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Laser: Bauformen, Strahlführung, Anwendungen PDF

434 Pages·1998·10.43 MB·German
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Laser in Technik und Forschung Herausgegeben von G. Herziger und H. Weber Springer-Verlag Berlin Heidelberg GmbH Jürgen Eichier Hans Joachim Eichier Laser Bauformen Strahlführung Anwendungen Dritte, völlig neubearbeitete und erweiterte Auflage Mit 258 Abbildungen, 55 Tabellen, 149 Aufgaben und vollständigen Lösungswegen Springer Prof. Dr. Jürgen Eichler Prof. Dr-Ing. Hans Joachim Eichler Technische Fachhochschule Berlin Technische Universität Berlin Forum Seestraße Optisches Institut Seestraße 64 Straße des 17. Juni 1935 13347 Berlin 10623 Berlin Herausgeber der Reihe Laser in Technik und Forschung: Prof. Dr.-Ing. Gerd Herziger Fraunhofer Institut für Lasertechnik Aachen 52074 Aachen Prof. Dr.-Ing. Horst Weber Festkörper-Laser-Institut Berlin GmbH 10785 Berlin ISBN 978-3-662-08248-5 ISBN 978-3-662-08247-8 (eBook) DOI 10.1007/978-3-662-08247-8 Die Deutsche Bibliothek - CIP-Einheitsaufnahme Eichler, Jürgen: Laser: Bauformen, Strahlführung, Anwendungen I Jürgen Eichler; Hans Joachim Eichler.- 3., völlig neubearb. und erw. Aufl. -BerIin ; Heidelberg ; New York ; Barcelona; Budapest ; Hong Kong ; London ; Mailand ; Paris; Santa Clara ; Singapur ; Tokyo : Springer, 1998 (Laser in Technik und Forschung) Dieses Werk ist urheberrechtlich geschützt. Die dadurch begründeten Rechte, insbesondere die der Übersetzung, des Nachdrucks, des Vortrags, der Entnahme von Abbildungen und Tabellen, der Funksendung, der MikroverfiI· mung oder der Vervielfältigung auf anderen Wegen und der Speicherung in Datenverarbeitungsanlagen, bleiben, auch bei nur auszugsweiser Verwertung, vorbehalten. Eine Vervielfaltigung dieses Werkes oder von Teilen dieses Werkes ist auch im Einzelfall nur in den Grenzen der gesetzlichen Bestimmungen des Urheberrechts gesetzes der Bundesrepublik Deutschland vom 9. September 1965 in der jeweils geltenden Fassung zulässig. Sie ist grundsätzlich vergütungspflichtig. Zuwiderhandlungen unterliegen den Stratbestimmungen des Urheberrechtsgesetzes. © Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1990, 1991, 1998 Ursprünglich erschienen bei Springer-Verlag Berlin Heidelberg New York 1998. Softcover reprint ofthe hardcover 3rd edition 1998 Die Wiedergabe von Gebrauchsnamen, Handelsnamen, Warenbezeichnungen usw. in diesem Werk berechtigt auch ohne besondere Kennzeichnung nicht zu der Annahme, daß solche Namen im Sinne der Warenzeichen-und Mar kenschutz-Gesetzgebung als frei zu betrachten wären und daher von jedermann benutzt werden dürften. Sollte in diesem Werk direkt oder indirekt auf Gesetze, Vorschriften oder Richtlinien (z.B. DIN, VDI, VDE) Bezug genommen oder aus ihnen zitiert worden sein, so kann der Verlag keine Gewähr für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Aktualität übernehmen. Es empfiehlt sich, gegebenenfalls für die eigenen Arbeiten die vollständigen Vor schriften oder Richtlinien in der jeweils gültigen Fassung hinzuzuziehen. Einbandgestaltung: Struve & Partner, Heidelberg Datenkonvertierung: M. W. Leidig, Kulmbach SPIN: 10567606 56/3144 -5 4 3 2 1 0 -Gedruckt auf säurefreiem Papier Vorwort zur dritten Auflage Der erste Laser wurde im Jahre 1960 gebaut. In den folgenden Jahrzehnten entstanden viele verschiedene Lasertypen, die zunehmend Einsatz für ver schiedene Anwendungen fanden. Besonders große Bedeutung besitzen Laser für wissenschaftliche und technische Messungen, Informationstechnologien, Materialbearbeitung und Medizin. Dieses Buch soll einen Überblick über die dafür verwendeten Laser und ihre verschiedenen Einsatzmöglichkeiten geben. In den ersten Kapiteln werden Grundlagen der Laseroptik gegeben. Da nach werden die speziellen Lasertypen und -materialien beschrieben. Dabei wird zunächst auf die Gaslaser eingegangen, die nach zunehmender Emis sionsfrequenz gruppiert sind. Die Infrarot-Moleküllaser haben die kleinsten Emissionsfrequenzen. Laser in neutralen Atomen werden vorwiegend im sicht baren Spektralbereich mit vergleichsweise höheren Frequenzen betrieben. Dort arbeiten auch die Ionenlaser, die aber ebenfalls wie UV-Moleküllaser mit elektronischen Übergängen für die ultravioletten Spektral bereiche geeig net sind. Gaslaser existieren in sehr verschiedenen Ausführungsformen, und sind deshalb relativ ausführlich in 4 Kapiteln dargestellt. Weitere wichtige Lasertypen, die Festkörper-, Farbstoff-, Halbleiter-, Elektronenstrahl- und Röntgenlaser , werden jeweils in einem Kapitel beschrieben. Die Reihenfolge entspricht etwa der historischen Entwicklung. Bei der Darstellung der ver schiedenen Laser wird auch kurz auf typische Anwendungen eingegangen. In den folgenden Kapiteln werden optische Laserkomponenten, wie Spie gel, Polarisatoren und Modulatoren beschrieben, mit denen Laser in verschie denen Betriebsarten aufgebaut werden können. Von besonderem Interesse ist dabei der Pulsbetrieb, der Aufbau von frequenzstabilen, schmalbandigen Lasern sowie von abstimmbaren Lasern. In diesem