AVERTISSEMENT Ce document est le fruit d'un long travail approuvé par le jury de soutenance et mis à disposition de l'ensemble de la communauté universitaire élargie. Il est soumis à la propriété intellectuelle de l'auteur. Ceci implique une obligation de citation et de référencement lors de l’utilisation de ce document. D'autre part, toute contrefaçon, plagiat, reproduction illicite encourt une poursuite pénale. Contact : [email protected] LIENS Code de la Propriété Intellectuelle. articles L 122. 4 Code de la Propriété Intellectuelle. articles L 335.2- L 335.10 http://www.cfcopies.com/V2/leg/leg_droi.php http://www.culture.gouv.fr/culture/infos-pratiques/droits/protection.htm (cid:1)(cid:2)(cid:3)(cid:4)(cid:5)(cid:6)(cid:7)(cid:3)(cid:8)(cid:9)(cid:10)(cid:11)(cid:5)(cid:2)(cid:6)(cid:3)(cid:10)(cid:12)(cid:13)(cid:3)(cid:2)(cid:14)(cid:15)(cid:6)(cid:9)(cid:10) (cid:16)(cid:15)(cid:14)(cid:17)(cid:18)(cid:8)(cid:9)(cid:10)(cid:19)(cid:5)(cid:7)(cid:10)(cid:20)(cid:14)(cid:3)(cid:5)(cid:2)(cid:14)(cid:5)(cid:7)(cid:10)(cid:5)(cid:8)(cid:10)(cid:21)(cid:5)(cid:14)(cid:22)(cid:2)(cid:3)(cid:23)(cid:17)(cid:5)(cid:7)(cid:10) (cid:1)(cid:24)(cid:16)(cid:24)(cid:25)(cid:24)(cid:10)(cid:20)(cid:14)(cid:3)(cid:5)(cid:2)(cid:14)(cid:5)(cid:7)(cid:10)(cid:5)(cid:8)(cid:10)(cid:21)(cid:5)(cid:14)(cid:22)(cid:2)(cid:3)(cid:23)(cid:17)(cid:5)(cid:7)(cid:10)(cid:19)(cid:5)(cid:10)(cid:18)(cid:15)(cid:10)(cid:26)(cid:15)(cid:8)(cid:3)(cid:27)(cid:6)(cid:5)(cid:10)(cid:5)(cid:8)(cid:10)(cid:19)(cid:5)(cid:7)(cid:10) (cid:12)(cid:6)(cid:13)(cid:14)(cid:9)(cid:19)(cid:9)(cid:7)(cid:10) (cid:28)(cid:14)(cid:13)(cid:18)(cid:5)(cid:10)(cid:19)(cid:13)(cid:14)(cid:8)(cid:13)(cid:6)(cid:15)(cid:18)(cid:5)(cid:10)(cid:29)(cid:26)(cid:26)(cid:30)(cid:10) (cid:10) (cid:10) (cid:10) (cid:10) (cid:1)(cid:1)(cid:2)(cid:2)(cid:3)(cid:3)(cid:4)(cid:4)(cid:5)(cid:5)(cid:6)(cid:6)(cid:7)(cid:7)(cid:8)(cid:8)(cid:2)(cid:2)(cid:9)(cid:9)(cid:10)(cid:10)(cid:3)(cid:3)(cid:4)(cid:4)(cid:6)(cid:6)(cid:4)(cid:4)(cid:11)(cid:11)(cid:12)(cid:12)(cid:13)(cid:13)(cid:2)(cid:2)(cid:3)(cid:3)(cid:4)(cid:4)(cid:2)(cid:2)(cid:1)(cid:1)(cid:6)(cid:6)(cid:3)(cid:3)(cid:8)(cid:8)(cid:14)(cid:14)(cid:15)(cid:15)(cid:9)(cid:9)(cid:2)(cid:2)(cid:3)(cid:3)(cid:4)(cid:4)(cid:13)(cid:13)(cid:2)(cid:2)(cid:4)(cid:4)(cid:3)(cid:3)(cid:9)(cid:9)(cid:10)(cid:10)(cid:16)(cid:16)(cid:6)(cid:6)(cid:5)(cid:5)(cid:2)(cid:2)(cid:17)(cid:17)(cid:4)(cid:4) (cid:6)(cid:6)(cid:7)(cid:7)(cid:7)(cid:7)(cid:1)(cid:1)(cid:14)(cid:14)(cid:5)(cid:5)(cid:6)(cid:6)(cid:8)(cid:8)(cid:14)(cid:14)(cid:11)(cid:11)(cid:12)(cid:12)(cid:3)(cid:3)(cid:4)(cid:4)(cid:7)(cid:7)(cid:11)(cid:11)(cid:9)(cid:9)(cid:10)(