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Laser: Bauformen, Strahlführung, Anwendungen PDF

447 Pages·2002·10.25 MB·German
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Jürgen EichIer . Hans Joachim EichIer Laser Springer-Verlag Berlin Heidelberg GmbH J J ürgen EichIer . Hans oachim EichIer laser Bauformen, Strahlführung, Anwendungen Vierte, aktualisierte und neu bearbeitete Auflage Mit 269 Abbildungen, 63 Tabellen, 158 Aufgaben und vollständigen Lösungswegen Springer Prof. Dr. Jiirgen Eichler Technische Fachhochschule Berlin Forum SeestraBe SeestraBe 64 13347 Berlin, Deutschland Prof. Dr.-Ing. Hans Joachim Eichler Technische Universitat Berlin Optisches Institut StraBe des 17. Juni 1935 10623 Berlin, Deutschland Die Deutsche Bibliothek -CIP-Einheitsaufnahme Eichler, Ji irgen: Laser: Bauformen, Strahlfiihrung, Anwendungen; mit 63 Tabellen, 158 Aufgaben und vollstandigen LOsungswegen / Jiirgen Eichler; Hans Joachim Eichler. - 4., aktualisierte Aufl. (Laser in Technik und Forschung) ISBN 978-3-662-08246-1 ISBN 978-3-662-08245-4 (eBook) DOI 10.1007/978-3-662-08245-4 Dieses Werk ist urheberrechtlich geschiitzt. Die dadurch begriindeten Rechte, insbesondere die der 'Obersetzung, des Nachdrucks, des Vortrags, der Entnahme von Abbildungen und Tabellen, der Funk sendung, der Mikroverfilmung oder der VervielfaJtigung auf anderen Wegen und der Speicherung in Datenverarbeitungsanlagen, bleiben, auch bei nur auszugsweiser Verwertung, vorbehalten. Eine Ver vielfliltigung dieses Werkes oder von Teilen dieses Werkes ist auch im Einzelfall nur in den Grenzen der gesetzlichen Bestimmungen des Urheberrechtsgesetzes der Bundesrepublik Deutschland vom 9. September 1965 in der jeweils geltenden Fassung zulăssig. Sie ist grundsătzlich vergiitungspflichtig. Zuwiderhandlungen unterliegen den Strafbestimmungen des Urheberrechtsgesetzes. http://www.springer.de © Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1990, 1991, 1998, 2002 UrspriingIich erschienen bei Springer-Verlag Berlin Heideiberg New York 2002 Softcover reprint of the hardcover 4th edition 2002 Die Wiedergabe von Gebrauchsnamen, Handelsnamen, Warenbezeichnungen usw. in diesem Werk berechtigt auch ohne besondere Kennzeichnung nicht zu der Annahme, daB solche Namen im Sin ne der Warenzeichen-und Markenschutz-Gesetzgebung als frei zu betrachten wăren und daher von jed ermann benutzt werden diirften. Satzarbeiten: Steingraeber Satztechnik GmbH, Heidelberg Einbandgestaltung: MEDIO GmbH, Berlin Gedruckt auf săurefreiem Papier SPIN: 10795869 2164/3141/tr -543210 Vorwort zur vierten Auflage Der erste Laser wurde im Jahre 1960 gebaut. In den folgenden Jahrzehnten entstanden viele verschiedene Lasertypen, die zunehmend Einsatz für ver schiedene Anwendungen fanden. Besonders große Bedeutung besitzen Laser für wissenschaftliche und technische Messungen, Informationstechnologien, Materialbearbeitung und Medizin. Dieses Buch soll einen Überblick über die dafür verwendeten Laser und ihre verschiedenen Einsatzmöglichkeiten geben. In den ersten Kapiteln werden Grundlagen der Laseroptik dargestellt. Da nach werden die speziellen Lasertypen und -materialien beschrieben. Dabei wird zunächst auf die Gaslaser eingegangen, die nach zunehmender Emis sionsfrequenz gruppiert sind. Die Infrarot-Moleküllaser haben die kleinsten Emissionsfrequenzen. Laser in neutralen Atomen werden vorwiegend im sicht baren Spektralbereich mit vergleichsweise höheren Frequenzen betrieben. Dort arbeiten auch die Ionenlaser, die aber ebenfalls wie UV-Moleküllaser mit elektronischen Übergängen für die ultravioletten Spektralb ereiche geeig net sind. Gaslaser existieren in sehr verschiedenen Ausführungsformen, und sind deshalb relativ ausführlich in 4 Kapiteln dargestellt. Weitere wichtige Lasertypen, die Festkörper-, Farbstoff-, Halbleiter-, Elektronenstrahl- und Röntgenlaser, werden jeweils in einem Kapitel beschrieben. Die Reihenfolge entspricht etwa der historischen Entwicklung. Bei der Darstellung der ver schiedenen Laser wird auch kurz auf typische Anwendungen eingegangen. In den folgenden Kapiteln werden optische Laserkomponenten, wie Spie gel, Polarisatoren und Modulatoren beschrieben, mit denen Laser in verschie denen Betriebsarten aufgebaut