U.Kiencke·R.Eger Messtechnik U. Kiencke · R. Eger Messtechnik Systemtheorie für Elektrotechniker 6.,durchgeseheneundkorrigierteAuflage Mit193Abbildungen 123 ProfessorDr.-Ing.UweKiencke e-mail:[email protected] Dr.-Ing.RalfEger e-mail:[email protected] UniversitätKarlsruhe(TH) InstitutfürIndustrielleInformationstechnik Hertzstraße16 76187Karlsruhe Deutschland BibliografischeInformationderDeutschenBibliothek DieDeutscheBibliothekverzeichnetdiesePublikationinderDeutschenNationalbibliografie; detailliertebibliografischeDatensindimInternetüberhttp://dnb.ddb.deabrufbar. ISBN3-540-24310-0 6.AuflageSpringerBerlinHeidelbergNewYork ISBN3-540-42097-5 5.AuflageSpringerBerlinHeidelbergNewYork DiesesWerkisturheberrechtlichgeschützt.DiedadurchbegründetenRechte,insbesonderedie derÜbersetzung,desNachdrucks,desVortrags,derEntnahmevonAbbildungenundTabellen, derFunksendung,derMikroverfilmungoderderVervielfältigungaufanderenWegenundder SpeicherunginDatenverarbeitungsanlagen,bleiben,auchbeinurauszugsweiserVerwertung, vorbehalten.EineVervielfältigungdiesesWerkesodervonTeilendiesesWerkesistauchim EinzelfallnurindenGrenzendergesetzlichenBestimmungendesUrheberrechtsgesetzesder BundesrepublikDeutschlandvom9.September1965inderjeweilsgeltendenFassungzulässig.Sie istgrundsätzlichvergütungspflichtig.ZuwiderhandlungenunterliegendenStrafbestimmungen desUrheberrechtsgesetzes. SpringeristeinUnternehmenvonSpringerScience+BusinessMedia springer.de ©Springer-VerlagBerlinHeidelberg1995,2001und2005 PrintedinGermany DieWiedergabevonGebrauchsnamen,Handelsnamen,Warenbezeichnungenusw.indiesem WerkberechtigtauchohnebesondereKennzeichnungnichtzuderAnnahme,daßsolcheNamen im Sinne der Warenzeichen- und Markenschutz-Gesetzgebung als frei zu betrachten wären unddahervonjedermannbenutztwerdendürften.SollteindiesemWerkdirektoderindirekt aufGesetze,VorschriftenoderRichtlinien(z.B.DIN,VDI,VDE)Bezuggenommenoderaus ihnenzitiertwordensein,sokannderVerlagkeineGewährfürdieRichtigkeit,Vollständigkeit oderAktualitätübernehmen.Esempfiehltsich,gegebenenfallsfürdieeigenenArbeitendie vollständigenVorschriftenoderRichtlinieninderjeweilsgültigenFassunghinzuziehen. Umschlaggestaltung:design&production,Heidelberg Satz:DatenvondenAutoren Herstellung:LE-TEXJelonek,Schmidt&VöcklerGbR,Leipzig GedrucktaufsäurefreiemPapier SPIN:11373858 7/3142YL-543210 Vorwort zur 6. Auflage NachgutdreiJahrenüberwiegendiegutenErfahrungenimLehrbetriebmitder5. AuflagedesBuchesMesstechnik.Weildie5.AuflageaufgrundderhohenNachfra- gebereitswiedervergriffenist,habenwirunsentschlossendiese6.Auflageaufden Wegzubringen. In der Erstellung der 5. Auflage haben sich unglücklicherweise Fehler eingeschli- chen,dieDankderinteressiertenHörer-undLeserschaftentdecktwerdenkonnten undnunindieserAuflagekorrigiertwordensind. Die bis letzten Herbst verfügbaren Aufgaben zum Buch wurden aus didaktischen GründenausdemInternetherausgenommen.InderÜbungzurVorlesungwerden AufgabenzudenbehandeltenThemenvorgerechnet,umdieTheorieunddieprak- tischeBerechnungengezieltzuerlernenundzuvertiefen. Danken möchten wir den Hörern des Faches und Lesern des Buches Messtechnik fürdieHinweisezudenFehlernsowieHerrnJörgBarrhofürdienützlichenKom- mentareunddieÜberarbeitungdesManuskripts. Karlsruhe,imHerbst2004 UweKiencke,RalfEger Vorwort zur 5. Auflage Die vorliegende 5. Auflage des Buches Messtechnik ist aus der 4. Auflage durch