Automatisierungstechnik 1 Springer-Verlag Berlin Heidelberg GmbH HANS-JÜRGEN GEVATTER (Hrsg.) Automatisierungstechnik 1 Meß- und Sensortechnik mit 302 Abbildungen und 36 Tabellen , Springer Professor Dr.-Ing. Hans-Jtirgen GevaUer Technische Universitat Berlin Institut ftir Mikrotechnik und Medizintechnik KeplerstraBe 4 D-10589 Berlin Die Deutsche Bibliothek - CIP-Einheitsaufnahme ISBN 978-3-540-66883-1 ISBN 978-3-642-56942-5 (eBook) DOI 10.1007/978-3-642-56942-5 Dieses Werk ist urheberrechtlich geschiitzt. Die dadurch begriindeten Rechte, insbesondere die der Obersetzung, des Nachdrucks, des Vortrags, der Entnahme von Abbildungen und Tabellen, der Funksendung, der Mikroverfil mung oder Vervielfăltigung auf anderen Wegen und der Speicherung in Datenverarbeitungsanlagen, biei ben, auch bei nur auszugsweiser Verwertung, vorbehalten. Eine VervieWiltigung dieses Werkes oder von Teilen dieses Werkes ist auch im Einzelfall nur in den Grenzen der gesetzlichen Bestimmungen des Urheberrechtsgesetzes der Bundes republik Deutschland vom 9. September 1965 in der jeweils geltenden Fassung zulăssig. Sie ist grundsătzlich vergii tungspflichtig. Zuwiderhandlungen unterliegen den Strafbestimmungen des Urheberrechtsgesetzes. © Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2000 U rspriinglich erschienen bei Springer- Verlag Berlin H eidelberg New York 2000 Die Wiedergabe von Gebrauchsnamen, Handelsnamen, Warenbezeichnungen usw. in diesem Buch berechtigt auch ohne besondere Kennzeichnung nicht zu der Annahme, daB solche Namen im Sinne der Warenzeichen-und Mar kenschutz-Gesetzgebung als frei zu betrachten wăren und daher von jedermann benutzt werden diirften. Sollte in diesem Werk direkt oder indirekt auf Gesetze, Vorschriften oder Richtlinien (z.B. DIN, VDI, VDE) Bezug ge nommen oder aus ihnen zitiert worden sein, so kann der Verlag keine Gewăhr fiir die Richtigkeit, Volistăndigkeit oder Aktualităt iibernehmen. Es empfiehlt sich, gegebenenfalls fiir die eigenen Arbeiten die volistăndigen Vorschrif ten oder Richtlinien in der jeweils giiltigen Fassung hinzuzuziehen. Einbandgestaltung: Struwe & Partner, Ilvesheim Satz: MEDIO, Berlin Gedruckt auf săurefreiem Papier SPIN: 10749486 68/3020 5 4 3 2 1 o Vorwort Das Handbuch Automatisierungstechnik 1 ist ein auszugsweiser und inhaltlich unverändert er Nachdruck aus dem Handbuch der Meß- und Automatisierungstechnik, das 1998 im Springer-Verlag erschienen ist. Es beinhaltet die Teile der Meß-und Sensortechnik. Um dem Leser, der sich nur über Teilgebiete informieren möchte, einen kostengünstigen Zugriff zu bieten, wurde das Handbuch in drei Teilbände mit den Themen 1. Meß-und Sensortechnik 2. Geräte 3. Aktoren gegliedert. Das Buch soll dem Leser bei der Lösung von Aufgaben auf dem Gebiet der Entwicklung, der Planung und des technischen Vertriebes von Geräten und Anlagen der Meß- und Au tomatisierungstechnik helfen. Der heutige Stand der Technik bietet ein sehr umfangreiches Sortiment gerätetechnischer Mittel, gekennzeichnet durch zahreiche Technologien und un terschiedliche Komplexität. Es ist daher einem einschlägigen Fachmann kaum möglich, alle anfallenden Fragestellungen aus seinem naturgemäß begrenzten Kenntnisstand heraus zu beantworten. Daher geht die Gliederung dieses Buches von den sich ergebenden Problemstellungen aus und gibt dem Leser zahlreiche Antworten und Hinweise, welches Bauelement für die jeweilige Fragestellung die optimale Lösung bietet. Der hier verwendete Begriff des Bauelementes ist sehr weit ge faßt und steht für - die am Meßort einzusetzenden Meßumformer und Sensoren, - die zur Signalverarbeitung dienenden Bauelemente und Geräte, - die Stellglieder und Stellantriebe, - die elektromechanischen Schaltgeräte, - die Hilfsenergiequellen. Die Kapitel für die Signalverarbeitung, für die Stellantriebe und für die Hilfsenergiequellen sind in die drei gängigen Hilfsenergiearten (elektrisch, pneumatisch, hydraulisch) un terteilt. Für den oftmals erforderlichen Wechsel der Hilfsenergieart dienen die entspre chenden Schnittstellen-Bauelemente (z.B. elektro-hydraulische Umformer). Alle Kapitel sind mit einem ausführlichen Literaturverzeichnis ausgestattet, das dem Leser den Weg zu weiterführenden Detailinformationen aufzeigt. Der Umfang der heute sehr zahlreich zur Verfügung stehenden Komponenten machte eine Auswahl und Beschränkung auf die wesentlichen am Markt erhältlichen Bauelemente erforderlich, um den Umfang dieses Buches in handhabbaren Grenzen zu halten. Daher wurden die systemtechnischen Grundlagen nur sehr knapp behandelt. Die gesamte Mikro computertechnik wurde vollständig ausgeklammert, da für dieses Gebiet eine umfang