Integration magnetooptisch aktiver Granate auf Nicht-Granat-Substraten Dissertation zur Erlangung des Doktorgrades der Mathematisch-Naturwissenschaftlichen Fakult¨at der Universit¨at Augsburg vorgelegt von Timo H. K¨orner Augsburg, Juni 2008 Erstgutachter: Prof. Dr. Bernd Stritzker Zweitgutachter: Prof. Dr. Armin Reller Tag der Einreichung: 11.06.2008 Tag der mu¨ndlichen Pru¨fung: 28.07.2008 I Inhaltsverzeichnis 1 Einleitung und U¨berblick 1 2 Einfu¨hrung in die Magnetooptik 5 2.1 Der Faraday-Effekt . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 2.1.1 Anwendungsbeispiele . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 2.2 Magnetooptisch aktive Granate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 2.2.1 Allgemeine Eigenschaften . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 2.2.2 Strukturelle Eigenschaften der Granate . . . . . . . . . . . . . . . 9 2.3 Substitution von Yttrium in Y Fe O . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10 3 5 12 3 Analytische Verfahren 13 3.1 Rutherford-Ru¨ckstreuspektrometrie (RBS) . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13 3.2 R¨ontgendiffraktometrie (XRD) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16 3.3 Rasterelektronenmikroskopie (REM, ESEM und TEM) . . . . . . . . . . . 23 3.3.1 Rasterelektronenmikroskopie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23 3.3.2 ESEM . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26 3.3.3 Transmissionselektronenmikroskopie - TEM . . . . . . . . . . . . . 26 3.4 Rasterkraftmikroskopie (Atomic Force Microscopy, AFM) . . . . . . . . . 29 3.5 Profilometrie mittels DEKTAK . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29 3.6 Photolumineszenzmessungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30 3.7 Der Faraday-Messplatz . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31 3.8 Elektronenspektroskopie fu¨r chemische Analysen (ESCA) . . . . . . . . . 33 4 Schichtdeposition 37 4.1 Die gepulste Laserablation (PLD) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37 4.1.1 Wechselwirkungen zwischen Laserstrahl und Target. . . . . . . . . 38 4.1.2 Das Plasma bei der PLD . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39 4.1.3 Wachstumsmodelle du¨nner Schichten . . . . . . . . . . . . . . . . . 39 4.2 Reinigung der Substrate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40 4.3 Die Ablationsanlage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40 4.4 Syntheseverfahren zur Targetherstellung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43 4.4.1 Konventionelle Festk¨orpersynthese . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43 4.4.2 Targetsynthese mittels Sol-Gel-Verfahren . . . . . . . . . . . . . . 44 5 Integration eines Puffersystems auf Nichtgranatsubstrate 49 5.1 Stand der Forschung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49 5.1.1 Parameter fu¨r die Deposition von Bi Fe O . . . . . . . . . . . . 50 3 5 12 5.1.2 Integration von Bi Fe O auf SiO . . . . . . . . . . . . . . . . . 51 3 5 12 2 5.2 Deposition und Charakterisierung von Granat-Puffersystemen . . . . . . . 52 5.2.1 Gd Ga O - GGG . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52 3 5 12 5.2.2 Y Al O - YAG . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54 3 5 12 II Inhaltsverzeichnis 5.2.3 Y Fe O - YIG . