Moeller Leitfaden der Elektrotechnik Herausgegeben von Dr.-Ing. Hans Fricke Professor an der Technischen Universitat Braunschweig Dr.-Ing. Heinrich Frohne Professor an der Technischen Universitat Hannover Dr.-Ing. Paul Vaske Dozent an der Fachhochschule Hamburg Band III, Teil 2 B. G. Teubner Stuttgart Bauelemente der Halbleiterelektronik Teil2 Feldeffekt-Transistoren, Thyristoren und Optoelektronik Von Dr. rer. nat. H. Tholl Dozent an der Fachhochschule Hamburg Mit 309 Bildern, 32 Tafeln und 77 Beispielen B. G. Teubner Stuttgart 1978 CIP-Kurztitelaufnahme der Deutschen Bibliothek Leitfaden der Elektrotechnik I Moeller. Hrsg. von Hans Fricke ... - Stuttgart: Teubner. NE: Moeller, Franz [Begr.]; Fricke, Hans [Hrsg.] Bd. 3. Bauelemente der Halbleiterelektronik I von H.TholI. Teil 2. Feldeffekttransistoren, Thyristoren und Optoelektronik. - 1978. ISBN 978-3-519-06419-0 ISBN 978-3-322-92762-0 (eBook) DOI 10.1007/978-3-322-92762-0 NE: Tholl, Herbert [Bearb.] Das Werk ist urheberrechtlich geschiitzt. Die dadurch begriindeten Rechte, besonders die der Obersetzung, des Nachdrucks, der Bildentnahme, der Funksendung, dec Wie dergabe auf photomechanischem oder ahnlichem Wege, der Speicherung und Auswer tung in Datenverarbeitungsanlagen, bleiben, auch bei Verwertung von Teilen des Wer kes, dem Verlag vorbehalten. Bei gewerblichen Zwecken dienender Vervielfaltigung ist an den Verlag gemaB § S4 UrhG eine Vergiitung zu zahlen, deren Hohe mit dem Verlag zu vereinbaren is!. © B.G. Teubner, Stuttgart 1978 Satz: Schmitt und Kohler, Wiirzburg Umschlaggestaltung: W. Koch, Sindelfingen Vorwort Kaum ein anderer Bereich der Elektrotechnik hat sich in den ietzten 25 Jahren so schnell entwickelt wie die Halbleiterelektronik. Vorangetrieben durch neue Forschungsergeb nisse der Festkorperphysik und durch eine sHindig verbesserte Technologie bei der Her stellung von Halbleitern, waren zwei verschiedene Entwicklungsrichtungen zu beobach ten. Einerseits geiang es, die Integration bis zu einigen 1000 Halbleiterbauelementen auf einem einzigen Kristall durchzufUhren und somit hochintegrierte Schaltkreise, insbe sondere fUr die digitale Elektronik und Computertechnik, herzustellen, andererseits wurde dagegen eine Vielzahl von Halbleiterbauelementen mit speziellen Eigenschaften entwickelt, die fUr viele elektronische Probleme optimale Losungen gestatten. Wahrend nun im Teil 1 dieses Buches, der im Frtihjahr 1976 erschien, die Sachgebiete Dioden und bipolare Transistoren behandelt werden, enthalt der jetzt vorliegende Teil 2 die Bereiche Feldeffekt-Transistoren, weitere Spezialtransistoren, Thyristor-Bauelemente sowie das inzwischen sehr umfangreich gewordene Gebiet der Optoelektronik. Auch hier wird wieder wie in Teil 1 versucht, trotz der Vielzahl der Bauelemente den Lehr buchcharakter zu wahren, urn den Studenten der Technischen Universitaten und der Fachhochschulen das Einarbeiten in dieses komplexe Stoffgebiet zu erleichtern. Das Buch kann deshalb gemeinsam mit Teil 1 als vorlesungsbegleitendes Lehrbuch