Alma Mater Studiorum Universit`a di Bologna ` FACOLTA DI SCIENZE MATEMATICHE, FISICHE E NATURALI Corso di Laurea in Astronomia Dipartimento di Astronomia Telescopi per astronomia in raggi X duri: sviluppi tecnologici di specchi multilayer Tesi di Laurea Relatore: di: Chiar.mo Prof. Rodolfo Canestrari Giorgio Palumbo Co-Relatori: Dott. Giovanni Pareschi Dott. Daniele Spiga INAF–Osservatorio Astronomico di Brera Sessione III Anno Accademico 2004-2005 a mio nonno Vincenzo Indice Indice i Lista degli acronimi v Introduzione vii 1 I telescopi per astronomia in raggi-X: storia e future missioni 1 1.1 Uno sguardo al passato . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1 1.2 Future missioni in raggi-X duri . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 1.2.1 SIMBOL-X . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 1.2.2 XEUS, X-ray Evolving Universe Spectroscopy . . . . . . . . . . . . . 8 1.2.3 Constellation-X . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10 1.2.4 HEXIT-SAT, High Energy X-ray Imaging Telescope Satellite . . . . 11 1.3 Target scientifici . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13 1.3.1 Sorgenti galattiche . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13 1.3.2 Sorgenti extragalattiche . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16 2 I telescopi per raggi-X 21 2.1 Cenni di ottica nella banda X . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21 2.1.1 La riflessione e le costanti ottiche . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21 2.2 Configurazioni ottiche di telescopi ad incidenza radente . . . . . . . . . . . . 25 2.2.1 L’aberrazione di coma e gli specchi asferici . . . . . . . . . . . . . . . 26 2.2.2 Ottiche Kirkpatrick-Baez . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27 2.2.3 Ottiche Wolter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28 2.3 Altri parametri di merito delle ottiche per astronomia X . . . . . . . . . . . 33 2.3.1 La risoluzione angolare . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33 2.3.2 La sensibilità in flusso . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37 2.3.3 Il campo di vista . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39 2.4 Realizzazione ottiche a singolo strato per raggi-X molli . . . . . . . . . . . . 40 2.4.1 La tecnica tradizionale . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41 2.4.2 Ottiche basate su fogli sottili . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42 2.4.3 La tecnica della replica . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44 i 3 I telescopi per raggi-X duri 51 3.1 Specchi alla Bragg . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52 3.1.1 I multistrati periodici . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53 3.1.2 I multistrati graduati . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60 3.2 Realizzazione di ottiche multilayer per raggi-X duri . . . . . . . . . . . . . . 62 3.2.1 Estensione della replica con elettroformatura di Ni: metodo diretto . 63 3.2.2 EstensionedellareplicaconelettroformaturadiNi: metodo“indiretto” 64 3.3 Metodi di deposizione di film sottili . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65 3.3.1 Evaporazione con fascio elettronico (e-beam evaporation) . . . . . . 66 3.3.2 Ion Beam Sputtering, IBS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69 3.3.3 DC ed RF Magnetron Sputtering . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71 4 Strumenti e analisi per caratterizzazione campioni 75 4.1 Power Spectral Density. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76 4.1.1 Modello K-correlation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79 4.2 Strumenti per caratterizzare superfici e film riflettenti ad OAB . . . . . . . 82 4.2.1 Il microscopio a forza atomica, AFM . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82 4.2.2 Il profilometro ottico WYKO . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89 4.2.3 Il microscopio a contrasto di fase Nomarski . . . . . . . . . . . . . . 90 4.2.4 Il profilometro a lunga traccia, LTP . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91 4.3 Metrologia di superfici tramite misure in raggi-X . . . . . . . . . . . . . . . 93 4.3.1 Le misure di riflettività, XRR (X-Ray Reflectivity) . . . . . . . . . . 95 4.3.2 Le misure di scattering, XRS (X-Ray Scattering) . . . . . . . . . . . 97 4.3.3 Il legame scattering-topografia di superficie . . . . . . . . . . . . . . 98 4.4 La facility PANTER . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 100 4.4.1 Le sorgenti a raggi-X . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102 4.4.2 I rivelatori . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 103 4.4.3 Effetti della sorgente a distanza finita . . . . . . . . . . . . . . . . . 104 4.4.4 Analisi dei dati acquisiti . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105 5 Diagnostica multistrati evoluzione della rugosità 107 5.1 Tipi di campioni analizzati . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 108 5.2 Protocollo per la caratterizzazione dei multilayer . . . . . . . . . . . . . . . 111 5.2.1 Topografia superficiale . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112 5.2.2 Indagini tramite raggi-X . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 113 5.3 Modello teorico per la crescita della rugosità . . . . . . . . . . . . . . . . . . 117 5.3.1 Singolo strato . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 117 5.3.2 Estensione alla crescita di un multistrato . . . . . . . . . . . . . . . . 120 5.4 Multilayer PSDs Evolution Simulator, MPES . . . . . . . . . . . . . . . . . 122 5.5 Multistrati realizzati con e-beam deposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . 125 5.5.1 Test A . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 126 5.5.2 Test B . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 131 5.5.3 Test C . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 136 5.6 Multistrati realizzati con DC magnetron sputtering . . . . . . . . . . . . . . 141 ii iii 5.6.1 Test D . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 143 5.6.2 Test E . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 146 5.7 Multistrati realizzati con RF magnetron sputtering . . . . . . . . . . . . . . 150 5.7.1 Test F . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 153 5.7.2 Test G . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 157 5.8 Riepilogo e confronti tra i campioni analizzati . . . . . . . . . . . . . . . . . 162 6 Test di ottiche multilayer alla facility PANTER 167 6.1 Mirror shell MS-MSFC01 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 168 6.1.1 Caratterizzazione del campione witness . . . . . . . . . . . . . . . . . 169 6.1.2 Calibrazione alla facility PANTER . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 170 6.2 Mirror shell MS-JETX . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 173 6.2.1 Caratterizzazione del campione witness . . . . . . . . . . . . . . . . . 173 6.2.2 Calibrazione alla facility PANTER . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 173 6.2.3 Caratterizzazione topografica . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 176 6.3 Mirror shell MS-MSFC02 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 179 6.3.1 Caratterizzazione del campione witness . . . . . . . . . . . . . . . . . 179 6.3.2 Calibrazione alla facility PANTER . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 181 7 Conclusioni 185 A Evoluzione della PSD nei multilayer: modellizzazione di XRS 187 B Codice MPES 191 B.1 Interfaccia grafica e gestione degli eventi . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 191 B.2 Eventi . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 197 B.3 Navigazione all’interno dell’Hard Disk . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 213 Bibliografia 215 Ringraziamenti 221 iv Lista degli acronimi AFM Atomic Force Microscope AGN Active Galactic Nuclei ASI Agenzia Spaziale Italiana AXAF Advanced X-ray Astronomy Facility BAT Burst Alert Telescope BH Black Hole CfA Center for Astrophysics CNES Centre National d’Etudes Spatiaux (l’Agenzia Spaziale Francese) COST European COoperation in the field of Scientific and Technical research CTE Coefficient of Thermal Expansion CVD Chemical Vapour Deposition CXB Cosmic X-ray Background DSC Detector SpaceCraft EE Encircled Energy ESA European Space Agency ESRF European Synchrotron Radiation Facility (E)UV (Extreme) UltraViolet EXOSAT European X-ray Observatory SATellite FOM Figure Of Merit FOV Field Of View FWHM Full Width Half Maximum GC Galaxy Cluster GRB Gamma-Ray Burst HEW Half-Energy Width HEXIT High-Energy X-ray Imaging Telescope HEAO High-Energy Astrophysics Observatory HERO High-Energy Replicated Optics HOPG Highly Oriented Pyrolithic Graphite HPD Half-Power Diameter IBAD Ion Beam Assisted Deposition IBS Ion Beam Sputtering INAF Istituto Nazionale di AstroFisica INTEGRAL INTErnational Gamma-Ray Astrophysics Laboratory v vi ISM InterStellar Medium JET-X Joint European Telescope X LSF Line Spread Function LTP Long Trace Profilometer MPE Max-Planck-Institut für Extraterrestrische Physik MPES Multilayer PSDs Evolution Simulator MSC Mirror SpaceCraft NASA National Aeronautics and Space Administration OAB Osservatorio Astronomico di Brera PDS Phoswitch Detector System PPM Pythonic Program for Multilayers PSD Power Spectral Density PSF Point Spread Function PSPC Position Sensitive Proportional Counter PVD Physical Vapour Deposition QSO Quasi Stellar Objects RF Radio Frequency rms Root Mean Square ROSAT RÖntgen SATellite SAX Satellite per Astronomia X SEM Scansion Electronic Microscope SNR SuperNova Remnant SPIE Society of Photo-optical Instrumentation Engineers SXT Spectroscopy X-ray Telescope TEM Transmission Electronic Microscope vs versus XEUS X-ray Evolving Universe Spectroscopic mission XMM X-ray Multimirror Mission XRB X-Ray Background XRR X-Ray Reflectivity XRS X-Ray Scattering XRT X-Ray Telescope
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