werden können. Von besonderem Interesse ist dabei der Pulsbetrieb, der Aufbau von frequenzstabilen, schmalbandigen Lasern sowie von abstimmbaren Lasern. In diesem Zusammenhang wird auch die externe Frequenzumsetzung durch nichtlineare optische Effekte kurz dar gestellt. Außerdem werden Geräte zur Charakterisierung der Laserstrahlung, wie Photodetektoren, Energiemeßgeräte, Spektralapparate und Anordnungen zur Kohärenzmessung beschrieben. Die Ausbreitung von Laserlicht erfolgt in Form von sogenannten Gauß strahlen, die manche Kollegen lieber als Gaußbündel bezeichnen. Diese wer den hier aus Kugelwellen mit komplexem Quellpunkt entwickelt, wodurch die Benutzung von Differential- oder Integralgleichungen in diesem Zusam menhang vermieden wird. Auch in den übrigen Teilen des Buches reicht das VI Vorvvort Abiturvvissen Mathematik zum Verständnis aus. Das Buch kann daher nicht nur von Universitäts- und Fachhochschulstudenten, sondern auch von In genieuren und Lehrern sovvie Schülern vervvendet vverden. Für diese Leser vvird abschließend ein Überblick der verschiedenen Anwendungsgebiete und der Zukunftsperspektiven der Laserentwicklung gegeben. Eine umfangreiche, aber bei weitem nicht vollständige Liste weist auf weiterführende Bücher und Zeitschriften hin. Dabei fällt auf, daß es bisher nur wenige moderne Mono graphien über Laser in deutscher Sprache gibt. Dies war ein weiterer Grund, dieses Buch auszuarbeiten. Das vorliegende Buch ist aus Manuskripten von Vorlesungen entstanden, welche die Autoren an der Technischen Universität und der Technischen Fach hochschule Berlin gehalten haben. Dabei gehen wir in Vorlesungen an vielen Stellen wesentlich tiefer auf theoretische Ableitungen ein, während sich dieses Übersichtsbuch auf die Darstellung von Ergebnissen konzentriert. Die erst mals beigefügten elementaren Aufgaben sollen helfen, das Verständnis durch eigenes Nachdenken zu erhöhen. Das Material für das Buch wurde aus Diplom- und Doktorarbeiten sowie Zeitschriften und Büchern übernommen, die in der Literaturliste angegeben sind. Wir danken besonders Herrn Prof. K. J. Sigrist von der ETH-Zürich für die Genehmigung, Bildvorlagen zu verwenden. Weitere Bilder wurden uns von Kollegen und Firmen überlassen, die in den jeweiligen Bildunterschriften zitiert sind. Außerdem haben uns Herr Dr. P. Peuser, Firma Daimler-Benz, Ottobrunn, Prof. F. Krausz von der TU Wien, Prof. W. Sandner, Dr. P. Nickles vom Max-Born-Institut Berlin, Prof. H. J. Weber und Dr. Diez, Herr Dipl. Ing. Ringelhahn und unsere Mitarbeiter Frau C. Scharfenorth, Dr. R. Elschner, Dr. J. Findeisen, Dr. A. Wappelt sehr geholfen. Berlin, Juni 2001 H.-J. Eichler, J. Eichler Inhaltsverzeichnis 1 Licht, Atome, Moleküle, Festkörper ...................... 1 1.1 Eigenschaften von Licht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1 1.2 Atome: Elektronenbahnen, Energieniveaus ................ 7 1.3 Atome mit mehreren Elektronen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 1.4 Moleküle.............................................. 12 1.5 Energieniveaus in Festkörpern. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 16 1.6 Energiebänder in Halbleitern. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 19 Aufgaben. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 24 2 Absorption und Emission von Licht. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 25 2.1 Absorption............................................ 25 2.2 Spontane Emission. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 28 2.3 Lichtverstärkung durch induzierte Emission. . . . . . . . . . . . . . .. 28 2.4 Linienbreite............................................ 31 2.5 Inversionserzeugung und -abbau. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 35 2.6 Aufbau von Lasern ..................................... 38 2.7 Zeitliches Emissionsverhalten ............................ 41 Aufgaben .............................................. 47 3 Lasertypen ............................................... 49 3.1 Wellenlängen und Ausgangsleistungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 51 3.2 Abstimmbare Laser. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 54 3.3 Frequenzstabile Laser. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 56 3.4 Hochleistungslaser . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 57 3.5 Ultrakurze Lichtimpulse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 58 3.6 Laserparameter ........................................ 59 Aufgaben. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 61 4 Infrarot-Moleküllaser. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 63 4.1 Ferninfrarot-Laser . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 63 4.2 CO -Laser............................................. 66 2 4.3 Ca-Laser.............................................. 80 4.4 HF-Laser.............................................. 82 Aufgaben ............................................. ' 87 VIII Inhaltsverzeichnis 5 Laserübergänge in neutralen Atomen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 89 5.1 He-Ne-Laser........................................... 89 5.2 Metalldampf-Laser (Cu, Au) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 95 5.3 Jodlaser . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 99 Aufgaben .............................................. 101 6 Ionenlaser ................................................ 103 6.1 Laser für kurze Wellenlängen ............................ 103 6.2 Edelgasionenlaser ....................................... 105 6.3 Metalldampfionenlaser (Cd, Se, Cu) ....................... 110 Aufgaben .............................................. 114 7 UV-Moleküllaser ......................................... 115 7.1 Stickstofflaser .......................................... 116 7.2 Excimerlaser ........................................... 118 Aufgaben .............................................. 125 8 Festkörperlaser . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 127 8.1 Rubinlaser ............................................. 128 8.2 Neodym-YAG-Laser und Alternativen ..................... 132 8.3 Glaslaser .............................................. 140 8.4 Erbium- und Holmiumlaser .............................. 142 8.5 Abstimmbare Festkörperlaser ............................ 145 8.6 Farbzentrenlaser ........................................ 151 8.7 Diodengepumpte und Faserlaser .......................... 154 Aufgaben .............................................. 157 9 FarbstoIDaser ............................................. 159 9.1 Eigenschaften von Farbstoffen ............................ 159 9.2 Anregung durch Blitzlampen ............................. 161 9.3 Anregung durch Laser .................................. 162 Aufgaben .............................................. 167 10 Halbleiterlaser ............................................ 169 10.1 Lichtverstärkung in p-n-Dioden .......................... 170 10.2 GaAIAs- und InGaAsP-Laser ............................ 172 10.3 Frequenzabstimmung von Diodenlasern .................... 183 10.4 Oberflächenemittierende Diodenlaser, VCSEL .............. 186 10.5 Halbleiterlaser für das tiefere Infrarot ..................... 189 10.6 ZnSe- und GaN-Laser ................................... 191 Aufgaben .............................................. 193 Inhaltsverzeichnis IX 11 FELs, kohärente Röntgen- und Atomstrahlen ..... , ....... 195 11.1 Elektronenstrahllaser (FEL) ............................. 196 11.2 Röntgenlaser ........................................... 200 11.3 Kohärente Atomstrahlen ................................ 205 Aufgaben .............................................. 207 12 Ausbreitung von Lichtwellen .. ............................ 209 12.1 Ebene und Kugelwellen, Beugung ......................... 209 12.2 Gauß-Strahlen ......................................... 212 12.3 Durchgang von Gauß-Strahlen durch Linsen ............... 217 12.4 Fernrohre und Ortsfrequenzfilter ......................... 220 12.5 Ausbreitung realer Laserstrahlen ......................... 223 12.6 Optische Fasern ........................................ 225 12.7 Optische Materialien .................................... 231 Aufgaben .............................................. 233 13 Optische Resonatoren .................................... 237 13.1 Planspiegelresonator .................................... 237 13.2 Hohlspiegelresonator .................................... 240 13.3 Resonatortypen ........................................ 244 13.4 Instabile Resonatoren ................................... 248 13.5 Laser mit Grundmode ................................... 249 Aufgaben .............................................. 251 14 Spiegel ................................................... 253 14.1 Reflexion und Brechung ................................. 254 14.2 Metallspiegel ........................................... 258 14.3 Dielektrische Vielschichtenspiegel ......................... 258 14.4 Strahlteiler ............................................ 264 14.5 Phasenkonjugatoren .................................... 265 Aufgaben .............................................. 270 15 Polarisation ............................................... 271 15.1 Arten der Polarisation .................................. 271 15.2 Doppelbrechung ........................................ 273 15.3 Polarisatoren .......................................... 275 Aufgaben .............................................. 278 16 Modulation und Ablenkung ............................... 279 16.1 Mechanische Modulatoren und Scanner .................... 279 16.2 Akustooptische Modulatoren ............................. 280 16.3 Elektrooptische Modulatoren ............................. 283 16.4 Optische Isolatoren ..................................... 286 16.5 Sättigbare Absorber .................................... 288 Aufgaben .............................................. 289 X Inhaltsverzeichnis 17 Puls betrieb ............................................... 291 17.1 Relaxationsschwingungen ................................ 292 17.2 Güteschaltung ......................................... 294 17.3 Puls-Auskopplung (cavity-dumping) ...................... 298 17.4 Modenkopplung ........................................ 299 17.5 Verstärkung und Kompression ........................... 305 Aufgaben .............................................. 307 18 Frequenzselektion und -abstimmung ...................... 309 18.1 Frequenzabstimmung ................................... 309 18.2 Longitudinale Modenselektion ............................ 310 18.3 Prisma ................................................ 313 18.4 Gitter ................................................. 314 18.5 Fabry-Perot-Etalon ..................................... 316 18.6 Doppelbrechende Filter ................................. 317 Aufgaben .............................................. 319 19 Frequenzumsetzung ....................................... 321 19.1 Doppler-Effekt ......................................... 321 19.2 Nichtlineare optische Effekte ............................. 322 19.3 Frequenzverdopplung und -vervielfachung .................. 323 19.4 Parametrische Oszillatoren .............................. 327 19.5 Stimulierte Ramanstreuung .............................. 329 19.6 Kontinuumserzeugung ................................... 331 19.7 Erzeugung hoher Harmonischer in Gasen .................. 332 Aufgaben .............................................. 335 20 Stabilität und Kohärenz .................................. 337 20.1 Leistungsstabilität ...................................... 337 20.2 Frequenzstabilität ...................................... 339 20.3 Schrotrauschen, Squeezed States .......................... 342 20.4 Kohärenz .............................................. 344 Aufgaben .............................................. 347 21 Photodetektoren und Energiemeßgeräte .................. 349 21.1 Meßtechnische Grundbegriffe ............................. 349 21.2 Thermische Detektoren .................................. 350 21.3 Vakuumphotodetektoren ................................ 352 21.4 Halbleiterdetektoren .................................... 356 Aufgaben .............................................. 360 22 Spektralapparate und Interferometer ..................... 361 22.1 Prismenspektrometer ................................... 361 22.2 Gitterspektrometer ..................................... 363 22.3 Zweistrahlinterferometer ................................. 364

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