cid:10)(cid:4)(cid:4)(cid:1)(cid:1)(cid:6)(cid:6)(cid:4)(cid:4)(cid:18)(cid:18)(cid:2)(cid:2)(cid:3)(cid:3)(cid:9)(cid:9)(cid:10)(cid:10)(cid:2)(cid:2)(cid:4)(cid:4)(cid:13)(cid:13)(cid:2)(cid:2)(cid:3)(cid:3)(cid:4)(cid:4)(cid:19)(cid:19)(cid:6)(cid:6)(cid:3)(cid:3)(cid:3)(cid:3)(cid:2)(cid:2)(cid:3)(cid:3)(cid:4)(cid:4)(cid:7)(cid:7)(cid:10)(cid:10)(cid:2)(cid:2)(cid:3)(cid:3)(cid:3)(cid:3)(cid:14)(cid:14)(cid:11)(cid:11)(cid:12)(cid:12)(cid:3)(cid:3)(cid:4)(cid:4)(cid:2)(cid:2)(cid:8)(cid:8)(cid:4)(cid:4) (cid:13)(cid:13)(cid:2)(cid:2)(cid:3)(cid:3)(cid:4)(cid:4)(cid:20)(cid:20)(cid:6)(cid:6)(cid:9)(cid:9)(cid:8)(cid:8)(cid:2)(cid:2)(cid:3)(cid:3)(cid:4)(cid:4)(cid:8)(cid:8)(cid:2)(cid:2)(cid:18)(cid:18)(cid:7)(cid:7)(cid:2)(cid:2)(cid:10)(cid:10)(cid:6)(cid:6)(cid:8)(cid:8)(cid:9)(cid:9)(cid:10)(cid:10)(cid:2)(cid:2)(cid:3)(cid:3)(cid:17)(cid:17)(cid:4)(cid:4) (cid:10) (cid:10) (cid:21)(cid:22)(cid:27)(cid:7)(cid:5)(cid:10)$(cid:6)(cid:9)(cid:7)(cid:5)(cid:2)(cid:8)(cid:9)(cid:5)(cid:10)(cid:5)(cid:8)(cid:10)(cid:7)(cid:13)(cid:17)(cid:8)(cid:5)(cid:2)(cid:17)(cid:5)(cid:10)$(cid:17) (cid:18)(cid:3)(cid:23)(cid:17)(cid:5)4(cid:5)(cid:2)(cid:8)(cid:10)(cid:18)(cid:5)(cid:10)5)(cid:10)6(cid:9)(cid:14)(cid:5)4 (cid:6)(cid:5)(cid:10)-))((cid:10) $(cid:13)(cid:17)(cid:6)(cid:10)(cid:18)7(cid:13) (cid:8)(cid:5)(cid:2)(cid:8)(cid:3)(cid:13)(cid:2)(cid:10)(cid:19)(cid:17)(cid:10) (cid:10) (cid:10) (cid:13)(cid:11)(cid:5)(cid:8)(cid:11)(cid:10)(cid:6)(cid:8)(cid:4)(cid:2)(cid:12)(cid:4)(cid:7)(cid:20)(cid:21)(cid:3)(cid:14)(cid:15)(cid:9)(cid:2)(cid:4)(cid:13)(cid:2)(cid:3)(cid:4)(cid:18)(cid:14)(cid:5)(cid:10)(cid:11)(cid:3)(cid:21)(cid:3)(cid:8)(cid:2)(cid:18)(cid:2)(cid:3)(cid:4) (cid:10) (cid:10) (cid:19)(cid:5)(cid:10)(cid:18)7(cid:1)(cid:2)(cid:3)(cid:4)(cid:5)(cid:6)(cid:7)(cid:3)(cid:8)(cid:9)(cid:10)(cid:11)(cid:5)(cid:2)(cid:6)(cid:3)(cid:10)(cid:12)(cid:13)(cid:3)(cid:2)(cid:14)(cid:15)(cid:6)(cid:9)+(cid:10)’(cid:15)(cid:2)(cid:14)!(cid:10) 8(cid:20)$(cid:9)(cid:14)(cid:3)(cid:15)(cid:18)(cid:3)(cid:8)(cid:9)(cid:10)9(cid:10)(cid:12)(cid:18)(cid:15)(cid:7)4(cid:15)(cid:7)+(cid:10):$(cid:8)(cid:3)(cid:23)(cid:17)(cid:5)+(cid:10)(cid:29)(cid:18)(cid:5)(cid:14)(cid:8)(cid:6)(cid:13)(cid:2)(cid:3)(cid:23)(cid:17)(cid:5)(cid:10)(cid:5)(cid:8)(cid:10)(cid:26)(cid:3)(cid:14)(cid:6)(cid:13)(cid:7)!