reiche, einschlägige Literatur zur Verfügung steht. Den Schluß des Buches bildet ein aus führliches Abkürzungsverzeichnis. HANS-JÜRGEN GEVATTER Berlin, im März 2000 Hinweise zur Benutzung Die in diesem Buch aufgenommenen Abschnitte sind mit denen des Gesamtwerks Hand buch der Meß- und Automatisierungstechnik identisch. Die Abschnittsnumerierung wie auch die Querverweise im Text auf andere Abschnitte, auch wenn diese nicht in diesem Einzelband enthalten sind, wurden beibehalten. Dem interessierten Leser helfen diese Strukturmerkmale. Es sind ergänzende, aber für das Grundverständnis des Einzelbandes nicht notwendige Hinweise zu weiteren interessierenden Ausführungen. Zur Information und besseren Orientierung wurde das vollständige Autorenverzeichnis aus dem Gesamtwerk übernommen. Aus denselben Gründen folgt im Anschluß an das In haltsverzeichnis dieses Teilbandes eine Inhaltsübersicht über das Gesamtwerk. Autoren Prof. Dr. sc. phi!. WERNER KRIESEL Fachhochschule Merseburg DIPL.-ING. MATHIAS MARTIN Brandenburgische Technische Universität Cottbus Prof. Dr.-Ing.habil. JÜRGEN PETZOLDT Universität Rostock Dr.-Ing. TOBlAS REIMANN Prof. Dr.-Ing.habil. HELMUT BEIKIRCH Technische Universität Ilmenau Universität Rostock LUDWIG SCHICK Doz. Dr.-Ing. PETER BESCH 91091 Großenseebach 01279 Dresden Dr. rer. nat. GÜNTER SCHOLZ Prof. Dr.-Ing. KLAUS BETHE Physikalisch-Technische Bundesanstalt Technische Universität Braunschweig Berlin Prof. Dr.-Ing. GERHARD DUELEN Dipl.-Ing. GERHARD SCHRÖTHEll 03044 Cottbus SIEMENS AG Dipl.-Phys. FRANK EDLER Prof. Dr.-Ing.habil. MANFRED SEIFART Physikalisch-Technische Bundesanstalt Otto-von -Guericke Universität Magdeburg Berlin Prof. Dr.-Ing. HELMUT E. SIEKMANN Prof. Dr.-Ing. DIETMAR FIND EISEN Technische Universität Berlin Bundesanstalt für Materialforschung Berlin Dr. DIETER STUCK Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Prof. Dr.-Ing. HANs-JÜRGEN GEVATTER Berlin Technische Universität Berlin Dipl.-Ing. HELMUT GRÖSCH Prof. Dr.-Ing. HANS-DIETER STÖLTING 72459 Albstadt Universität Hannover Prof. Dr.-Ing. ROLF HANITSCH Dipl.-Ing. DIETMAR TELSCHOW Technische Universität Berlin Hochschule für Technik, Wirtschaft und Kultur Dr.-Ing. EDGAR VON HINÜBER Leipzig IMAR GMBH, 66386 St. Ingbert Prof. Dr.-Ing.habil. HEINZ TÖPFER Prof. Dr.-Ing.habil. HARTMUT JANOCHA 01277 Dresden Universität des Saarlandes, Saarbrücken MICHAEL ULONSKA Fa. Knick Dipl.-Phys. ROLF-DIETER KIMPEL Berlin SIEMENS Electromechanical Components, Inc. Prof.Dr.rer. nat. GERHARD WIEGLEB Princeton, Indiana 47671 Fachhochschule Dortmund Prof. Dr.-Ing.habil. LADISLAUS KOLLAR (t) Fachhochschule Lausitz 01968 Senftenberg Inhalt 1 Begriffe, Definitionen .....................................................3 1.1 Aufgabe der Automatisierung ..............................................3 1.2 Methoden der Automatisierung ............................................4 1.3 Information, Signal .......................................................4 1·4 Signalarten ...............................................................5 1.4.1 Amplitudenanaloge Signale ................................................6 1.4.2 Frequenzanaloge Signale ..................................................6 1.4.3 Digitale Signale ...........................................................6 1.4.4 Zyklisch-absolute Signale ..................................................7 1.4·5 Einheitssignale ...........................................................7 1.5 Hilfsenergie ..............................................................7 2 Grundlagen der Systembeschreibung .......................................9 2.1 Glieder in Steuerungen und Regelungen - Darstellung im Blockschaltbild .......9 2.2 Kennfunktion und Kenngrößen von Gliedern ................................1 1 2.3 Untersuchung und Beschreibung von Systemen ..............................1 3 2.J.1 Experimentelle Untersuchung .............................................1 3 2.3.2 Mathematische Beschreibung ..............................................1 6 3 Umgebungsbedingungen .................................................1 9 3.1 Gehäusesysteme .........................................................1 9 3.1.1 Aufgabe und Arten .......................................................1 9 3.1.2 Konstruktionsmäßiger Aufbau .............................................1 9 3.2 Einbauorte ..............................................................2 1 3.3 Schutzarten .............................................................2 2 3.3.1 Einteilung und Einsatzbereiche ............................................2 2 3.3.2 Fremdkörperschutz ......................................................2 