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Integrationstechniken für Feldeffekttransistoren mit halbleitenden Nanopartikeln: Einzel- und Multipartikel-Bauelemente PDF

253 Pages·2011·5.629 MB·German
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Karsten Wolff untersucht Integrationstechniken f?r die Verwendung von Halbleiternanopartikeln in Feldeffekttransistoren am Beispiel von Silizium- und Zinkoxid-Partikeln. Er betrachtet sowohl klassische D?nnfilmtransistoren, nanoskalige Einzelpartikeltransistoren als auch Inverterschaltungen. Im Fokus steht dabei das elektrische Verhalten der Bauelemente in Abh?ngigkeit von der Prozessf?hrung und der Transistorarchitektur.
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