrades.......316 8.3 KontinuierlicheFrequenzmessung ............................321 8.3.1 Frequenzregelkreis...................................322 8.3.2 Phasenregelkreis.....................................323 8.4 Positions-undRichtungserkennung ...........................327 8.4.1 Drehrichtungserkennung..............................327 8.4.2 PositionsbestimmungmitInkrementalgebern.............329 Symbole ....................................................... 331 Literaturverzeichnis ............................................. Index.......................................................... 337