benutzt werden, wobei der in den beiden Teilbanden zusammengetragene Stoff haufig tiber das in einer Elektronik-Vorlesung aus Zeitgrtinden Behandelbare hinausgeht. Die Bticher stellen deshalb auch eine wertvolle Erganzung zu dem in der Vorlesung behandelten Stoff dar und eignen sich fUr das Selbststudium. Ftir diesen Zweck ist die groBe Anzahl von detailliert durchgerechneten Beispielen vorteilhaft. Wegen der Vielzahl und der ausfUhr lichen Darstellung der Halbleiterbauelemente wird jedoch auch der Ingenieur der Praxis und der Hoch- bzw. Fachhochschuldozent fUr sich geeignete Anregungen finden. Die Behandlung der Bauelemente geht von den ihnen zu Grunde liegenden physikalischen Effekten aus und leitet daraus ihre Kennlinien und ihr Betriebsverhalten abo Zur Ver tiefung wird dann ihre Wirkungsweise an Hand zahlreicher Anwendungsbeispiele dar gestellt, die soweit moglich genau dimensioniert und durchgerechnet werden. Dem Sach gebiet Optoeiektronische Bauelemente wurde ein Abschnitt tiber die Grundlagen der Optoelektronik vorangestellt, urn den Leser in die neue Problematik der Wechselwirkung von Licht mit Festkorpern einzufUhren und die Vielzahl der radio-und photometrischen KenngroBen zu definieren. Gleichungen werden wie in Teil 1 als GroBengleichungen dargestellt und, soweit dies der Platz zulaBt, abgeleitet. Ais Voraussetzung fUr das Studium sollten Grundkenntnisse der Elektrotechnik, wie sie z. B. in Band I, Grundlagen der Elektrotechnik, dargestellt sind und die in Band III, Teil 1 behandelten Grundlagen der Halbleiterphysik, der Dioden und der bipolaren Transistoren vorhanden sein. VI Vorwort Der Verfasser dankt den Herausgebern des "Leitfadens der Elektrotechnik" fUr die Auf nahme des Buches in diese bekannte Lehrbuchreihe. Sein Dank gilt auch den Heraus gebern fUr die Mlihe bei der Durchsicht des Manuskripts und fUr viele wertvolle Rat schlage und Hinweise zur Gestaltung des Buches. Nicht zuletzt gilt sein Dank auch dem Verlag, der wie bei Teil1 auch hier wieder verstandnisvoll auf die Wlinsche des Ver fassers einging und das Buch hervorragend ausstaUete. Hamburg, im Herbst 1977 Herbert Tholl Inhalt 1 Transistoren mit besonderen Eigenschaften 1.1 Feldeffekt-Transistoren. . . .. 1.1.1 Einfiihrung und U'bersicht 1.1.2 Sperrschicht-FET . . . . 2 1.1.2.1 Aufbau. 1.1.2.2 Wirkungsweise und Kennlinien. 1.1.2.3 Kenngr5Ben. 1.1.2.4 Berechnung der Kennlinien 1.1.3 MOS-FET . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 11 1.1.3.1 MOS-FETvom Verarmungstyp. 1.1.3.2 MOS-FETvom Anreicherungs- typo 1.1.3.3 Kennlinien 1.1.4 Temperaturverhalten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 19 1.1.4.1 Temperaturabhangigkeit des Gate-Strom!>. 1.1.4.2 Temperaturabhangig- keit des Drain-Stroms 1.1.5 Durchbruchspannungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22 1.1.5.1 Gate-Durchbruchspannung. 1.1.5.2 Drain-Source-Durchbruch- spannung 1.1.6 Kapazitaten und Hochfrequenzverhalten . . . . . . . . . . . . . 24 1.1.6.1 Ersatzschaltung. 1.1.6.2 Frequenzabhangige Leitwertparameter. 