Система AK 1000 для гетеропереходных

55 Pages·2015·2.42 MB·Russian

Система AK 1000 для гетеропереходных
солнечных элементов
01. October 2015
Meyer Burger ST MicroSystems
Global Footprint Meyer Burger Group
Oregon Colorado Netherlands Korea Japan China
Hillsboro Colorado Springs Eindhoven Seoul Tokyo Shanghai
r
e
g
r
u
B

r
e
y
e
M

,
2
1
0
2

y
l
u
J
Spain
Barcelona
Germany
Dresden
New Jersey Switzerland India Singapore Taiwan
Hohenstein-Ernstthal
Columbia Neuchâtel Pune Singapore ZhubeiCity
Langenfeld Thun
Langweid
Reichelsheim
Umkirch
Zülpich
Technology poweredby 2
Майер Бургер ST Майкросистемс
Места расположения офисов Майер Бургер Групп
Oregon Colorado Netherlands Korea Japan China
Hillsboro Colorado Springs Eindhoven Seoul Tokyo Shanghai
r
e
g
r
u
B

r
e
y
e
M

,
2
1
0
2

y
l
u
J
Испания
Барселона
Германия
Дрезден
Нью Швейцария Индия Сингапур Тайвань
Хоенстайе-Эрнстталь
Джерси Ношатель Пун Сингапур Жубей сити
Колумбия Лангенфельд Тун
Лангвайд
Райшельсхайм
Умкирш
Цульпихь
Technology poweredby 3
Meyer Burger
The leading technology group
We will be the leading technology group for innovative systems and processes
on the basis of semiconductor technologies with focus on photovoltaic's.
We enable our customers to reach lowest cost of ownership.
2
0
0-
1
5-
1
/ re
g
ru
B
re
y
e
M
Technology poweredby 4
Майер Бургер
Лидирующая технологическая группа
Мы будем лидирующей технологической группой для инновационных
систем и процессов на основе полупроводниковых технологий с акцентом
на фотовольтаику.
Мы даем возможность нашим клиентам достичь самая низкая стоимости
производства собственных изделий.
2
0
0-
1
5-
1
/ re
g
ru
B
re
y
e
M
Technology poweredby 5
Meyer Burger
Serving the whole value change
Highlights
Wafer Process
Diamond Wire
Technology
Cell Process (Meyer Burger Germany)
Heterojunction
Technology
SmartWire
Connection
Module Process
and
5 Busbar
Technology
Confidential CONFIDENTIAL 6
Майер Бургер
Обслуживая весь цикл производства
Важное
Производство пластин Технология
алмазных
проводов
Сборка ячеек (Майер Бургер, Германия)
Технология
гетеропереходов
SmartWire
Соединения и
Сборка модулей
5 Busbar
технологии
7
Системы осаждения для
получения солнечных элементов с
наивысшим КПД
 Гетеропереходная технология объединяет преимущества аморфного кремния с
преимуществами монокристаллических кремниевых пластин
 Наивысшая эффективность солнечных элементов с дальнейшим потенциалом
роста
 Относительно простой процесс производства с минимальным количеством
производственных стадий по сравнению со стандартными технологиями
изготовления солнечных элементов
2
0
0-
1
5-
1
/ re
g
ru
B
re
y
e
M
Technology poweredby 8
Пленки аморфного кремния
process flow
KOH surface
Гетеропереходные солнечные элементы (HJT) являются
preparation
примером концепции солнечного элемента с использованием
i/p Si
пленок a-Si
i/n Si
 HJT объединяют в себе преимущества кристаллических кремниевых
элементов с уникальными свойствами a-Si при создании тонкопленочных Front contact
солнечных элементов
Back contact
 Легированные и нелегированные пленки a-Si осаждаются с обеих сторон
монокристаллической пластины n-типа contacting
 Далее они покрываются прозрачными проводящими оксидными пленками edge isolation
методом физического магнетронного распыления
test & sort
Преимущества пленок a-Si:
HJC cell
 Аморфный кремний отличается превосходным поглощением света и
пассивационными свойствами
 При использовании правильного технологического процесса для осаждения
a-Si можно получать солнечные элементы с эффективностью свыше 21% 2
0
0-
1
5-
1
/ re
g
ru
B
re
y
e
M
Technology poweredby 9
AK 1000 PECVD
2
0
0-
1
5-
1
/ re
g
ru
B
re
y
e
M
Technology poweredby 10