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Herstellung photonischer Komponenten durch Heißprägen und UV-induzierte Brechzahlmodifikation von PMMA PDF

110 Pages·2008·10.246 MB·German
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Preview Herstellung photonischer Komponenten durch Heißprägen und UV-induzierte Brechzahlmodifikation von PMMA

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Im Polymer PMMA wurden durch Hei?pr?gen sowohl stark f?hrende, passive optische Wellenleiter wie auch organische DFB-Laser hergestellt und charakterisiert. Die Replikation der Strukturen erfolgte dabei durch auf Basis von mit UV-und R?ntgenlithografie strukturierten Nickel-Shim-Formeins?tzen im LIGA-Verfahren.
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