1.1.6.3 Schaltverhalten 1.1. 7 Rauschen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31 1.1.7.1 Rauschquellen im FET. 1.1.7.2 Rauschzahl und Rauschspannung 1.1.8 Doppel-Gate-FET . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34 '1.1.9 Anwendungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35 1.1.9.1 Kieinsignaiverstarkung. 1.1.9.2 Konstantstromquellen. 1.1.9.3 Ge steuerte Widerstande. 1.1.9.4 Digitaie Schaltungen. 1.1.9.5 Hochfrequenz Schaltungen 1.2 Unijunction-Transistoren. 67 1.2.1 Aufbau. . . . . . 67 1.2.2 Wirkungsweise, Kennlinien und Kenngr5Ben 67 1.2.3 Temperaturverhaiten . . . . . . . . . . . 70 1.2.4 Temperaturstabilisierung der H5ckerspannung . 72 1.2.5 Anwendungen. . . . . . . . . . . . . . . 73 1.2.5.1 Sagezahngenerator. 1.2.5.2 Triggerimpuisgenerator. 1.2.5.3 Zeitver- z5gerungsschaltung 1.3 Lawinen-Transistoren . . . . . . . . . . . . . 80 1.3.1 Durchbruchverhalten bipolarer Transistoren . 80 1.3.2 Betrieb aIs Lawinen-Transistor .. 82 1.3.3 Anwendung als Impuisgenerator. . . . . . 86 VIII Inhalt 2 Thyristoren 2.1 Allgemeine Ubersicht 89 2.2 Trigger-Dioden . . . 91 2.2.1 Riickwiirts sperrende Trigger-Diode 91 2.2.1.1 Wirkungsweise, Kennlinien und Kenngrof3en. 2.2.1.2 Anwendung als Triggerimpuls-Generator 2.2.2 Bidirektionale Trigger-Diode (DIAC) . 95 2.3 Thyristor-Dioden . . . . . . . . . . . . 96 2.3.1 Riickwiirts sperrende Thyristor-Diode (Vierschicht-Diode) 96 2.3.1.1 Wirkungsweise. 2.3.1.2 Kennlinie und Kenngrof3en. 2.3.1.3 Anwendungen 2.3.2 Bidirektionale Thyristor-Diode (Fiinfschicht-Diode) 101 2.4 Thyristor-Trioden. . . . . . . . . . . . . . . . . 102 2.4.1 Riickwiirts sperrende Thyristor-Triode (Thyristor) 102 2.4.1.1 Wirkungsweise. 2.4.1.2 Kennlinie. 2.4.1.3 Kenngrof3en der Anoden Kathoden-Strecke. 2.4.1.4 Kennlinien und Kenngrof3en der Gate-Kathoden Strecke. 2.4.1.5 Schaltverhalten. 2.4.1.6 Technischer Aufbau und Kiihlung. 2.4.1.7 Anwendungen 2.4.2 Bidirektionale Thyristor-Trioden (TRIAC) . . . . . . . . . . . . . . . 135 2.4.2.1 Kennlinie. 2.4.2.2 Triggerung in den vier Betriebszustiinden. 2.4.2.3 Kenngrof3en. 2.4.2.4 Technologischer Aufbau. 2.4.2.5 Anwendungen 2.5 Thyristor-Tetroden . . . . . . 153 2.5.1 Aufbau und Wirkungsweise 153 2.5.2 Kennwerte . . . . 154 2.5.3 Anwendungsbeispiel 155 3 Optoelektronische Bauelemente 3.1 Grundlagen der Optoelektronik. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 157 3.1.1 Eigenschaften optischer Strahlung . . . . . . . . . . . . . . . . . 157 3.1.1.1 Wellencharakter des Lichts. 3.1.1.2 Teilchencharakter des Lichts 3.1.2 Thermische Strahlungsquellen . . . . . . . . . . . . . . . . 161 3.1.2.1 Absorption und Emission. 3.1.2.2 Raumwinkelabhiingige Strahlung. 3.1.2.3 Spektrale Energieverteilung des schwarzen Strahlers 3.1.3 Radiometrische und photometrische Grof3en. . . . . . . . . . . . . .. 166 3.1.3.1 Photometrische Grof3en. 3.1.3.2 Umrechnung radiometrischer in photo metrische Grof3en. 3.1.3.3 Farbtemperatur und Normlicht-A 3.1.4 Wechselwirkung von Licht mit Halbleitern 170 3.1.4.1 Photoleiter. 