vollständigeÜberarbeitunghervorgegangen.WährendfrüherunterschiedlicheMes- saufgabenfallweisebehandeltwurden,istinZukunfteinsystemorientiertesVorge- henerforderlich,dasaufmathematischenGrundlagenaufbaut.Essollennichtspe- zielleTechnologienoderphysikalischeEffekteuntersuchtwerden,sondernderWeg vondortzuMesssystemen,dieTeilvonAutomatisierungs-undInformationssyste- mensind. EinewesentlicheNeuerungdiesesBuchesergibtsichausderbesserenAnknüpfung an die Theorie stochastischer Prozesse. Hierzu wurde ein eigenes Kapitel einge- fügt, welches die theoretischen Grundlagen und die systematische Einteilung von Signalklassen zusammenfasst. Dies bildet die Basis für die Korrelationsmesstech- nik,dieumzahlreicheAnwendungenergänztwurde.FürdieSystemanalysewerden die theoretischen Zusammenhänge von stochastischen Prozessen in LTI-Systemen und der Begriff der Leistungsdichte eingeführt. Mit diesen Grundlagen kann das Wiener-FilteralseinweitergehendesVerfahrenvorgestelltwerden. DieSignalverarbeitunggehörtheutezudenGrundlagendesElektrotechnikstudiums. Der Übergang von der analogen in die digitale Welt wird hierbei meist idealisiert betrachtet.IndiesemBuchwirdeineumfassendesystemtheoretischeBeschreibung vonFehlernbeiderdigitalenMessdatenerfassungdurchQuantisierung,Jitteroder nichtidealeAD-Wandlervorgestellt. Der Erfassung von frequenzanalogen Signalen wurde wegen der wachsenden Be- deutungeineigenesKapitelgewidmet.NacheinertheoretischenDefinitiondesFre- quenzbegriffesausdem2.MomentderLeistungsdichtewerdendieFehlereinflüsse durchAbtastungundQuantisierungumfassendmitstochastischenGrundlagenbe- schrieben.MitHilfeeinesLeast-Squares-Schätzerswirdzusätzlicheindynamisches FehlerkompensationsverfahrenfürmechanischeSensorradfehlervorgestellt,dasin derAutomobiltechnikverwendetwird. DieÜbungsaufgabenzurVertiefungdesStoffeswurdenerweitertundandieneuen Inhalte angepasst. Auf eine Aufnahme in dieses Buch wurde dagegen verzichtet. Vielmehr können die Aufgaben mit ausführlicher Musterlösung im Internet unter http://www.iiit.uni-karlsruhe.debezogenwerden. Karlsruhe,imHerbst2001 UweKiencke,RalfEger Vorwort zur 4. Auflage DiesesBuchMesstechnikrichtetsichandieStudentenderElektrotechniknachdem Vordiplom. In dem vorgegebenen Zeitrahmen einer Kernfach-Vorlesung von nur zwei Stunden ist es nicht möglich, die gesamte Breite der Messtechnik zu behan- deln, weil diese sich auf die unterschiedlichsten Verfahren und Technologien ab- stützt.DeshalberfolgthiereineBeschränkungaufdiesystemtechnischenGrundla- gen der Messtechnik. Es werden die allen Messsystemen gemeinsamen Verfahren indenVordergrundgestellt,mitdenen • dasphysikalischeVerhaltendurcheinmathematischesModellbeschrieben • diestatischenunddynamischenEigenschaftenvonMesssystemenverbessert • stochastischeMessgrößengemessenundverarbeitet • MessdateninDigitalrechnernerfasst werden können. Die konkrete Anwendung dieser Verfahren auf Messsysteme spe- ziellerTechnologienwirdanBeispielenundinÜbungsaufgabenim6.Kapitelvor- geführt. Der Leser soll damit in die Lage versetzt werden, sich in spezielle Sen- sorkonfigurationen selbst einzuarbeiten. Voraussetzung dafür ist die Kenntnis der gebräuchlichen Integraltransformationen und der Grundlagen der Wahrscheinlich- keitsrechnung. Bei der Ausarbeitung dieses Buches fand ich das Buch meines verehrten Vorgän- gers, Herrn Prof. Heinz Kronmüller Methoden der Messtechnik, Schnäcker-Verlag Karlsruhe, 3. Auflage, 1988, vor, das die Messtechnik in der oben geschilderten, systematischenWeisehervorragendaufbereitet.IchhabeesdeshalbalsGrundlage herangezogen.BeidenAbleitungenvonFormelnsindallenotwendigenZwischen- schritteangegeben,damitderLesersichdenStoffauchimSelbststudiumaneignen kann. Das 4. Kapitel Messungen stochastischer Größen wurde um die statistische Qualitätskontrolle erweitert und das 5. Kapitel Digitale Messdatenerfassung neu aufgenommen. Dabei werden einfache Grundlagen der Signalverarbeitung einge- führt. Besonderer Dank gilt den Herren Dipl.