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57 3 5 12 5.2.4 Deposition von BIG auf das YIG-Puffersystem . . . . . . . . . . . 63 6 Seltenerd-Dotierte Eisengranate 71 6.1 Bi Y Fe O . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71 x 3−x 5 12 6.2 Nd Bi Fe O . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74 x 3−x 5 12 6.3 Pr Bi Fe O . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76 x 3−x 5 12 6.4 La Bi Fe O . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81 x 3−x 5 12 6.5 Ce Fe O und Ce Bi Fe O . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 84 3 5 12 x 3−x 5 12 6.6 Erbiumdotierte Granate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88 6.6.1 Strukturierung der Er-dotierten Granatschichten . . . . . . . . . . 94 6.6.2 Photolumineszenz der Er-dotierten Schichten . . . . . . . . . . . . 95 7 Simulation der Faraday-Drehung du¨nner YIG-Pufferschichten 99 7.1 Polarisiertes Licht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99 7.2 Ph¨anomenologische Beschreibung des Faraday-Effekts . . . . . . . . . . . 102 7.3 Transfermatrixformalismen nach Yeh . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 104 7.3.1 Der 4×4-Matrix-Formalismus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 104 7.3.2 Anwendung der 4×4-Matrix-Methode auf den Faraday-Effekt . . . 105 7.3.3 Anwendung der 4×4-Matrix-Methode auf Doppelbrechung . . . . 106 7.3.4 Der 2×2-Matrix-Formalismus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107 7.4 Real- und Imagin¨arteil des Brechungsindex . . . . . . . . . . . . . . . . . 108 7.5 Untersuchung und Simulation von YIG-Puffersystemen . . . . . . . . . . . 113 7.6 L¨osungsans¨atze zur Erkl¨arung der oszillatorischen Effekte . . . . . . . . . 115 7.7 Interferenzerscheinungen und Schichtsystem-Modell . . . . . . . . . . . . . 118 7.8 Simulation der FR-Spektren der untersuchten Proben . . . . . . . . . . . 123 8 Kurze Zusammenfassung weiterer durchgefu¨hrter Studien 127 8.1 Gradienten-Target . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 127 8.2 Alternative Kristallisierungsmethoden des YIG-Puffers . . . . . . . . . . . 128 8.2.1 Granat-Keimkristall . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 129 8.2.2 Laserannealing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 129 8.3 Einfluss von Oberfl¨achenwellen auf den Faraday-Effekt . . . . . . . . . . . 129 8.4 Sensorik . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 130 9 Zusammenfassung und Ausblick 133 1 ¨ 1 Einleitung und Uberblick A¨hnlich wie in der Mikroelektronik wird bei integrierten Optiken versucht, unterschiedli- che makroskopische optische Bauelemente in Form von Schaltkreisen auf einem einzigen Chipzuimplementieren.EinederartigeIntegrationwurdeindenletztenJahrenfu¨rviele passive Bauteile (z.B. Y-Verzweiger, Bragg-Gitter oder optische Schalter) erreicht. Dem hingegen sind nichtreziproke Komponenten wie Isolatoren oder Zirkulatoren zu diesem Zeitpunkt nur makroskopisch in Bulk-Form erh¨altlich. Als Materialien fu¨r diese nicht- reziproken Komponenten k¨onnen dabei nur magnetooptisch aktive Granate verwendet werden. Ein breites Anwendungsgebiet dieser technisch relevanten Materialien, vor allem der Ei- sengranate, findet sich zum Beispiel in der Informationsu¨bertragung u¨ber Wellenleiter. Hier ist die geringe D¨ampfung der Granate im sichtbaren