3.1.4.2 Photoemitter 3.2 Photowiderstiinde als Strahlungsempfiinger . 172 3.2.1 Aufbau und Wirkungsweise. . . . . 173 3.2.2 Kennlinien und Kenngrof3en. . . . . 175 3.2.2.1 Empfindlichkeit. 3.2.2.2 Dynamische Eigenschaften. 3.2.2.3 Grenzwerte 3.2.3 Anwendungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 179 3.2.3.1 Diimmerungsschaiter. 3.2.3.2 Helligkeitssteuerung von Lampen 3.3 Photodioden als Strahlungsempfiinger . . 181 3.3.1 PN-Ubergang unter Lichteinwirkung 181 InhaIt IX 3.3.2 Aufbau und Kennlinien. . . . . . . . . . . . . . . . . . 184 3.3.2.1 Kennlinienfeld. 3.3.2.2 Photoelement. 3.3.2.3 Solarzelle 3.3.3 Kenngro/3en. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 188 3.3.3.1 Statische Kenngro/3en. 3.3.3.2 Dynamische Kenngro/3en. 3.3.3.3 Richt charakteristik 3.3.4 Photo-PIN-Dioden. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 193 3.3.5 Photo-Lawinen-Dioden. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 193 3.3.5.1 Wirkungsweise und Kennlinien. 3.3.5.2 Verstarkung-Bandbreite-Pro- dukt 3.3.6 Photo-Duo-Dioden. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 197 3.3.6.1 Aufbau und Wirkungsweise. 3.3.6.2 Kennwerte und Kennlinien 3.3.7 Schaltung mit Photodioden . . . . 199 3.4 Phototransistoren als Strahlungsempfiinger 202 3.4.1 Aufbau und Wirkungsweise. . . . 202 3.4.2 Statische Kennlinien und Kenngro/3en 203 3.4.3 Dynamisches Verhalten. . . . . . . 206 3.4.3.1 Ersatzschaltung. 3.4.3.2 Kurzschlu/3grenzfrequenz. 3.4.3.3 Grenz frequenz bei Belastung. 3.4.3.4 Schaltzeiten. 3.4.3.5 Verbesserung des Schalt- und Frequenzverhaltens 3.4.4 Anwendungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 215 3.4.4.1 Einfaches optisches Relais. 3.4.4.2 Optisches Relais mit Schmitt-Trigger 3.5 Photothyristoren als Strahlungsempfanger 218 3.5.1 Aufbau und Wirkungsweise . 219 3.5.2 Kennwerte . 220 3.5.3 Anwendung. . . . . . . . 220 3.6 Photo-FET als Strahlungsempfiinger. 221 3.7 Lumineszenz-Dioden als Strahlungssender 222 3.7.1 Lichterzeugung in Halbleitern . . . 222 3.7.1.1 Direkte und indirekte Halbleiter. 3.7.1.2 PN-Ubergang als Lichtemitter 3.7.2 GaAs-Lumineszenz-Dioden . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 226 3.7.2.1 Herstellung und Aufbau. 3.7.2.2 Abgestrahltes Spektrum. 3.7.2.3 Wir kungsgrad und Quantenausbeute. 3.7.2.4 Statische Kennlinien. 3.7.2.5 Schalt verhalten 3.7.3 GaP-Lumineszenz-Dioden. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 233 3.7.3.1 Herstellung und Dotierung. 3.7.3.2 Abgestrahlte Leistung, Quanten ausbeute und Lichtstarke. 3.7.3.3 Weitere Kennwerte 3.7.4 GaAsP-Lumineszenz-Dioden . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 239 3.7.4.1 Strahlungserzeugung im Mischkristall aus GaAs und GaP. 3.7.4.2 Her stellung und Aufbau. 3.7.4.3 Abgestrahlte Leistung, Quantenausbeute und Lichtstarke. 3.7.4.4 Weitere Kennwerte 3.7.5 Lumineszenz-Dioden als Anzeigeelemente. . . . . . . . . . . . . 243 3.7.5.1 Sieben-Segment-Anzeige. 3.7.5.2 Anzeige mit 7· 5-Diodenmatrix 3.8 Optoelektronische Koppler. . . . . . . . . . . . . . . . . 