Zusammenhang wird auch die externe Frequenzumsetzung durch nichtlineare optische Effekte kurz dar gestellt. Außerdem werden Geräte zur Charakterisierung der Laserstrahlung, wie Photodetektoren, Energiemeßgeräte, Spektralapparate und Anordnungen zur Kohärenzmessung beschrieben. Die Ausbreitung von Laserlicht erfolgt in Form von sogenannten Gauß strahlen, die manche Kollegen lieber als Gaußbündel bezeichnen. Diese wer den hier als Kugelwellen mit komplexem Quellpunkt dargestellt, wodurch die Benutzung von Differential- oder Integralgleichungen in diesem Zusam menhang vermieden wird. Auch in den übrigen Teilen des Buches reicht das \TI \Tor~ort Abitur~issen Mathematik zum Verständnis aus. Das Buch kann daher nicht nur von Universitäts- und Fachhochschulstudenten, sondern auch von In genieuren und Lehrern sowie Schülern verwendet werden. Für diese Leser wird abschließend ein Überblick der verschiedenen Anwendungsgebiete und der Zukunftsperspektiven der Laserentwicklung gegeben. Eine umfangreiche, aber bei weitem nicht vollständige Liste weist auf weiterführende Bücher und Zeitschriften hin. Dabei fällt auf, daß es bisher nur wenige moderne Mono graphien über Laser in deutscher Sprache gibt. Dies war ein weiterer Grund, dieses Buch auszuarbeiten. Das vorliegende Buch ist aus Manuskripten von Vorlesungen entstanden, welche die Autoren an der Technischen Universität und der Technischen Fach hochschule Berlin gehalten haben. Dabei gehen wir in Vorlesungen an vielen Stellen wesentlich tiefer auf theoretische Ableitungen ein, während sich dieses Übersichtsbuch auf die Darstellung von Ergebnissen konzentriert. Die erst mals beigefügten elementaren Aufgaben sollen helfen, das Verständnis durch eigenes Nachdenken zu erhöhen. Das Material für das Buch wurde aus Diplom- und Doktorarbeiten sowie Zeitschriften und Büchern übernommen, die in der Literaturliste angegeben sind. Wir danken besonders Herrn Prof. Dr. Kneubühl und Prof. Dr. K. J. Sigrist von der ETH-Zürich für die Genehmigung, Bildvorlagen zu verwenden. Weitere Bilder wurden uns von Kollegen und Firmen überlassen, die in den jeweiligen Bildunterschriften zitiert sind. Weiterhin haben uns Herr Dr. P. Peuser, Firma Daimler-Benz, Ottobrunn, Prof. W. Sandner, Dr. P. Nickles vom Max-Born-Institut Berlin, Prof. H. J. Weber und Dip!. Phys. S. Diez vom Heinrich-Hertz-Institut, Berlin, Herr Dipl.Ing. Ringelhahn, Dr. J. Roßbach, DESY, Hamburg, unsere Mitarbeiter Frau C. Scharfenorth, Dip!. Phys. R. Elschner, Dip!. Phys. J. Findeisen, Dip!. Phys. A. Wappelt sowie Dr. H. J. Kölsch und Frau P. Treiber vom Springer-Verlag sehr geholfen. Berlin, Januar 1998 H.-J. Eichler, J. Eichler Inhaltsverzeichnis 1. Licht, Atome, Moleküle, Festkörper. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1 1.1 Eigenschaften von Licht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1 1.2 Atome: Elektronenbahnen, Energieniveaus . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 1.3 Atome mit mehreren Elektronen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 1.4 Moleküle.............................................. 11 1.5 Energieniveaus in Festkörpern. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 16 1.6 Energiebänder in Halbleitern. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 19 Aufgaben. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 22 2. Absorption und Emission von Licht. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 23 2.1 Absorption............................................ 23 2.2 Spontane Emission. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 25 2.3 Lichtverstärkung durch induzierte Emission. . . . . . . . . . . . . . .. 27 2.4 Linienbreite............................................ 29 2.5 Inversionserzeugung und -abbau. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 33 2.6 Aufbau von Lasern .............. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 35 2.7 Zeitliches Emissionsverhalten ............................ 38 Aufgaben ................. " . . . . .. . . . . .. . . .. .. . . .. . . . .. 44 3. Lasertypen ............................................... 47 3.1 Wellenlängen und Ausgangsleistungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 49 3.2 Abstimmbare Laser. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 52 3.3 Frequenzstabile Laser . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 54 3.4 Hochleistungslaser . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 55 3.5 Ultrakurze Lichtimpulse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 56 3.6 Laserparameter ........................................ 57 Aufgaben ............................................. , 59 4. Infrarot-Moleküllaser..................................... 61 4.1 Ferninfrarot-Laser...................................... 61 4.2 CO -Laser............................................. 64 2 4.3 CO-Laser.............................................. 78 4.4 HF-Laser.............................................. 80 Aufgaben. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 85 VIII Inhaltsverzeichnis 5. Laserübergänge in neutralen Atomen................ ..... 87 5.1 He-Ne-Laser........................................... 87 5.2 Metalldampf-Laser (Cu, Au) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 93 5.3 Jodlaser . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 97 Aufgaben. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 99 6. Ionenlaser ................................................ 101 6.1 Laser für kurze Wellenlängen ............................ 101 6.2 Edelgasionenlaser . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 103 6.3 Metalldampfionenlaser (Cd, Se, Cu) ....................... 108 Aufgaben .............................................. 111 7. UV-Moleküllaser ......................................... 113 7.1 Stickstomaser . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 114 7.2 Excimerlaser ........................................... 116 Aufgaben .............................................. 122 8. Festkörperlaser ........................................... 123 8.1 Rubinlaser ............................................. 124 8.2 Neodym-YAG-Laser, GSSG, YLF, YALO .................. 128 8.3 Glaslaser .............................................. 136 8.4 Erbium- und Holmiumlaser . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 138 8.5 Abstimmbare Festkörperlaser ............................ 141 8.6 Farbzentrenlaser ........................................ 145 8.7 Diodengepumpte und Faserlaser .......................... 149 Aufgaben. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 152 9. Farbstotnaser ............................................. 155 9.1 Eigenschaften von Farbstoffen ............................ 155 9.2 Anregung durch Blitzlampen ............................. 157 9.3 Anregung durch Laser .................................. 158 Aufgaben .............................................. 163 10. Halbleiterlaser ............................................ 165 10.1 Lichtverstärkung in p-n-Dioden .......................... 166 10.2 GaAlAs- und InGaAsP-Laser ............................ 168 10.3 Frequenzabstimmung von Diodenlasern .................... 178 10.4 Oberflächenemittierende Diodenlaser, VCSEL .............. 183 10.5 Bleisalzlaser ........................................... 186 10.6 Grüne und blaue ZnSe- und GaN-Laser ................... 186 Aufgaben .............................................. 189 Inhaltsverzeichnis IX 11. FELs, kohärente Röntgen- und Atomstrahlen .. ........... 191 11.1 Elektronenstrahllaser (FEL) ............................. 192 11.2 Röntgenlaser ........................................... 196 11.3 Kohärente Atomstrahlen ................................ 200 Aufgaben .............................................. 201 12. Ausbreitung von Lichtwellen .............................. 203 12.1 Ebene und Kugelwellen, Beugung ......................... 203 12.2 Gauß-Strahlen ......................................... 205 12.3 Durchgang von Gauß-Strahlen durch Linsen ............... 211 12.4 Fernrohre und Ortsfrequenzfilter ......................... 213 12.5 Ausbreitung realer Laserstrahlen ......................... 216 12.6 Optische Fasern ........................................ 218 12.7 Optische Materialien .................................... 224 Aufgaben .............................................. 227 13. Optische Resonatoren .................................... 229 13.1 Planspiegelresonator .................................... 229 13.2 Hohlspiegelresonator .................................... 232 13.3 Resonatortypen ........................................ 236 13.4 Instabile Resonatoren ................................... 240 13.5 Laser mit Grundmode ................................... 241 Aufgaben .............................................. 243 14. Spiegel ................................................... 245 14.1 Reflexion und Brechung ................................. 246 14.2 Metallspiegel ........................................... 250 14.3 Dielektrische Vielschichtenspiegel ......................... 250 14.4 Strahlteiler ............................................ 256 14.5 Phasenkonjugatoren .................................... 257 Aufgaben .............................................. 262 15. Polarisation ............................................... 263 15.1 Arten der Polarisation .................................. 263 15.2 Doppelbrechung ........................................ 265 15.3 Polarisatoren .......................................... 267 Aufgaben .............................................. 270 16. Modulation und Ablenkung ............................... 271 16.1 Mechanische Modulatoren und Scanner .................... 271 16.2 Akustooptische Modulatoren ............................. 272 16.3 Elektrooptische Modulatoren ............................. 275 16.4 Optische Isolatoren ..................................... 278 16.5 Sättigbare Absorber .................................... 280 Aufgaben .............................................. 280

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