-Ing. Armin Daiß und Dipl.-Ing. Martin Ostertag für Ihre Mithilfe bei der Ausarbeitung, Herrn Ulrich Lang für das Lay- out und die Zeichnungen, sowie Herrn Frank Kolb für die Ausformulierung der LösungenzudenÜbungsaufgaben. Karlsruhe,imMai1995 UweKiencke Inhaltsverzeichnis 1. MesssystemeundMessfehler.................................. 1 1.1 Messen ................................................... 1 1.1.1 Einheitensystem ..................................... 1 1.2 Messsysteme .............................................. 3 1.2.1 PhysikalischeMesskennlinie........................... 4 1.3 Fehler,ihreDefinitionundUrsachen .......................... 5 1.3.1 DefinitiondesFehlers ................................ 6 1.3.2 Fehlerursachen ...................................... 7 1.3.3 SpezifizierteNormalbedingungen....................... 8 2. Kurvenanpassung ........................................... 13 2.1 ApproximationmitorthonormalenFunktionensystemen .......... 14 2.2 Least-Squares-Schätzer...................................... 18 2.2.1 Regressionsrechnung ................................. 19 2.3 Kennlinieninterpolation ..................................... 21 2.3.1 InterpolationdurchLagrange-Polynome ................. 21 2.3.2 InterpolationdurchNewton-Polynome .................. 24 2.3.3 Spline-Interpolation .................................. 27 2.4 Kennfeld-Interpolation ...................................... 31 3. StationäresVerhaltenvonMesssystemen........................ 37 3.1 StationäreMesskennlinieundderenFehler ..................... 37 3.1.1 Abgleich,JustierungderMesskennlinie ................. 37 3.1.2 IdealeundrealeMesskennlinie......................... 38 3.1.3 KennlinienfehlerbeirealerKennlinie ................... 39 3.1.4 AbschätzungdesKennlinienfehlers ..................... 42 3.2 KennlinienfehlerunterNormalbedingungen .................... 45 3.2.1 HerabsetzendesMessbereichs ......................... 46 3.2.2 HintereinanderschaltenzweiernichtlinearerGlieder ....... 47 3.2.3 WahldesgünstigstenMessbereichs ..................... 51 3.2.4 Differenzmethode.................................... 57 3.2.5 Gegenkopplung...................................... 62 3.3 KennlinienfehlerbeiAbweichungenvondenNormalbedingungen.. 66 3.3.1 SuperponierendeStörgrößen........................... 66 X Inhaltsverzeichnis 3.3.2 Eliminierung superponierender Störgrößen mit der Diffe- renzmethode ........................................ 68 3.3.3 DeformierendeStörgrößen ............................ 69 3.3.4 DeformierendeStörgrößenbeiGegenkopplung ........... 72 3.3.5 SuperponierendeStörgrößenbeiGegenkopplung.......... 75 3.3.6 KompensationsystematischerStöreinflüsse .............. 75 3.3.7 AbschirmungvonStörgrößen .......................... 76 3.3.8 SuperponierendeStörgrößeninMessketten .............. 76 3.3.9 SynchronerZerhackerverstärker........................ 78 3.4 RückwirkungdesMesssystems ............................... 81 4. DynamischesVerhaltenvonMesssystemen ...................... 85 4.1 DynamischeFehlervonMesssystemen ........................ 85 4.1.1 EmpirischeKennwertederSprungantwort ............... 