247 3.8.1 Optokoppler aus Lumineszenz-Diode und Photodiode. . . 247 3.8.2 Optokoppler aus Lumineszenz-Diode und Phototransistor . 248 3.8.2.1 Kennwerte. 3.8.2.2 Photo-Darlington-Optokoppler X Inhalt 3.8.3 Photothyristor-Optokoppler . 249 3.8.4 Optokoppler-Strahlschranken . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 250 3.8.4.1 Strahlschranken ohne Schwellwertschalter. 3.8.4.2 Strahlschranke mit Schwellwertschalter 3.8.5 Optokoppler-Gleichstromrelais 252 3.8.6 Optokoppler-Wechselstromrelais . 253 3.9 Laser-Dioden 254 3.9.1 Strahlungserzeugung durch stimulierte Emission 254 3.9.2 Resonator und Laser-Bedingung ..... 255 3.9.2.1 Resonator. 3.9.2.2 Laser-Bedingung 3.9.3 Aufbau und Kennwerte. . . . . 257 3.9.3.1 Aufbau. 3.9.3.2 Kennwerte 3.9.4 Inforrnationsiibertragung 260 4 Magnetoelektronische Bauelemente 4.1 Hall-Generatoren . . . . . . 263 4.1.1 HaIl-Effekt . . . . . . 263 4.1.2 Aufbau und Kennwerte. 265 4.1.2.1 Aufbau. 4.1.2.2 Kennwerte 4.1.3 Anwendungen. . . . . . . . . . 268 4.1.3.1 Messung von Magnetfeldstarken. 4.1.3.2 Kontaktlose Schalter. 4.1.3.3 Hall-Multiplikator 4.2 Feldplatten. . . . . . . . . 272 4.2.1 Magneto-Widerstand. . 272 4.2.2 Aufbau und Kennwerte . 273 4.2.3 Anwendungen. . . . . 274 4.3 Magnet-Dioden. . . . . . . 277 4.3.1 Aufbau und Kennwerte. 277 4.3.2 Anwendungen. . . . 279 5 Spannungsabhiingige Widerstiinde 5.1 Aufbau und Kennwerte . . 281 5.1.1 Kennlinie. . . . . . 281 5.1.2 Gleichstromwiderstand und differentieller Widerstand. 282 5.1.3 Verlustleistung. 283 5.2 Anwendungen . . . . . . . 284 6 Temperaturabhiingige Widerstiinde 6.1 HeiBleiter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 287 6.1.1 Aufbau und Kennwerte ........... . 287 6.1.1.1 Aufbau. 6.1.1.2 HeiBleiter-Widerstand. 6.1.1.3 Strom-Spannungs- Kennlinie. 6.1.1.4 Erholzeit 6.1.2 Anwendungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 293 6.1.2.1 Temperaturmessung. 6.1.2.2 Kompensationsschaltungen. 6.1.2.3 Ver zogerungsschaltungen Inhalt XI 6.2 Kaltleiter. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 297 6.2.1 Aufbau und Kennwerte. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 297 6.2.1.1 Aufbau. 6.2.1.2 Kaltleiter-Widerstand. 6.2.1.3 Strom-Spannungskenn- linie. 6.2.1.4 VerlustIeistung 6.2.2 Anwendungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 302 6.2.2.1 Uberstromsicherung. 6.2.2.2 Temperaturstabilisierung. 6.2.2.3 Fiussig keits-Niveauflihler Anhang 1 Weiterflihrende Bucher und Literatur 305 2 Normblatter . . 306 3 Schaltzeichen 306 4 Ubersichtstafel . 308 5 Formelzeichen 310 Sachverzeichnis . 317 Hinweise auf DIN-Normen in diesem Werk entsprechen dem Stand der Normung bei AbschluB des Manuskriptes. MaJ3gebend sind die jeweils neuesten Ausgaben der Normblatter des DIN Deutsches Institut flir Normung e. V. im Format A 4, die durch die Beuth-Verlag GmbH, Berlin und K51n zu beziehen sind. - SinngemaJ3 gilt das gleiche flir aIle in diesem Buch angezogenen amtIichen Richtlinien, Bestimmungen, Verordnungen usw.