Bereich und im nahen Infrarot bei gleichzeitig starker Faraday-Drehung vorteilhaft, denn in diesem Spektralbereich fin- det die optische Kommunikation in Glasfaserkabeln statt. Granate sind hier die einzig diskutierten Materialien fu¨r nichtreziproke Bauteile wie z.B. optische Isolatoren, welche fu¨r optische Datenu¨bertragungssyteme mit hoher U¨bertragungsrate unumg¨anglich sind. Solche Isolatoren sind notwendig, um reflektiertes Licht auszufiltern, das z.B. an Spleiß- stellen der Lichtleiterstrecke entsteht und gerade in optischen Verst¨arkern zu St¨orungen und zum Verrauschen des Nutzsignals fu¨hrt. Bei der Datenu¨bertragung kommen auch Halbleiterlaser als Lichtquellen zum Einsatz. Das ru¨ckreflektierte Licht aus der Faser kann somit nicht in den Laser gelangen, so dass dessen Stabilit¨at gew¨ahrleistet ist und er vor unerwu¨nschten Ru¨ckkopplungen geschu¨tzt wird. Bei der Integration stellt die Kombination der verschiedenen optischen Komponenten (z.B. Laserdiode, Wellenleiter, optischer Isolator, Modulator, etc.) auf Grund der unter- schiedlichen Materialklassen eine große Herausforderung dar. So k¨onnen z.B. die fu¨r die optischen Isolatoren notwendigen Granate in Du¨nnschichttechnologie zun¨achst nur auf Granat-Substrate abgeschieden werden. Solche Substrate sind jedoch z.B. fu¨r Laserdi- oden ungeeignet und zudem kostenintensiv. Neben den vielseitigen Einsatzm¨oglichkeiten in der Kommunikationstechnologie eignen sich die Granate hervorragend fu¨r sensorische Anwendungen. Hierbei werden die du¨nnen Filme als magnetooptisch aktive Indikatorschichten eingesetzt. In Abh¨angigkeit von der lokalen Magnetisierung einer Schicht, wird die Polarisation von transmittiertem Licht ver¨andert. Dadurch k¨onnen zweidimensionale Magnetfeldverteilungen als Kontrastbild sichtbar gemacht werden. Der Grundgedanke dieser Arbeit ist deshalb, durch gezielte materialwissenschaftliche Untersuchungen eine Integration nichtreziproker Bauteile in ein Subsystem z.B. beste- hend aus Laser, Isolator und Modulator zu erm¨oglichen. Letztendlich soll auf Grundlage dieser Einzelkomponenten ein Chip fu¨r die optischen Schaltungen, z.B. fu¨r die optische Nachrichtentechnik, entwickelt werden. 2 Einleitung und U¨berblick Ein typischer Vertreter dieser Materialien ist der ferrimagnetische Yttrium-Eisengranat Y Fe O (YIG), dessen Faraday-Effekt durch Dotierung mit Bismuth gesteigert wer- 3 5 12 den kann. Der Bi Fe O -Granat kann allerdings nur auf Substrate, die ebenfalls eine 3 5 12 Granatstruktur (z.B. Gd Ga O ) vorweisen, abgeschieden werden, da dieser nicht im 3 5 12 thermodynamischen Gleichgewicht aufw¨achst. Um dessen Eigenschaften als eine neue Funktionfu¨rmikroelektromechanischeSystemeoderfu¨rdieintegrierteOptikzug¨anglich zu machen, ist jedoch eine Integration auf z.B. Si oder SiO wu¨nschenswert. 2 UmdiesesZielzuerreichen,wurdeindervorliegendenArbeitderVersuchunternommen, die magnetooptisch aktiven Granate auf technisch relevante Substrate, wie Si, SiO oder 2 Quarzglas, zu integrieren. Zur Abscheidung der Granat-Filme auf die entsprechenden Substrate kam die gepulste Laserablation(PLD)zumEinsatz.DerVorteildieserMethodeist,dassauchMaterialien im thermodynamischen Nicht-Gleichgewicht deponiert werden k¨onnen. Im Vordergrund steht hierbei die Integration dieses Materials auf Nicht-Granat-Materialien