(cid:7)(cid:8)(cid:27)4(cid:5)(cid:7);(cid:10) (cid:10) $(cid:15)(cid:6)(cid:10) (cid:10) (cid:10) (cid:7)(cid:22)(cid:23)(cid:24)(cid:22)(cid:25)(cid:4)(cid:12)(cid:14)(cid:5)(cid:11)(cid:1)(cid:6)(cid:21)(cid:4) (cid:10) (cid:10) (cid:25)(cid:15)$$(cid:13)(cid:6)(cid:8)(cid:5)(cid:17)(cid:6)(cid:7)9(cid:10) (cid:10) (cid:26)(cid:24)(cid:10)(cid:20)(cid:24)(cid:10),(cid:15)(cid:18)(cid:18)(cid:15)(cid:2)(cid:19)(cid:6)(cid:15)(cid:7)+(cid:10)6(cid:3)(cid:6)(cid:5)(cid:14)(cid:8)(cid:5)(cid:17)(cid:6)(cid:10)(cid:19)(cid:5)(cid:10)(cid:25)(cid:5)(cid:14)(cid:22)(cid:5)(cid:6)(cid:14)(cid:22)(cid:5)(cid:7)(cid:10)(cid:15)(cid:17)(cid:10)&’(cid:25)(cid:20)+(cid:10),(cid:5)(cid:7)(cid:15)(cid:2)<(cid:13)(cid:2)(cid:10) (cid:26)(cid:24)(cid:10)(cid:20)(cid:24)(cid:10)=(cid:22)>(cid:13)(cid:13)(cid:2)+(cid:10)(cid:12)(cid:6)(cid:13)?(cid:5)(cid:7)(cid:7)(cid:5)(cid:17)(cid:6)(cid:10)(cid:15)(cid:17)(cid:10)(cid:12)(cid:13)@(cid:5)(cid:6)(cid:10)(cid:29)(cid:2)>(cid:3)(cid:2)(cid:5)(cid:5)(cid:6)(cid:3)(cid:2)>(cid:10)#(cid:2)(cid:7)(cid:8)(cid:3)(cid:8)(cid:17)(cid:8)(cid:5)+(cid:10)(cid:26)(cid:13)(cid:7)(cid:14)(cid:13)(cid:17)(cid:10) (cid:10) (cid:29)"(cid:15)4(cid:3)(cid:2)(cid:15)(cid:8)(cid:5)(cid:17)(cid:6)(cid:7)9(cid:10) (cid:10) (cid:26)(cid:24)(cid:10)(cid:12)(cid:24)(cid:10),(cid:5)(cid:6)>(cid:13)(cid:2)A(cid:13)+(cid:10)#(cid:2)>(cid:24)%&(cid:22)(cid:5)(cid:6)(cid:14)(cid:22)(cid:5)(cid:17)(cid:6)(cid:10)(cid:15)(cid:17)(cid:10)&(cid:29)(cid:30)%(cid:20)(cid:15)(cid:14)(cid:18)(cid:15)!(cid:10)8(cid:11)(cid:19)(cid:25);+(cid:10)B(cid:3)?%(cid:7)(cid:17)(cid:6)%C(cid:4)(cid:5)(cid:8)(cid:8)(cid:5)(cid:10) (cid:26)(cid:24)(cid:10):(cid:24)(cid:10)(cid:29)(cid:18)4(cid:15)A(cid:6)(cid:3)(cid:15)+(cid:10)(cid:12)(cid:6)(cid:13)?(cid:5)(cid:7)(cid:7)(cid:5)(cid:17)(cid:6)(cid:10)D(cid:10)(cid:18)E(cid:1)(cid:2)(cid:3)(cid:4)(cid:5)(cid:6)(cid:7)(cid:3)(cid:8)(cid:9)(cid:10)(cid:11)(cid:5)(cid:2)(cid:6)(cid:3)(cid:10)(cid:12)(cid:13)(cid:3)(cid:2)(cid:14)(cid:15)(cid:6)(cid:9)(cid:10)8(cid:1)(cid:11)(cid:12);+(cid:10)’(cid:15)(cid:2)(cid:14)!(cid:10) (cid:26)(cid:24)(cid:10)(cid:11)(cid:24)(cid:10)F(cid:15)4 (cid:15)(cid:6)(cid:15)+(cid:10)#(cid:2)>(cid:9)(cid:2)(cid:3)(cid:5)(cid:17)(cid:6)(cid:10)(cid:19)(cid:5)(cid:10)(cid:25)(cid:5)(cid:14)(cid:22)(cid:5)(cid:6)(cid:14)(cid:22)(cid:5)(cid:10)8(cid:12)(cid:22)6;+(cid:10)(cid:30)(cid:31)&(cid:30)(cid:21)(cid:29)(cid:31)%(cid:30)6#G(cid:29)’+(cid:10)(cid:30)(cid:2)(cid:2)(cid:5)(cid:14)!(cid:10) (cid:26)(cid:24)(cid:10)6(cid:24)(cid:10)(cid:25)(cid:5) (cid:3)(cid:27)(cid:6)(cid:5)+(cid:10)(cid:12)(cid:6)(cid:13)?(cid:5)(cid:7)(cid:7)(cid:5)(cid:17)(cid:6)(cid:10)D(cid:10)(cid:18)E(cid:1)(cid:2)(cid:3)(cid:4)(cid:5)(cid:6)(cid:7)(cid:3)(cid:8)(cid:9)(cid:10)(cid:19)(cid:5)(cid:10),(cid:13)(cid:6)(cid:19)(cid:5)(cid:15)(cid:17)"(cid:10)5+(cid:10),(cid:13)(cid:6)(cid:19)(cid:5)(cid:15)(cid:17)"(cid:10) (cid:26)(cid:24)(cid:10)(cid:16)(cid:24)(cid:10)(cid:20)(cid:15)(cid:6)(cid:6)!