Graphene Engineering: An ab initio Study of the Thermodynamic Stability of Epitaxial Graphene and the Surface Reconstructions of Silicon Carbide Dissertation zur Erlangung des akademischen Grades doctor rerum naturalium (Dr. rer. nat.) im Fach: Physik Spezialisierung: Theoretische Physik eingereicht an der Mathematisch-Naturwissenschaftlichen Fakultät der Humboldt-Universität zu Berlin von Diplom Physikerin Lydia Nemec Präsidentin/ Präsident der Humboldt-Universität zu Berlin Prof. Dr. Jan-Hendrik Olbertz Dekanin/ Dekan der Mathematisch-Naturwissenschaftlichen Fakultät Prof. Dr. Elmar Kulke ———————————————————————————————- Gutachter/innen: 1. Prof. Dr. Claudia Draxl 2. Prof. Dr. Patrick Rinke 3. Prof. Dr. Ludger Wirtz Tag der mündlichen Prüfung: 7. Juli 2015 Abstract Graphene with its unique properties spurred the design of nanoscale electronic devices. GraphenefilmsgrownbySisublimationonSiCsurfacesarepromising material combinations for future graphene applications based on existing semi- conductor technologies. Obviously, the exact material properties of graphene dependontheitsinteractionwiththesubstrate. Understandingtheatomicand electronicstructureoftheSiC-grapheneinterface,isanimportantsteptorefinethe growthquality. Inthiswork, computationalabinitiomethodsbasedondensity- functional theory (DFT) are used to simulate the SiC-graphene interface on an atomisticlevelwithoutempiricalparameters. Weapplystate-of-the-artdensity- functionalapproximation(DFA),inparticulartheHeyd-Scuseria-Ernzerhofhybrid functional including van-der-Waals dispersion corrections to address the weak bondingbetweenthesubstrateandgraphenelayers. DFAsimulationsallowtoin- terpretandcomplementexperimentalresultsandareabletopredictthebehaviour ofcomplexinterfacesystem. Experimental work has shown that on the Si face of SiC, a par√tially c√ovalently bondedcarbonlayer,thezero-layergraphene(ZLG),growsas(6 3×6 3)-R30◦ commensurateperiodicfilm. OntopoftheZLGlayerformsmono-layergraphene (MLG) as large ordered areas and then few-layer graphene. By constructing an ab initio surface phase diagram, we show that ZLG and MLG are at least near equilibriumphases. Ourresultsimplytheexistenceoftemperatureandpressure conditions for self-limiting growth of MLG key to the large-scale graphene pro- duction. At the interface to the substrate, the Si atoms can be passivated by H resultinginquasi-free-standingmono-layergraphene(QFMLG). Weshowthatby H intercalation both the corrugation and doping are reduced significantly. Our calculationsdemonstratethattheelectronicstructureofgrapheneisinfluencedby unsaturated Si atoms in the ZLG and therefore confirm that H intercalation is a promisingroutetowardsthepreparationofhigh-qualitygraphenefilms. ThesituationontheCfaceofSiCisverydifferent. Inexperiment,thegrowthof largeareasofgraphenewithwelldefinedlayerthicknessisdifficult. Attheonset of graphene formation a phase mixture of different surface phases is observed. WewilladdressthestabilityofthesurfacephasesthatoccurontheCsideofSiC. However,theatomicstructureofsomeofthecompetingsurfacephases,aswellas oftheSiC-grapheneinterface,isunknown. Wepresentanewmodelforthe(3×3) reconstruction–theSitwistmodel. ThesurfaceenergiesofthisSitwistmodel,the known(2×2) adatomphase,andagraphenecovered(2×2) phasecrossatthe C C chemicalpotentiallimitofgraphite,whichexplainstheobservedphasemixture. WearguethatontheCfacetheformationofawell-controlledinterfacestructure