mit gleichen magnetooptischen Eigenschaften. Die abgeschiedenen Schichten wurden ausfu¨hrlich auf ihre Morphologie hin mittels R¨ont- gendiffraktometrie,Rasterelektronen-undRasterkraftmikroskopieundRutherford-Ru¨ck- streu-Spektroskopie untersucht. Es wurden aber auch die physikalischen Eigenschaften der du¨nnen Filme betrachtet. Von besonderem Interesse war hierbei die optische Absorp- tion und die Faraday-Drehung, d.h. die Drehung der Polarisationsrichtung von linear polarisiertem Licht aufgrund eines externen Magnetfeldes. Außerdem sollte die Photolu- mineszenz einer Er-dotierten Granatstruktur nachgewiesen werden. Zuletzt wurden die Granatschichtengeeigneten Strukturierungsverfahrenunterzogen,um sie inWellenleiter- form zu bringen. Kurz zusammengefasst l¨asst sich die Arbeit somit in sieben Kapitel gliedern: In den ersten beiden Kapiteln werden der Faraday-Effekt und typische Anwendungsm¨o- glichkeiten dieses Effekts kurz vorgestellt. Auch wird die Materialklasse der magnetoop- tisch aktiven Granate beschrieben. In Kapitel 3 wird ein U¨berblick u¨ber die analytischen Verfahren gegeben, die fu¨r die Untersuchungen in dieser Arbeit verwendet wurden. Im Einzelnen sind dies: Rutherford- Ru¨ckstreuspektroskopie (RBS), R¨ontgendiffraktometrie (XRD), Rasterelektronenmikro- skopie (SEM, ESEM), Transmissionselektronenmikroskopie (TEM), Rasterkraftmikro- skopie (AFM), Profilometrie (DEKTAK), Photolumineszenz (PL), Elektronenspektro- skopie fu¨r chemische Analysen (ESCA/XPS) und der Aufbau zur Messung des Faraday- Effekts. Im n¨achsten Kapitel wird das zur Filmsynthese verwendete Verfahren der gepulsten La- serablation vorgestellt. Dazu wird eine kurze Einfu¨hrung in die Theorie und Methodik dieser Depositionsmethode gegeben. Zuletzt folgt, nach der Beschreibung des Anlagen- systems, ein Einblick in die Syntheseverfahren fu¨r die zur Schichtherstellung ben¨otigten Sintertargets in Kapitel 4.4. Kapitel5beschreibtdiesystematischenOptimierungenderDepositionsparameterfu¨rdie Abscheidung und Integration von Granat-Puffersystemen (GGG, YAG, YIG) auf Nicht- Granat-Substraten. Als Substrate wurden Si-, SiO -, und MgO-Substrate verwendet. 2 InKapitel6wirdzun¨achsteinU¨berblicku¨beraktuelleForschungsergebnissezudotierten Granaten gegeben. Im Anschluss folgt eine Zusammenfassung der in dieser Arbeit durch- gefu¨hrten Studien zur Dotierung von Eisengranaten mit Bismuth, Neodym, Praseodym, 3 Lanthan, Cer und Erbium. Hierbei wird besonders auf die Auswirkungen der Substitu- tionen auf strukturelle und optische A¨nderungen eingegangen. Das Kapitel schließt mit der Untersuchung der Leuchteigenschaften von Er-dotierten Granaten. In Kapitel 7 werden zun¨achst die theoretischen Grundlagen fu¨r das Verst¨andnis des Faraday-Effekts erarbeitet. Auf Basis dieser Grundlagen werden dann zwei verschiede- ne Simulationen entwickelt. Mit der ersten Simulation k¨onnen aus den Transmissions- Spektren sehr einfach die Brechungsindizes der untersuchten Materialien gewonnen wer- den. Das zweite entwickelte Programm erm¨oglicht die Simulation von Faraday-Spektren du¨nner Schichtsysteme. Kapitel 8 gibt zuletzt eine Zusammenfassung von weiteren durchgefu¨hrten Studien. Es folgt die Beschreibung der Herstellung kombinatorischer Multilagensysteme verschiede- ner Granate. Auch werden alternative M¨oglichkeiten zur Kristallisation der Pufferschich- ten vorgestellt und der Einfluss von akustischen Oberfl¨achenwellen auf den Faraday- Effekt untersucht. Der Abschnitt endet mit der Vorstellung erster erfolgreich hergestell- ter magnetooptischer Sensorschichten. Am Ende der Arbeit werden die wichtigsten Ergebnisse nochmals zusammengefasst und ein Ausblick fu¨r weitere Arbeiten gegeben. 