+(cid:10)(cid:26)(cid:15)H(cid:8)(cid:6)(cid:5)(cid:10)(cid:19)(cid:5)(cid:10)&(cid:13)(cid:2)?(cid:9)(cid:6)(cid:5)(cid:2)(cid:14)(cid:5)(cid:7)(cid:10)D(cid:10)(cid:18)E(cid:1)(cid:11)(cid:12)(cid:10)8(cid:11)(cid:19)(cid:25);+(cid:10)’(cid:15)(cid:2)(cid:14)!(cid:10) (cid:10) #(cid:2)(cid:4)(cid:3)(cid:8)(cid:9)(cid:7)(cid:10)9(cid:10) (cid:10) (cid:26)(cid:24)(cid:10)(cid:12)(cid:24)(cid:10)(cid:30)(cid:18)(cid:2)(cid:13)(cid:8)+(cid:10)(cid:12)(cid:6)(cid:13)?(cid:5)(cid:7)(cid:7)(cid:5)(cid:17)(cid:6)(cid:10)D(cid:10)(cid:18)E(cid:1)(cid:2)(cid:3)(cid:4)(cid:5)(cid:6)(cid:7)(cid:3)(cid:8)(cid:9)(cid:10)(cid:11)(cid:5)(cid:2)(cid:6)(cid:3)(cid:10)(cid:12)(cid:13)(cid:3)(cid:2)(cid:14)(cid:15)(cid:6)(cid:9)(cid:10)8(cid:1)(cid:11)(cid:12);+(cid:10)’(cid:15)(cid:2)(cid:14)!(cid:10) (cid:26)(cid:24)(cid:10)I(cid:24)%(cid:26)(cid:24)(cid:10)6(cid:13)(cid:5)(cid:6)(cid:18)(cid:5)(cid:6)+(cid:10)(cid:12)%6B(cid:10)(cid:19)(cid:5)(cid:10)(cid:18)(cid:15)(cid:10)(cid:7)(cid:13)(cid:14)(cid:3)(cid:9)(cid:8)(cid:9)(cid:10)6(cid:13)(cid:5)(cid:6)(cid:18)(cid:5)(cid:6)(cid:10)(cid:26)(cid:5)(cid:7)(cid:17)(cid:6)(cid:5)(cid:7)+(cid:10)3(cid:15)(cid:2)(cid:19)(cid:13)(cid:5)(cid:17)(cid:4)(cid:6)(cid:5)(cid:10) (cid:31)(cid:15) (cid:13)(cid:6)(cid:15)(cid:8)(cid:13)(cid:3)(cid:6)(cid:5)(cid:10)(cid:19)(cid:5)(cid:10)(cid:12)(cid:22)!(cid:7)(cid:3)(cid:23)(cid:17)(cid:5)(cid:10)(cid:19)(cid:5)(cid:7)(cid:10)(cid:26)(cid:3)(cid:18)(cid:3)(cid:5)(cid:17)"(cid:10)#(cid:13)(cid:2)(cid:3)(cid:7)(cid:9)(cid:7)(cid:10)(cid:5)(cid:8)(cid:10)(cid:30)$$(cid:18)(cid:3)(cid:14)(cid:15)(cid:8)(cid:3)(cid:13)(cid:2)(cid:7)(cid:10)%(cid:10)(cid:1)(cid:26)(cid:25)(cid:10)&’(cid:25)(cid:20)(cid:10)()*)(cid:10) (cid:16)(cid:15)(cid:14)(cid:17)(cid:18)(cid:8)(cid:9)(cid:10)(cid:19)(cid:5)(cid:7)(cid:10)(cid:20)(cid:14)(cid:3)(cid:5)(cid:2)(cid:14)(cid:5)(cid:7)(cid:10)(cid:5)(cid:8)(cid:10)(cid:21)(cid:5)(cid:14)(cid:22)(cid:2)(cid:3)(cid:23)(cid:17)(cid:5)(cid:7)+(cid:10)(cid:1)(cid:2)(cid:3)(cid:4)(cid:5)(cid:6)(cid:7)(cid:3)(cid:8)(cid:9)(cid:10)(cid:11)(cid:5)(cid:2)(cid:6)(cid:3)(cid:10)(cid:12)(cid:13)(cid:3)(cid:2)(cid:14)(cid:15)(cid:6)(cid:9)+(cid:10),(cid:12)(cid:10)-./(cid:10)0(cid:10)1*1)2(cid:10)3(cid:15)(cid:2)(cid:19)(cid:13)(cid:5)(cid:17)(cid:4)(cid:6)(cid:5)%(cid:18)(cid:27)(cid:7)%’(cid:15)(cid:2)(cid:14)!