85 4.1.2 NichtlinearesZeitverhalten ............................ 86 4.1.3 BestimmungdesFrequenzganges....................... 86 4.2 SystembeschreibungvonMesssystemen ....................... 89 4.2.1 StabilitätskriteriumnachHurwitz....................... 92 4.3 Parameteroptimierung....................................... 94 4.3.1 KriteriumverschwindendeMomentederImpulsantwort.... 96 4.3.2 KriteriumkonstanterAmplitudengangfürkleineFrequenzen100 4.3.3 KriteriumkonstanterRealteildesFrequenzganges ........104 4.3.4 ITAE-Kriterium .....................................110 4.3.5 Kriterium„QuadratischesFehlerintegral“ ................115 4.4 StrukturänderungzurOptimierungdesZeitverhaltens ............121 4.4.1 KompensationdesZeitverhaltens.......................121 4.4.2 ZeitverhaltenbeiGegenkopplung.......................126 5. ZufälligeMessfehler ......................................... 135 5.1 GrundlagenderWahrscheinlichkeitstheorie.....................136 5.1.1 Wahrscheinlichkeitsdichte.............................136 5.1.2 WahrscheinlichkeitsdichtenabgebildeterGrößen..........139 5.1.3 Erwartungswerte1.Ordnung ..........................140 5.1.4 Erwartungswerte2.Ordnung ..........................141 5.1.5 Korrelationskoeffizient................................142 5.1.6 CharakteristischeFunktion ............................145 5.2 Stichproben ...............................................146 5.2.1 Häufigkeitsverteilung.................................146 5.2.2 Stichprobenmittelwert ................................147 5.2.3 Stichprobenvarianz...................................149 5.2.4 GesetzdergroßenZahlen .............................151 5.2.5 MittelwertbildungbeiStörungen .......................153 5.3 NormalverteilteZufallsvariable...............................155 5.3.1 Normalverteilung ....................................155 5.3.2 ZentralerGrenzwertsatz...............................156 Inhaltsverzeichnis XI 5.3.3 χ2-Verteilung .......................................157 5.3.4 Studentt-Verteilung ..................................161 5.4 StatistischeTestverfahren....................................162 5.4.1 StatistischeSicherheit,Konfidenzintervall ...............162 5.4.2 HypotheseundTestverfahren ..........................167 5.4.3 SignifikanztestfürdenStichprobenmittelwert ............168 5.4.4 χ2-Anpassungstest...................................170 5.4.5 BeurteilungvonFertigungsprozessen ...................173 5.4.6 BestimmungderAusfallrate ...........................176 5.4.7 StatistischeProzess-Überwachung......................180 5.5 Fehlerfortpflanzung.........................................184 5.5.1 GaußschesFehlerfortpflanzungsgesetz ..................184 5.5.2 NumerischeBerechnungvonMittelwertundVarianz ......186 6. Korrelationsmesstechnik ..................................... 189 6.1 StochastischeProzesse ......................................189 6.1.1 Wahrscheinlichkeitsdichte.............................190 6.1.2 Schar-undZeitmittelwerte,Momente1.Ordnung .........192 6.1.3 Momente2.Ordnung.................................194 6.1.4 StationäreProzesse...................................195 6.1.5 ErgodischeProzesse..................................196 6.2 Korrelationsfunktionen......................................199 6.2.1 Signalklassen .......................................199 6.2.2 KorrelationfürLeistungssignale........................202 6.2.3 KorrelationfürEnergiesignale .........................204 6.2.4 Eigenschaften .......................................206 