liketheZLGlayerishinderedbySi-richsurfacereconstructions. v Zusammenfassung DieaußergewöhnlichenEigenschafteneinereinzelnenGraphenlageermöglichen das Design von elektronischen Bauteilen im Nanometerbereich. Graphen kann aufderOberflächevonSiliziumkarbonat(SiC)durchdasAusdampfenvonSiepi- taktischgewachsenwerden. DieMaterialkombinationSiCundGraphenistdaher hervorragendfürdiezukünftigeAnwendungvonGraphenbasiertenTechnologien geeignet. DiegenauenEigenschaftenvonepitaktischemGraphenhängenvonder StärkeundArtderInteraktionmitdemSubstratab. EindetailliertesVerständnis deratomarenundelektronischenStrukturderGrenzschichtzwischenGraphenund SiCisteinwichtigerSchrittumdieWachstumsqualitätvonepitaktischemGraphen zuverbessern. WirnutzenDichtefunktionaltheorie(DFT)umdasHybridsystem Graphen-SiCaufatomarerEbeneohneempirischeParameterzusimulieren. Die schwacheBindungzwischendemSubstratundderGraphenlagebeschreibenwir mitvan-der-WaalskorrigiertenAustausch-Korrelations-Funktionalen,insbeson- derenmitdemHybridFunktionalvonHeyd,ScuseriaundErnzerhof[138,175]. DieSimulationengebenAufschlußüberdasVerhaltenunddieEigenschaftender komplexenGrenzschicht. ExperimentelleArbeitenaufderSi-terminiertenOberflächevonSiChabengezeigt, da√ssdieG√renzschichtdurcheineteilweisekovalentgebundeneKohlenstofflageals (6 3×6 3)-R30◦ kommensurateperiodischeStrukturwächst. DieGrenzschicht zwischenSiCundGraphenwirdhäufigalsZLGbezeichnet. ÜberdemZLGbildet sich die erste großflächig geordnete Graphenlage (MLG). Durch das Konstru- ieren eines ab initio Oberflächenphasendiagrams zeigen wir, dass sowohl ZLG alsauchMLGGleichgewichtsphasensind. UnsereErgebnisseimplizieren, dass Temperatur-undDruckbedingungenfürdenselbstbegrenzendenGraphenwach- stumexistieren. DieSiAtomeanderGrenzschichtkönnendurchWasserstoffatome abgesättigtwerdenunddenZLGzuquasi-freistehendemGraphen(QFMLG)um- wandeln. Wirzeigen,dassdurchdieH-InterkalationdasDopingunddieRiffel- lung von epitaktischem Graphene reduziert werden. Aus unseren Rechnungen folgt,dassdieungesättigtenSiAtomeanderGrenzschichtdieelektronischenEi- genschaftenvonGraphenbeinflussen. AnhandunsereErgebnissezeigenwir,dass dieH-InterkalationeinevielversprechendeMethodeistumqualitativhochwertiges Graphenzuwachsen. Das Graphenwachstum auf der C-terminierten Oberfläche von SiC verhält sich im Experiment qualitativ anders als auf der Si Seite. Zu Beginn des Graphen- wachstumswirdeineMischungverschiedenerOberflächenphasenbeobachtet. Wir diskutierendieStabilitätdieserkonkurierendenPhasen. DieatomarenStrukturen von einigen dieser Phasen, inklusive der Graphen-SiC Grenzschicht, sind nicht bekanntwodurchdietheoretischeBeschreibungerschwertwird. Wirpräsentieren einneuesModelfürdiebisherunbekannte(3×3)Rekonstruktion–dasSiTwist vi Model. DieOberflächenenergievomSiTwistModelundvonderbekannten(2×2) C Oberflächenrekonstruktion schneiden sich direkt an der Grenze zur Graphitb- ildung. DieserklärtdieexperimentellbeobachtetePhasenkoexistenzzuBeginn des Graphenwachstums. Wir schlussfolgern, dass die Bildung von einer wohl- definierten Grenzschichtstruktur, wie der ZLG auf der Si Seite, auf der C Seite durchSi-reicheOberflächenrekonstruktionenblockiertwird. vii I do not try to dance better than anyone else, I only try to dance better than myself. Mikhail Baryshnikov
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