3 3·3·3 Explosionsschutz ........................................................2 4 3.4 Elektromagnetische Verträglichkeit ........................................2 8 1 Kraft, Masse, Drehmoment ................................................3 3 1.1 Kraftmessung ............................................................3 3 1.1.1 Kompensationsverfahren ..................................................3 3 1.1.2 Federwaagenkonzept .....................................................3 5 1.1.3 Resonante Kraftsensoren .................................................4 7 1·1.4 Mehrkomponenten-Kraftaufnehmer .......................................4 9 1.2 Massenbestimmung ......................................................4 9 1.3 Messung des Drehmoments ...............................................5 2 2 Druck,Druckdifferenz ...................................................5 9 2.1 Aufgabe der Druckmeßtechnik und Druckarten .............................5 9 X Inhalt 2.1.1 Zu den Ausführungen über Druckmeßeinrichtungen .........................5 9 2.1.2 Aufgabe und Druckarten [DIN 23412] ......................................5 9 2.1.3 Aufbau von Druckmeßeinrichtungen .......................................6 1 2.1.4 Verfahren der Druckmessung .............................................6 2 2.2 Druck-und Differenzdruckmeßeinrichtungen ..............................6 3 2.2.1 Meßeinrichtungen auf der Grundlage mechanischer Prinzipe der Druck- wandlung ...............................................................6 3 2.2.2 Meßeinrichtungen auf der Grundlage elektrischer Prinzipe der Druck- wandlung ...............................................................6 8 2.2.3 Druckwandlung auf der Grundlage mechanisch-pneumatischer Prinzipe .......8 2 2.2.4 Intelligente Druckmeßeinrichtungen und Meßsignalverarbeitung .............8 4 2.2.5 Meßanordnungen zur Druckmessung ......................................9 1 2.2.6 Meßanordnungen zur Füllstandmessung ...................................9 3 3 Beschleunigung .........................................................9 9 3.1 Einleitung ..............................................................9 9 3.2 Messung translatorischer Beschleunigung ..................................9 9 3.2.1 Beschleunigungsaufnehmer nach dem Ausschlagverfahren (Open-Ioop-Aufnehmer) .................................................1 00 3.2.2 Beschleunigungsaufnehmer nach dem Kompensationsverfahren (Closed-Ioop-Aufnehmer) ................................................1 02 3.2.3 Daten typischer Beschleunigungsaufnehmer ...............................1 04 3.3 Aufnehmer für rotatorische Beschleunigungen .............................1 04 3.3-1 Mechanische Kreisel - Drallsatz ..........................................1 04 3.3.2 Optische Kreisel-Sagnac-Effekt ..........................................1 05 3.3.3 Ozillierende Kreisel-Coriolis-Effekt ......................................1 07 3.3.4 Magnetohydrodynamischer Kreisel .......................................1 07 3.3.5 Daten typischer Drehratenaufnehmer .....................................1 08 3.4 Integralinvariante .......................................................1 08 4 Winkelgeschwindigkeits-und Geschwindigkeitsmessung ....................1 11 4.1 Einleitung ..............................................................1 11 4.2 Sensor-Parameter ........................................................1 11 4.2.1 Linearität ...............................................................1 11 4.2.2 Symmetrie ..............................................................1 12 4.3 Winkelgeschwindigkeitsmessung ..........................................1 12 4.3.1 Gleichstromtachogeneratoren .............................................1 12 4.3.2 Wechselstromtachogeneratoren ...........................................1 13 4.3.3 Stroboskop .............................................................1 15 4.3.4 Schlupfspule ............................................................1 15 4.3.5 Digitale Winkelgeschwindigkeitsmessung ..................................1 16 4-4 Geschwindigkeitsmessung ................................................1 23 4-4.1 Dopplerverfahren .......................................................1 25 4.4.2 Laufzeitkorrelationsverfahren ............................................1 25 5 Längen-/Winkelmessung .................................................1 27 5.1 Analoge Verfahren .......................................................1 27 5.1.1 Amplituden-analoge Weg-/Winkelmessung ................................1 27 5.1.2 Laufzeitverfahren .......................................................1 67 5.2 Digitale geometrische Meßverfahren ......................................1 74 5.2.1 Dingliche Maßstäbe .....................................................1 75 5.2.2 Interferometer ..........................................................1 79 5.3 Dehnungsmessung ......................................................1 82 5.3.1 Dehnungsmeßstreifen (DMS) .............................................1 82 Inhalt XI 5.3.2 Faseroptische Dehnungssensoren .........................................1 89 5.3.3 Resonante Dehnungssensoren ............................................1 91 5.4 Dickenmessung .........................................................1 91 5-4-1 Bestimmung der totalen Dicke ............................................1 93 5.4.2 Messung von Oberflächenschichten .......................................1 97 5.5 Füllstandsmessung ......................................................1 98 5.5.1 Echte Bestimmung der Füllmenge .........................................1 98 5.5.2 Füllstand ...............................................................1 98 6 Temperatur ............................................................2 05 6.1 Einleitung ..............................................................2 05 6.2 Temperaturmeßgeräte mit elektrischem Ausgangssignal .....................2 05 6.2.1 Sensoren ...............................................................2 05 6.2.2 Analoge Temperaturmeßverfahren ........................................2 18 6.2.3 Digitale Temperaturmeßverfahren ........................................2 25 6.3 Temperaturmeßgeräte mit mechanischem Ausgangssignal ...................2 26 6.3.1 Flüssigkeits-Glasthermometer ............................................2 27 6.3.2 Zeigerthermometer .....................................................2 28 6.4 Temperaturmeßgeräte mit optischem Ausgangssignal .......................2 31 6.5 Besondere Temperatursensoren und Meßverfahren .........................2 31 6.5.1 Rauschthermometer .....................................................2 31 6.5.2 Akustische Thermometer ................................................2 32 7 Durchfluß ..............................................................2 35 7.1 Einleitung ..............................................................2 35 7.2 Aufnehmer für Volumina .................................................2 35 7.2.1 Unmittelbare Aufnehmer .................................................2 35 7.2.2 Mittelbare Aufnehmer ...................................................2 39 7.2.3 Anpassungsschaltungen für Aufnehmer für Volumina .......................2 41 7.3 Aufnehmer für den Durchfluß ............................................2 45 7.3.1 VolUßlendurchfluß ......................................................2 45 7.3.2 Massendurchfluß .......................................................2 52 7.3-3 Anpassungsschaltungen für Druckaufnehmer ..............................2 54 7.3.4 Anpassungsschaltungen für Laser-Doppler-Velozimeter ....................2 56 7.3.5 Anpassungsschaltungen für Schwebekörper-Aufnehmer ....................2 57 7.3.6 Anpassungsschaltungen für thermische Durchflußmesser ...................2 58 7-4 Signalverarbeitung ......................................................2 58 7.5 Elektromagnetische Verträglichkeit der Meßeinrichtungen (EMV) ............2 59 8 pH-Wert, Redoxspannung, Leitfähigkeit ...................................2 63 8.1 pH-Wert ...............................................................2 63 8.1.1 Defintion ..............................................................2 63 8.1.2 Bedeutung .............................................................2 63 8.1.3 Einheit .................................................................2 63 8.1.4 Grundlagen ............................................................2 63 8.1.5 Meßprinzip ............................................................2 64 8.1.6 Sensoren ...............................................................2 64 8.1.7 Temperatureinfluß ......................................................2 66 8.1.8 übertragungsfunktion ..................................................2 67 8.1.9 Meßwertumformer ......................................................2 67 8.1.10 Justieren ...............................................................2 68 8.1.11 Standards ..............................................................2 69 8.1.12 Meßunsicherheit ........................................................2 69 8.2 Redoxspannung ........................................................2 70