4 Einleitung und U¨berblick 5 2 Einfu¨hrung in die Magnetooptik Die Magnetooptik beruht im Allgemeinen auf einem nichtlinearen optischen Ph¨anomen und beschreibt den Einfluss magnetischer Felder auf die Emission, Absorption, Aus- breitung und Reflexion von Licht. Hierbei unterscheidet man eine Vielzahl an magne- tooptischen Effekten, wie z.B. dem magnetooptischen Kerr-Effekt, Voigt-Effekt, Cotton- Mouton-Effekt,Zeeman-Effekt,linearer undzirkularer Dichroismus,sowieweiterennicht- linearen optischen Effekten. In dieser Arbeit ist allerdings ausschließlich der Faraday-Effekt von Bedeutung, bei dem die Drehung der Polarisationsebene bei der Transmission durch das magnetooptisch ak- tive (MOA) Material stattfindet. Dieser, sowie ein Einblick in die Anwendungsm¨oglichkeiten, werden im folgenden Ab- schnitt kurz dargestellt. Das Kapitel orientiert sich vor allem, sofern nicht weiter ange- geben, an [1–5]. 2.1 Der Faraday-Effekt Der Faraday-Effekt wurde im Jahr 1845 von M. Faraday erstmals beschrieben. Im ma- gnetooptisch aktiven Material1 kommt es zu einer Wechselwirkung zwischen der pola- risierten elektromagnetischen Welle und einem Magnetfeld. Die Wechselwirkung ¨außert sich dabei in einer Drehung der Polarisationsebene der Welle w¨ahrend der Transmission durch die magnetooptisch aktive Probe. Der Drehwinkel θ, vom einfallenden zum trans- mittierten Licht, ist dabei direkt proportional zum lokal vorherrschenden Magnetfeld B. Die Richtung der Faraday-Drehung h¨angt dabei nur von der Magnetisierungsrichtung und nicht von der Transmissionsrichtung der Welle ab. Es ergibt sich folgender einfacher Zusammenhang: θ(ω) = V(ω)·B·d (2.1) wobei d die Dicke des durchstrahlten Materials, B die magnetische Flussdichte des ange- legten Feldes parallel zur Lichtausbreitungsrichtung und V(ω) die sog. Verdetkonstante, eine material- und frequenzabh¨angige Konstante, bezeichnet. Es werden zwei spezielle Formen des Faraday-Effektes unterschieden, da das ¨außere Ma- gnetfeld nicht ausschlaggebend ist fu¨r eine Drehung der Polarisationsebene, sondern die Magnetisierung des durchstrahlten magnetooptischen Materials. Dieses Ph¨anomen konn- te 1884 von A. Kundt gefunden werden. Beim sog. Kundt-Effekt kommt es zu einer außerordentlichen Drehung der Polarisationsebene bei der Durchstrahlung sehr du¨nner Ferromagnetika. In paramagnetischen Materialien wird dieser analoge Effekt auch Bec- querel-Effekt genannt. Der Faraday-Effekt wird in den unterschiedlichsten Bauteilen verwendet, wie optischen Isolatoren oder Sensoren, um zweidimensionale Magnetfeldverteilungen zu beobachten. 1M. Faraday stellte diesen Effekt 1846 an Quarzglas fest, das sich in einem Magnetfeld befand. 6 Einfu¨hrung in die Magnetooptik Dazu ist eine m¨oglichst hohe Faraday-Drehung bzw. hohe Verdetkonstante wu¨nschens- wert. Fu¨r SiO betr¨agt diese 3,25·10−7 ◦ bei einer eingestrahlten Wellenl¨ange von 2 µm·mT 546nm. Die Verdetkonstante der hier untersuchten Granatstrukturen liegt in der Gr¨o- ßenordnung von 10−2 ◦ , also um ca. fu¨nf Gr¨oßenordnungen h¨oher2. Wie es nun zu µm·mT diesem Faraday-Effekt kommt, wird im folgenden Abschnitt kurz erkl¨art werden. Linear polarisiertes Licht kann man sich als U¨berlagerung zweier gegenl¨aufiger zirkular polarisierter Wellen vorstellen, welche gleiche Amplituden besitzen und keine Phasen- verschiebung zueinander aufweisen. Die beiden, sich in z-Richtung ausbreitenden, links- und rechtszirkular polarisierten Teilwellen werden im magnetooptisch aktiven Material unterschiedlich stark gebrochen und breiten sich verschieden schnell aus. Dies kommt dadurch zustande, dass die Magnetisierung des Materials durch das ¨außere Magnetfeld, parallel zur Ausbreitungsrichtung des Lichts, ausgerichtet wird und dadurch die beiden Anteile des Lichtes je nach ihrem Drehsinn verschieden mit dieser Magnetisierung wech- selwirken. Nach der Transmission durch eine Probe der Dicke d resultiert eine Phasendifferenz ∆φ zwischen den beiden zirkular polarisierten Teilwellen, die wie folgt berechnet werden kann [7]: ωd ∆φ = ·Re(N −N ) (2.2) + − c wobei c die Lichtgeschwindigkeit im Vakuum und Re(N ) bzw. Re(N ) die Brechungs- + − indizes der beiden Wellen beschreiben. Setzt man die aus der Probe austretenden Teil- strahlen wieder zusammen, erh¨alt man wieder linear polarisiertes Licht. Die Polarisati- onsebene wurde dabei, auf Grund der Phasendifferenz um den Faraday-Rotationswinkel θ gedreht: F ω ∆φ θ (ω) = ·Re(N −N ) = (2.3) F + − 2c 2 Kommt es zus¨atzlich zu einer D¨ampfung der beiden zirkular polarisierten Wellen im magnetooptisch aktiven Material, so entsteht elliptisch polarisiertes Licht. Dies kann fol- gendermaßenveranschaulichtwerden:DieelastischgebundenenElektronendesMediums werdenaufgrunddesrotierendenelektrischenFeldvektorsaufeineKreisbahngezwungen. Das externe Magnetfeld, welches senkrecht zu dieser Bahn steht, bewirkt eine Radial- kraft. Diese ist entweder zum Kreismittelpunkt hin oder von ihm weg gerichtet, wodurch sich der Bahnradius der Elektronen verkleinert oder vergr¨oßert. Die beiden Komponen- ten bringen somit nicht nur unterschiedliche Ausbreitungsgeschwindigkeiten und Bre- chungsindizes n und n mit sich, sondern besitzen nach der Transmission durch eine + − Probenstrecke d auch verschiedene Amplituden. Die Zusammensetzung ist nun elliptisch polarisiert. Sowohl die Faraday-Drehung, als auch die Faraday-Elliptizit¨at k¨onnen mit dem in Kap. 3.7 beschriebenen Faraday-Messplatz gemessen werden. Da die Richtung der Faraday- Drehung des magnetooptisch aktiven Materials orientierungsunabh¨angig bzgl. der Licht- ausbreitung,alsonichtreziprok,istundnurvondessenexternerMagnetisierungabh¨angt, ergeben sich zahlreiche technische Anwendungen des Faraday-Effekts. Deshalb soll der bereits o.g. optische Isolator im Folgenden kurz vorgestellt werden. 2DiemeistenMaterialienweiseneinenursehrgeringeFaraday-Rotationbzw.einezugeringeTransmis- sion auf, um sie fu¨r Applikationen nutzen zu k¨onnen. Wasser dreht beispielsweise ca. 2 ◦ , Schwefel- cm kohlenstoff 7 ◦ und Eisen ca. 13 ◦ , wobei bei Letzterem eine sehr geringe Transmission vorliegt cm µm (alle Werte bei 589nm und einem Magnetfeld von 1T gemessen). Man ben¨otigt deshalb sehr hohe Schichtdicken, um beispielsweise 45◦ zu drehen (aus [6]).
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