6.3 AnwendungderKorrelation..................................207 6.3.1 MessungvonKorrelationsfunktionen....................207 6.3.2 ÄhnlichkeitvonSignalen,Laufzeitmessung ..............209 6.3.3 Closed-loopKorrelator,Polaritätskorrelation .............212 6.3.4 ÄhnlichkeitvonSpektren,Dopplermessung ..............216 6.3.5 Selbstähnlichkeit ....................................218 6.4 Leistungsdichtespektrum ....................................219 6.4.1 Rauschen...........................................222 6.4.2 VerknüpfungvonZufallssignalen.......................226 6.4.3 LeistungsdichtespektruminLTI-Systemen ...............227 6.4.4 Systemidentifikation..................................231 6.4.5 WienerFilter........................................235 7. ErfassungamplitudenanalogerSignale ......................... 243 7.1 Abtastung.................................................244 7.1.1 Aliasing ...........................................246 7.1.2 Anti-Aliasing-Filter ..................................247 7.1.3 MittelwertbildungbeiendlicherAbtastdauer .............249 7.1.4 ZeitlicheAbtastfehler ................................252 XII Inhaltsverzeichnis 7.2 Quantisierung..............................................256 7.2.1 WahrscheinlichkeitsdichtenvonSignalamplituden.........259 7.2.2 AmplitudendichteeinerFourier-Reihe...................261 7.2.3 Quantisierungstheorem ...............................262 7.2.4 WahrscheinlichkeitsdichtedesQuantisierungsfehlers ......267 7.2.5 Dither..............................................269 7.3 Analog-Digital-Umsetzer....................................274 7.3.1 IntegrierenderAD-Umsetzer...........................274 7.3.2 VerzögertnachlaufenderAD–Umsetzer..................276 7.3.3 Sigma-Delta-Wandler.................................277 7.3.4 AD-UmsetzermitsukzessiverApproximation ............284 7.3.5 RatiometrischeMessung ..............................286 7.3.6 NichtlineareKennliniedesAD–Umsetzers...............287 7.4 Digital-Analog-Umsetzer....................................288 7.4.1 ParalleleDA-Umsetzer ...............................289 7.4.2 SerielleDA-Umsetzer ................................291 8. ErfassungfrequenzanalogerSignale............................ 295 8.1 AllgemeinerFrequenzbegriff.................................296 8.2 DigitaleDrehzahlmessung ...................................301 8.2.1 Periodendauermessung ...............................302 8.2.2 Frequenzzählung ....................................304 8.2.3 MaximalerQuantisierungsfehlerfüreinenZählvorgang ....304 8.2.4 MittelwertbildungbeiderDrehzahlmessung..............306 8.2.5 AbtastungbeiderDrehzahlmessung ....................309 8.2.6 QuantisierungbeifortlaufendenPeriodendauermessungen..310 8.2.7 LeistungsdichtedesQuantisierungsfehlers ...............314 8.2.8 KompensationmechanischerFehlerdesSensorrades.......316 8.3 KontinuierlicheFrequenzmessung ............................321 8.3.1 Frequenzregelkreis...................................322 8.3.2 Phasenregelkreis.....................................323 8.4 Positions-undRichtungserkennung ...........................327 8.4.1 Drehrichtungserkennung ..............................327 8.4.2 PositionsbestimmungmitInkrementalgebern .............329 Symbole ....................................................... 334 Literaturverzeichnis ............................................. 334 Index.......................................................... 337