(cid:10)&(cid:5)(cid:19)(cid:5)"(cid:10) ii iii Amesparents,ChristianeetJean-Marcel, iv Remerciements Lestravauxprésentésdanscedocumentsontlefruitd’uneffortcollectifderecherche etdéveloppement,menédepuistroisansparuneéquipedechercheurs,d’ingénieursetde techniciens,universitairescommeindustriels. Je dois à l’ensemble de ces personnes d’avoir pu à la fois apporter ’ma petite pierre à l’édifice’etassouvirenfinmapassiondévorantepourlessciences. Je dois également à l’ensemble du personnel du LPMIA, de l’université Henri Poin- caré et de la société DOERLER Mesures d’avoir pu travailler dans une ambiance extrê- mementpositiveetamicale,propiceautravailetsourced’unegrandemotivation. Parmi tous ces collègues, collaborateurs et amis qui m’ont épaulé durant ma thèse, j’aimeraisremercierplusparticulièrement: – MM. Dominique Mulot, Jean-Georges Mussot, Jean-François Pautex et Jean-Luc Briançon, pour leur appui technique (atelier mécanique, électronique et informa- tique), – M. Nicolas Marché, Mlle Sabrina Perrault et M. Anthony Fournier, mes stagiaires de l’école de l’air, pour la qualité de leurs travaux, leur implication et leur sympa- thie, – Mlle. Félicidade Moreira, MM. Thierry Aubert, Denis Beyssen et Philippe Kirsch, mes’collègues-doctorants’,pourleurcollaborationactiveettouslesbonsmoments passés, – Mme.CatherineRoch,responsabledelacelluledevalorisationdel’université,pour sesnombreuxconseils,sapatienceettoussesefforts, – MM.BadreddineAssouar,DidierRouxel,MohammedBelmahi,StéphaneHeuraux etJamalBougdira,tantpourleurdisponibilitéquepourleuraidescientifique,tech- niqueetmorale, – MM.SergeïZhgoonetSylvainBallandras,mesdeuxrapporteursdethèse,pourleur considérationetleursconseils, – MM. Philipe Bergonzo et Dominique Rebière, pour m’avoir fait l’honneur d’être v vi membredemonjurydethèse, – Mme Anne Jonquières, MM. Denis Grandclaude, Alfred Binder, Rene Fachberger, EnriqueEspinosaetEmmanuelWenger,chercheursextérieursauLPMIA,pourleur bienveillance, leur ouverture d’esprit et toutes les discussions passionnantes qui furentlesnôtres, – MM. Hisanori Kambara, Roland Bernard, Fabrice Tondo, Jacque Beltz et Thierry Doerler, nos partenaires industriels, pour leur aide financière et intellectuelle, mais également (et surtout!) pour leur grande sympathie et leur confiance toujours re- nouvellée. Je tiens à remercier plus vivement encore MM. Laurent Bouvot, Laurent Le Brizoual et Frédéric Sarry, pour leur disponibilité et leur aide précieuse tout au long de ma thèse, etcedanstouslesdomainesabordés. Enfin,j’aimeraistémoignerdemaprofondereconnaissanceenversM.OmarElmazria, qui fût pour moi un directeur de thèse exceptionnel, M. Jean-Marie Doerler et M. Patrick Alnot.Riendetoutcecin’auraitétépossiblesanseuxetjeleurdoissansnuldouted’avoir pu vivre dans de si bonnes conditions cette splendide aventure humaine que fût pour moi l’accomplissement d’une thèse de doctorat au sein du Laboratoire de Physique des Mi- lieuxIonisésetApplicationsdel’UniversitédeNancy,France. vii QuandLaplaceeutpubliésaMécaniqueCéleste,l’empereurNapoléonlefitvenir. L’empereurétaitfurieux. Comment,s’écria-t-ilenapercevantLaplace,vousfaitestoutlesystèmedumonde,vous donnezlesloisdetoutelacréationetdanstoutvotrelivrevousneparlezpasuneseule foisdel’existencedeDieu! Sire,réponditLaplace,jen’aipaseubesoindecettehypothèse. VictorHugo,Chosesvues,1887 viii Table des matières Introduction 2 1 Historique 3 1.1 Lesorigines:de1963à1969 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 1.2 Undéveloppementfulgurant:de1970à1985 . . . . . . . . . . . . . . . 13 1.3 Unepériodedematuration:de1985ànosjours... . . . . . . . . . . . . . 19 1.4 LesSAWaujourd’hui:étatdel’art . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23 1.5 LescapteursSAW . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26 1.5.1 Principe(s)defonctionnement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26 1.5.2 Avantagesconcurrentielsetpremièresapplicationscommercialisées 31 1.6 AutresapplicationsdesdispositifsSAW . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33 2 Lesondesélastiquesdesurface 37 2.1 Lesprincipauxtypesd’ondesélastiques . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38 2.2 Modélisationetrésolutionnumériquedanslecasnon-piézoélectrique . . 41 2.2.1 Ondesplanesprogressivesenmilieuanisotrope . . . . . . . . . . 41 2.2.2 Ondesdesurfaceenmilieuanisotrope . . . . . . . . . . . . . . . 59 2.3 Modélisationetrésolutionnumériquedanslecaspiézoélectrique . . . . . 65 2.3.1 Qu’est-cequelapiézoelectricité? . . . . . . . . . . . . . . . . . 65 2.3.2 Ondesplanesdansuncristalpiézoélectrique . . . . . . . . . . . . 68 2.3.3 Ondesdesurfaceenmilieupiézoélectrique . . . . . . . . . . . . 72 2.3.4 Ondesdesurfacedansunestructurebicouchepiézoélectrique . . 74 3 Sensibilitéauxperturbations 79 3.1 Modélisationdel’effetdelatempérature . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79 3.2 Modélisationdel’effetd’unedéformationmécanique . . . . . . . . . . . 83 4 CapteurSAWdepression 95 4.1 Contextedel’étude . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95 4.2 Lescapteursdepression:généralités . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95 4.3 LescapteursSAWàmembranedéformable . . . . . . . . . . . . . . . . 99 4.3.1 Etatdel’art . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99 4.3.2 Modélisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102 4.3.3 Niveaudeperformanceslimite . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105 4.4 LecapteurSAW’Pirani’ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 111 4.4.1 Modèlethéorique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112 4.4.2 Résultatsexpérimentaux . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 129 ix
Description: